一种用于芯片样品的高精度定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于芯片样品的高精度定位装置，包括样品放置区，样品放置区内具有X方向推块、Y方向推块，其特征在于：还包括X方向千分尺、Y方向千分尺，所述X方向推块通过X方向传动装置与X方向千分尺连接，从而转动X方向千分尺能带动X方向推块进退，所述Y方向推块通过Y方向传动装置与Y方向千分尺连接，从而转动Y方向千分尺能带动X方向推块进退，X方向推块进退方向与Y方向推块进退方向不平行。因为采用人工定位的方式，使得定位装置能简单、耗时少，价格便宜的完成对不同样品的定位，另一方面，由于采用X方向千分尺、Y方向千分尺分别带动X方向推块和Y方向推块进退，使得定位装置的精度提高到千分尺的估读位精度。的精度提高到千分尺的估读位精度。的精度提高到千分尺的估读位精度。

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片样品的高精度定位装置


[0001]本技术涉及生产加工
，尤其涉及一种用于芯片样品的高精度定位装置。

技术介绍

[0002]随着技术的进步与发展，对于芯片加工的定位精度要求越来越高，然而现有的加工设备具有转机工艺繁琐、耗时长、价格昂贵的缺点，不能适应样品研发阶段的需要。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种用于芯片样品的高精度定位装置，能简单、耗时少，价格便宜的完成对不同样品的高精度定位。
[0004]为此提供一种用于芯片样品的高精度定位装置，包括样品放置区，样品放置区内具有X方向推块、Y方向推块，其特征在于：还包括X方向千分尺、Y方向千分尺，所述X方向推块通过X方向传动装置与X方向千分尺连接，从而转动X方向千分尺能带动X方向推块进退，所述Y方向推块通过Y方向传动装置与Y方向千分尺连接，从而转动Y方向千分尺能带动X方向推块进退，X方向推块进退方向与Y方向推块进退方向不平行。
[0005]进一步地，X方向推块进退方向与Y方向推块进退方向正交。
[0006]进一步地，所述X方向传动装置为X方向螺杆，X方向推块与X方向螺杆的顶端固定连接，X方向螺杆的末端与X方向千分尺固定连接，所述Y方向传动装置为Y方向螺杆，Y方向推块与Y方向螺杆的顶端固定连接，Y方向螺杆的末端与Y方向千分尺固定连接，X方向推块进退的方向为沿X方向螺杆方向，Y方向推块进退的方向为沿Y方向螺杆方向。
[0007]进一步地，所述X方向千分尺为精度1um的千分尺，所述Y方向千分尺为精度1um的千分尺。
[0008]进一步地，还包括底板，所述样品放置区为底板上设置的凹槽。
[0009]进一步地，所述样品放置区为底板上设置的长方形凹槽。
[0010]有益效果：
[0011]因为采用人工定位的方式，使得定位装置能简单、耗时少，价格便宜的完成对不同样品的定位，另一方面，由于采用X方向千分尺、Y方向千分尺分别带动X方向推块和Y方向推块进退，使得定位装置的精度提高到千分尺的估读位精度。
[0012]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本技术的具体实施方式。
附图说明
[0013]通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本实用
新型的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：
[0014]图1为本实施例定位装置结构示意图
具体实施方式
[0015]本实施例的定位装置用于芯片样品加工时，对芯片样品进行精确定位。见图1，本实施例的定位装置包括底板1、X方向千分尺3、Y方向千分尺6、X方向螺杆4、Y方向螺杆7、X方向推块5、Y方向推块8。底板上开有作为样品放置区2的凹槽，X方向推块5、Y方向推块8位于样品放置区2内，其中，X方向推块5与X方向螺杆4的顶端固定连接，X方向螺杆4穿过底板上开设的X方向通孔(图中未示出)，X方向螺杆4末端与X方向千分尺3固定连接，转动X方向千分尺3能带动X方向推块5沿X方向螺杆4前进后退。Y方向推块8与Y方向螺杆7的顶端固定连接，Y方向螺杆7穿过底板1上开设的Y方向通孔，Y方向螺杆7末端与Y方向千分尺6固定连接，转动Y方向千分尺6能带动Y方向推块8沿Y方向螺杆7前进后退。X方向螺杆4与Y方向螺杆7不平行，从而对二维平面上的芯片样品进行定位，由于本实施例中采用的X方向千分尺3、Y方向千分尺6都是精度1um的千分尺，因此，通过转动千分尺带动推块的方式，能使芯片样品的定位精度达到1um。
[0016]进一步地，X方向螺杆4与Y方向螺杆7正交布置，从而构成笛卡尔坐标系定位，符合大众对二维平面的认识。
[0017]进一步地，作为样品放置区2的凹槽是长方形凹槽，以使其符合芯片样品的形状。
[0018]值得一提的是，本实施例所述的X方向螺杆4与Y方向螺杆7只是常规传动方式的一种，可以采用其他传动方式替代本实施例中的螺杆来使得千分尺能带动推块移动。
[0019]最后应当说明的是，以上实施例仅用于说明本技术的技术方案而非对本技术保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本专利技术作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本技术的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本技术技术方案的实质和范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片样品的高精度定位装置，包括样品放置区(2)，样品放置区(2)内具有X方向推块(5)、Y方向推块(8)，其特征在于：还包括X方向千分尺(3)、Y方向千分尺(6)，所述X方向推块(5)通过X方向传动装置与X方向千分尺(3)连接，从而转动X方向千分尺(3)能带动X方向推块(5)进退，所述Y方向推块(8)通过Y方向传动装置与Y方向千分尺(6)连接，从而转动Y方向千分尺(6)能带动X方向推块(5)进退，X方向推块(5)进退的方向与Y方向推块(8)进退的方向不平行。2.根据权利要求1所述的一种用于芯片样品的高精度定位装置，其特征在于：X方向推块(5)进退方向与Y方向推块(8)进退方向正交。3.根据权利要求1所述的一种用于芯片样品的高精度定位装置，其特征在于：所述X方向传动装置为X方向螺杆(4)，X方向推块(5)与X方向螺杆(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：屈显波，
申请(专利权)人：广东瑞谷光网通信股份有限公司，
类型：新型
国别省市：