一种采用电磁加热的物理气相沉积设备，包括机体，其中，机体内部底端设有电机一，电机一输出轴贯穿承载板并与驱动机构连接，且驱动机构位于承载板的顶部，驱动机构顶端设有电磁加热蒸镀器，电磁加热蒸镀器顶端中心设有喷口，电磁加热蒸镀器内腔设有与喷口连接的坩埚，机体内顶部一侧设有电机二，电机二远离机体的一侧与升降机构连接，机体的内壁两侧中部位置均设有档杆，档杆与升降机构活动连接。有益效果：使得基片放置板能够实现上下方向的调节，从而方便基片的取放，使得电磁加热蒸镀器能够实现前后、左右方向的往复运动，可以更加灵活地对蒸镀范围进行调节，提高蒸镀效果。提高蒸镀效果。提高蒸镀效果。
【技术实现步骤摘要】
一种采用电磁加热的物理气相沉积设备
[0001]本技术涉及气相沉积领域，具体来说，涉及一种采用电磁加热的物理气相沉积设备。
技术介绍
[0002]物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源
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固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体或等离子体过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。
[0003]现有的物理气相沉积设备，各组成机构位置相对固定，蒸镀机构不能够灵活调节，在进行蒸镀工作时，只能进行全部范围的固定蒸镀，无法针对局部进行适应性调节，无法全方位的调节蒸镀位置，从而覆盖整个基片，导致基片表面薄膜厚度不均匀，蒸镀效果不理想，同时基片放置板位置不可调，不方便取放基片，影响工作效率。
[0004]针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
[0005]针对相关技术中的问题，本技术提出一种采用电磁加热的物理气相沉积设备，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。
[0006]为此，本技术采用的具体技术方案如下：
[0007]一种采用电磁加热的物理气相沉积设备，包括机体，其中，所述机体内部底端设有电机一，所述电机一输出轴贯穿承载板并与驱动机构连接，且所述驱动机构位于所述承载板的顶部，所述驱动机构顶端设有电磁加热蒸镀器，所述电磁加热蒸镀器顶端中心设有喷口，所述电磁加热蒸镀器内腔设有与所述喷口连接的坩埚，所述机体内顶部一侧设有电机二，所述电机二远离所述机体的一侧与升降机构连接，所述机体的内壁两侧中部位置均设有档杆，所述档杆与所述升降机构活动连接，所述机体的底部一侧设有真空机，且所述真空机通过管路与所述机体的内腔连接。
[0008]进一步的，为了使得驱动机构能够实现前后、左右方向上的往复运动，从而带动喷口前后、左右方向上的往复运动，从而更好地进行蒸镀，所述驱动机构包括滑轨框，所述滑轨框内侧活动连接有齿圈，且所述齿圈的表面与所述电磁加热蒸镀器的底端固定连接，所述齿圈内侧设有与所述电机一连接的驱动齿轮，且所述驱动齿轮与所述齿圈相配合，所述齿圈顶端中部设有导杆，所述导杆的顶部背面设有与所述承载板固定连接的固定条，所述滑轨框两侧均连接有连杆，所述连杆远离所述滑轨框的一端套设有与所述承载板连接的固定块。
[0009]进一步的，为了减少驱动机构与承载板之间的摩擦阻力，从而使得驱动机构运行流畅，所述滑轨框的背面均匀设有若干滚珠，所述承载板靠近所述驱动机构的一侧设有氧化膜。
[0010]进一步的，为了使得齿圈能够流畅运行，提高驱动机构的稳定性，所述滑轨框的壁
两侧均开设有导向槽，且所述齿圈的两侧均设置有与所述导向槽相配合的导向块。
[0011]进一步的，为了使得放置板能够调整水平高度，从而方便基片的取放，以及更好的进行蒸镀，所述升降机构包括转轴，且所述转轴的一端与所述电机二连接，所述转轴的另一端通过轴承与所述机体的内壁转动连接，所述转轴两端外侧分别套设有斜齿轮一和斜齿轮二，且所述斜齿轮一和斜齿轮二上轮齿的倾斜方向相反，所述斜齿轮一和所述斜齿轮二顶部分别设有与之相啮合的斜齿轮三和斜齿轮四，所述斜齿轮三远离所述电机二的一侧设有与之相配合的齿条一，所述斜齿轮四靠近所述电机二的一侧设有与之相配合的齿条二，所述齿条一和所述齿条二的顶部之间设有放置板。
[0012]进一步的，为了限制齿条一、齿条二的运行轨迹，提高升降机构的稳定性，所述齿条一和所述齿条二上均贯穿开设有滑槽，且所述转轴和所述档杆均设置于所述滑槽内。
[0013]本技术的有益效果为：
[0014](1)通过设置电机一、承载板、驱动机构，使得电磁加热蒸镀器能够实现前后、左右方向的往复运动，在蒸镀工作时可以根据需求，对蒸镀范围进行适应性调节，从而覆盖整个基片，从而更加灵活高效的对基片进行蒸镀；
[0015](2)通过设置电机二、升降机构，使得基片放置板能够实现上下方向的调节，从而方便基片的取放，提高工作效率，同时可以更加灵活地对蒸镀范围进行调节，提高蒸镀效果。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是根据本技术实施例的一种采用电磁加热的物理气相沉积设备结构示意图；
[0018]图2是根据本技术实施例的一种采用电磁加热的物理气相沉积设备驱动机构结构示意图；
[0019]图3是根据本技术实施例的一种采用电磁加热的物理气相沉积设备中滑轨框与齿圈的连接示意图；
[0020]图4是根据本技术实施例的一种采用电磁加热的物理气相沉积设备升降机构结构示意图；
[0021]图5是根据本技术实施例的一种采用电磁加热的物理气相沉积设备齿条一结构示意图。
[0022]图中：
[0023]1、机体；2、电机一；3、承载板；4、驱动机构；401、滑轨框；402、齿圈；403、驱动齿轮；404、导杆；405、固定条；406、连杆；407、固定块；408、滚珠；409、导向槽；410、导向块；5、电磁加热蒸镀器；6、喷口；7、坩埚；8、电机二；9、升降机构；901、转轴；902、斜齿轮一；903、斜齿轮二；904、斜齿轮三；905、斜齿轮四；906、齿条一；907、齿条二；908、放置板；909、滑槽；10、档杆；11、真空机。
具体实施方式
[0024]为进一步说明各实施例，本技术提供有附图，这些附图为本技术揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本技术的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
[0025]根据本技术的实施例，提供了一种采用电磁加热的物理气相沉积设备。
[0026]现结合附图和具体实施方式对本技术进一步说明，如图1-5所示，根据本技术实施例的采用电磁加热的物理气相沉积设备，包括机体1，其中，所述机体1内部底端设有电机一2，所述电机一2输出轴贯穿承载板3 并与驱动机构4连接，且所述驱动机构4位于所述承载板3的顶部，所述驱动机构4顶端设有电磁加热蒸镀器5，所述电磁加热蒸镀器5顶端中心设有喷口6，所述电磁加热蒸镀器5内腔设有与所述喷口6连接的坩埚7，所述机体1内顶部一侧设有电机二8，所述电机二8远离所述机体1的一侧与升降机构9连接，所述机体1的内壁两侧中部位置均设有档杆10，所述档杆10与所述升降机构9活动连接，所述机体1的底部一侧设有真空机 11，且所述真空机11通过管路与所述机体1的内腔连接。
[0027]采用上述技术方案，通过设置电机一2、承载板3、驱动机构4、电机二 8、升本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种采用电磁加热的物理气相沉积设备，其特征在于，包括机体(1)，其中，所述机体(1)内部底端设有电机一(2)，所述电机一(2)输出轴贯穿承载板(3)并与驱动机构(4)连接，且所述驱动机构(4)位于所述承载板(3)的顶部，所述驱动机构(4)顶端设有电磁加热蒸镀器(5)，所述电磁加热蒸镀器(5)顶端中心设有喷口(6)，所述电磁加热蒸镀器(5)内腔设有与所述喷口(6)连接的坩埚(7)，所述机体(1)内顶部一侧设有电机二(8)，所述电机二(8)远离所述机体(1)的一侧与升降机构(9)连接，所述机体(1)的内壁两侧中部位置均设有档杆(10)，所述档杆(10)与所述升降机构(9)活动连接，所述机体(1)的底部一侧设有真空机(11)，且所述真空机(11)通过管路与所述机体(1)的内腔连接。2.根据权利要求1所述的一种采用电磁加热的物理气相沉积设备，其特征在于，所述驱动机构(4)包括滑轨框(401)，所述滑轨框(401)内侧活动连接有齿圈(402)，且所述齿圈(402)的表面与所述电磁加热蒸镀器(5)的底端固定连接，所述齿圈(402)内侧设有与所述电机一(2)连接的驱动齿轮(403)，且所述驱动齿轮(403)与所述齿圈(402)相配合，所述齿圈(402)顶端中部设有导杆(404)，所述导杆(404)的顶部背面设有与所述承载板(3)固定连接的固定条(405)，所述滑轨框(401)两侧均连接有连杆(406)，所述连杆(406)远离所述滑轨框(401)的一端套设有与所述承载板(3)连接的固定块(407)。3.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：艾啸林，向雨欣，殷洋洋，李颖，潘榆，徐洋，
申请(专利权)人：重庆三峡学院，
类型：新型
国别省市：
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