【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻机制造，特别涉及一种安全快门及光刻机。
技术介绍
1、安全快门在光刻机中具有安全保护的功能，其利用叶片的运动实现光源光路打开与关闭的切换。鉴于光刻机尤其是封装光刻机，其所用的光源功率可达到几千瓦乃至几万瓦，而安全快门安装于光源灯室出光口处，出光口的光斑直径可达到几百毫米，且能量密度高。因而，安全快门的运动可靠性要求级别很高，需要在高温、高辐射以及高照度的工况下精准完成设定运动。其中，安全快门的叶片一般采用耐高温的金属材质设计制造，且叶片厚度较大；在安全快门关闭时，叶片必须能够完全遮挡光斑，则需要叶片直径较大；在安全快门打开时，叶片需完全离开光路不能挡光，则需要叶片运动行径较大。
2、然而，为满足恶劣工况以及叶片大尺寸和大行径的需求，现有的安全快门运动机制易出现高偏载形变和抗冲击性差的问题。且基于机械加工的形变还会导致运行机制出现偏心和偏角的情况，容易造成运行机制卡死，严重影响安全快门的运动可靠性。
3、因此，亟需一种新的安全快门，以解决上述技术问题。
技术实现思路b>
1本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种安全快门，其特征在于，包括：盖板、叶片、传动轴和驱动组件；
2.根据权利要求1所述的安全快门，其特征在于，所述驱动组件包括基座、气缸固定座和气缸；其中，所述基座设置于所述盖板上；所述气缸固定座的一端与所述基座相接，所述气缸固定座的另一端与所述气缸可活动相接。
3.根据权利要求2所述的安全快门，其特征在于，所述基座具有相接的固定端和本体；所述本体贴合于所述盖板的表面，所述固定端沿垂直于所述本体的方向延伸；其中，所述气缸固定座的一端与所述固定端的侧壁相接，所述气缸固定座的另一端与所述气缸经铰链相接。
4.根据权利要求2所述的安全...
【技术特征摘要】
1.一种安全快门，其特征在于，包括：盖板、叶片、传动轴和驱动组件；
2.根据权利要求1所述的安全快门，其特征在于，所述驱动组件包括基座、气缸固定座和气缸；其中，所述基座设置于所述盖板上；所述气缸固定座的一端与所述基座相接，所述气缸固定座的另一端与所述气缸可活动相接。
3.根据权利要求2所述的安全快门，其特征在于，所述基座具有相接的固定端和本体；所述本体贴合于所述盖板的表面，所述固定端沿垂直于所述本体的方向延伸；其中，所述气缸固定座的一端与所述固定端的侧壁相接，所述气缸固定座的另一端与所述气缸经铰链相接。
4.根据权利要求2所述的安全快门，其特征在于，所述传动轴具有相对的第一端和第二端；所述第一端、所述联轴部、所述连接部和所述第二端依次相接；且所述第一端与所述气缸经铰链相接，所述第二端与所述基座经轴承相接，以在所述气缸驱动所述第一端运动时，所述传动轴能够沿自身轴向转动。
5.根据权利要求2所述的安全快门，其特征在于，所述连接部包括支撑板、第一柔性铰链和第二柔性铰链；所述支撑板沿所述传动轴的径向延伸，且部分所述叶片覆盖于所述支撑板上，并与所述支撑板可拆卸连接；在垂直于所述支撑板的延伸方向上，所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链分别设置于所述支撑板的相对两侧。
6.根据权利要求5所述的安全快门，其特征在于，所述第一柔性铰链和所述第二柔性铰链均包括单轴柔性铰链。
7.根据权利要求5所述的安全快门，其特征在于，所述基座上间隔设置有关闭限位销和打开限位销，且在所述叶片关闭所述通光孔时...
【专利技术属性】
技术研发人员：王彦飞，夏洪发，周方展，李运锋，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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