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本发明公开了一种低热效应投影物镜，其选择合适材料并通过合理的结构设计，能实现在高曝光剂量下较小的热效应，降低了热效应补偿的难度，同时能在４４ｍｍ×４４ｍｍ方形视场范围内实现良好均匀的像质，物方像方工作距离达到３０ｍｍ，总长不超过８００ｍｍ，...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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