一种测量处方的加载方法及其装置、测量设备制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种测量处方的加载方法及其装置、测量设备，属于测量技术领域，通过对待测基底执行测量对准操作后，判断所获得的测量处方的定义数据中是否有未编辑完成的数据；并当测量处方中存在未编辑完成的数据时，提供测量处方的编辑界面，以使用户对未编辑完成的测量处方进行编辑，并回写至测量处方中以使测量处方中的定义数据处于编辑完成状态，从而能够使得所有待测基底根据回写编辑信息后的测量处方，执行测量操作，简化测量操作步骤，降低人工成本，提高测量效率，进而提高生产效率。产效率。产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种测量处方的加载方法及其装置、测量设备


[0001]本专利技术涉及测量
，尤其涉及一种测量处方的加载方法及其装置、测量设备。

技术介绍

[0002]测量技术应用于半导体器件的整个制程。例如在半导体器件的基底曝光后，对曝光位置及曝光图案进行测量，检测曝光位置的准确度，曝光图案的清晰度等，以评价光刻工艺的精度。
[0003]当前，对半导体器件制程中的基底进行测量前，需对测量过程和方式进行编辑，以在测量时能够调取所编辑的测量过程和方式。例如，对曝光后的基底进行测量前，需要定义出标记位置、测量点位置以及测量图像数据。现有技术中，对准位置和测量点位置可在测量前进行定义，而测量图像数据，需在上载待测基底，并完成对准坐标系的建立后，移动至待测基底的测量点，由用户手动确认待测基底的测量图像数据。如此，每个待测基底的测量过程中，均需手动确认测量图像数据，而在测量图像数据较多时，测量操作繁琐，增加测量成本。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种测量处方的加载方法及其装置、测量设备，以解决现有技术中测量数据较多时，测量操作繁琐、测量成本高的技术问题。
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供了一种测量处方的加载方法，包括：
[0006]获取测量处方的定义数据；
[0007]对待测基底执行测量对准操作；
[0008]判断所述测量处方的定义数据中是否存在未编辑完成的数据；
[0009]若是，则提供所述测量处方的编辑界面，以供用户对所述未编辑完成的数据进行编辑；
[0010]获取用户对所述未编辑完成的数据的编辑信息，以将所述编辑信息回写至所述测量处方；
[0011]根据回写所述编辑信息后的测量处方，对所述待测基底执行测量操作。
[0012]第二方面，本专利技术实施例还提供了一种测量处方的加载装置，包括：
[0013]定义数据获取模块，用于获取测量处方的定义数据；
[0014]对准操作执行模块，用于对待测基底执行测量对准操作；
[0015]定义数据判断模块，用于判断所述测量处方的定义数据中是否存在未编辑完成的数据；
[0016]编辑界面提供模块，用于在所述测量处方的定义数据中存在为编辑完成的数据时，提供所述测量处方的编辑界面，以供用户对所述未编辑完成的数据进行编辑；
[0017]编辑信息回写模块，用于获取用户对所述未编辑完成的数据的编辑信息，以将所
述编辑信息回写至所述测量处方；
[0018]测量操作执行模块，用于根据回写所述编辑信息后的测量处方，对所述待测基底执行测量操作。
[0019]第三方面，本专利技术实施例还提供了一种测量设备，包括上述测量处方的加载装置。
[0020]本专利技术实施例提供了一种测量处方的加载方法及其装置、测量设备，通过对待测基底执行测量对准操作后，判断所获得的测量处方的定义数据中是否有未编辑完成的数据；并当测量处方中存在未编辑完成的数据时，提供测量处方的编辑界面，以使用户对未编辑完成的测量处方进行编辑，并回写至测量处方中，以能够根据回写编辑信息后的测量处方，对所有的待测基底执行测量操作。相对于现有技术中一一编辑待测基底的测量处方数据，本专利技术实施例能够实现测量处方的离线编辑，从而简化测量操作步骤，降低人工成本，提高的测量效率，进而提高生产效率。
附图说明
[0021]图1是本专利技术实施例提供的一种测量处方的加载方法的流程图；
[0022]图2是本专利技术实施例提供的又一种测量处方的加载方法的流程图；
[0023]图3是本专利技术实施例提供的又一种测量处方的加载方法的流程图；
[0024]图4是本专利技术实施例提供的又一种测量处方的加载方法的流程图；
[0025]图5是本专利技术实施例提供的一种测量处方的加载装置的结构框图；
[0026]图6是本专利技术实施例提供的又一种测量处方的加载装置的结构框图；
[0027]图7是本专利技术实施例提供的一种测量设备的结构框图。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。
[0029]本专利技术实施例提供了一种测量处方的加载方法，该方法可适用于对待测基底测量时，加载待测基底的测量处方的情况。该方法可以由本专利技术实施例提供的测量处方的加载装置来执行，该装置可采用软件和/或硬件的方式实现，该装置可集成于测量设备中。图1是本专利技术实施例提供的一种测量处方的加载方法的流程图。如图1所示，该方法具体包括：
[0030]S110、获取测量处方的定义数据。
[0031]具体的，测量处方包括测量过程和测量方式，根据测量处方可对非量化事物作出量化的描述。其中，测量过程主要涉及测量步骤的先后顺序，测量方式是指每一测量步骤所采用的方法，而测量处方的定义数据是测量过程和测量方式的主要依据。在测量时，测量处方的定义数据可以是用户提前离线编辑的，也可以已有文档中的数据。相应的，获取测量处方的定义数据的方式可以是，提供相应的定义数据编辑界面，用户在该定义数据的编辑界面编辑相应的定义数据；或者，直接调用相应的文档，获得该文档中所包含的测量处方的定义数据。示例性的，该测量处方例如可以为光刻工艺中，曝光位置和曝光图案的测量处方。相应的，测量处方的定义数据例如可以包括测量对准数据、测量点位置数据和测量图像数据等。其中，测量对准数据可以包括参考位置和对准标记位置相对于参考位置的坐标点，测
量点数据曝光位置相对于参考位置的坐标点，以及测量图像数据可以包括曝光位置处的曝光图案的线宽、形状等。
[0032]S120、对待测基底执行测量对准操作。
[0033]具体的，测量的对象主要为一些几何量，例如长度、面积、形状、高程、角度、表面粗糙度以及形位误差等。在对事物的某一测量对象进行测量时，需要对准测量位置以及该测量位置的起始点等。其中，可根据用户定义的对准标记位置，以及用户选择的对准坐标系的定义方式，对待测基底执行测量对准操作；或者，通过人工手动输入的方式，对待测基底执行测量对准操作；或者，根据相应的生产工程图档中的数据，自动对待测基底执行测量对准操作；或者，根据所获取的测量处方的定义数据，对待测基底执行测量对准操作。该测量处方的定义数据可以包括测量对象的测量位置数据以及测量对准数据等，其中，测量点位置数据可以为测量点位置或者测量点位置的起始点等，测量对准数据可以为测量时所采用的对准方式等。通过测量对准数据，确定出测量点位置相对于参考点的坐标点，以根据该坐标点对准待测基底的测量点。
[0034]如上例中，待测基底可以为器件的曝光基底。由测量处方的定义数据中的测量对准数据，可获知曝光基底的对准标记位置和参考点位置，以获得曝光基底的对准标记相对于参考位置的坐标点，并通过测量设备中的对准传感器对准曝光基底上的对准标记，建立曝光基底与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量处方的加载方法，其特征在于，包括：获取测量处方的定义数据；对待测基底执行测量对准操作；判断所述测量处方的定义数据中是否存在未编辑完成的数据；若是，则提供所述测量处方的编辑界面，以供用户对所述未编辑完成的数据进行编辑；获取用户对所述未编辑完成的数据的编辑信息，以将所述编辑信息回写至所述测量处方；根据回写所述编辑信息后的测量处方，对所述待测基底执行测量操作。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在获取测量处方的定义数据之前还包括：提供所述测量处方的编辑界面，以供用户编辑所述测量处方的定义数据；获取用户自定义命名后创建的空测量处方文档，以在所述空测量处方文档中编辑所述测量处方的定义数据。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述测量处方的定义数据包括测量对准数据、测量点位置数据和测量图像数据；其中，所述未编辑完成的数据包括所述测量图像数据；相应的，获取测量处方的定义数据包括：获取用户在所述空测量处方文档中编辑的所述测量对准数据和所述测量点位置数据；所述获取用户对所述未编辑完成的数据的编辑信息，以将所述编辑信息回写至所述测量处方，包括：获取用户对所述测量图像数据的编辑信息，以将所述编辑信息回写至所述测量处方。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述获取用户在所述空测量处方文档中编辑的测量对准数据和测量点位置数据，包括：获取用户定义的对准标记位置，以及用户选择的对准坐标系的定义方式；获取用户选择的测量类型，以及用户导入或输入的测量点位置数据。5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述对待测基底执行测量对准操作，包括：根据所述测量对准数据，以及通过对准传感器对准的所述待测基底上的对准标记，建立所述待测基底与测量设备之间的坐标系关系；根据所述坐标系关系和所述测量点位置数据，控制所述待测基底的测量点移动至所述测量设备的测量区域；相应的，所述对所述待测基底执行测量操作，包括：根据所述测量点位置和所述测量图像数据对所述待测基底的图像进行测量。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在判断所述测量处方的定义数据中是否存在未编辑完成的数据之后，还包括：若所述测量处方的定义数据中不存在未编辑完成的数据，则对所述待测基底执行测量操作。7.一种测量处方的加载装置，其特征在于，包括：定义数据获取模块，用于获取测量处方的定义数据；对准操作执行模块，用于对待测基底执行测量对...

【专利技术属性】
技术研发人员：于亮，徐兵，张伟敏，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：