一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统技术方案

本实用新型专利技术涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，包括第一气体支路与第二气体支路，所述第一气体支路的内部包含有第一气体浮子流量计、第一气体质量流量计与第一气动波纹阀，所述第二气体支路的内部包含有第二气体浮子流量计、第二气体质量流量计与第二气动波纹阀，所述第一气动波纹阀的底部固定连接有气体汇流排，可以不用依靠与气体浮子流量计的对比，来判断气体质量流量计准确度，还可以在CVD设备未生产的任何时间，对所有的气体质量流量计主动进行流量校准，可主动排查是否有质量流量计的流量有偏差，方便及时，减少生产浪费和产品的故障率。生产浪费和产品的故障率。生产浪费和产品的故障率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统


[0001]本技术涉及金属切削刀具和工模具涂层
，具体为一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统。

技术介绍

[0002]CVD是在其它材料(基材)的金属加工用工件例如模具、切削工具、耐磨损、耐腐蚀零件等的表面上成膜的方法，尤其是薄膜形成方法，化学气相沉积的特点是反应气体所含化合物的化学反应的进行，所期望的化学反应主要产物沉积在基材表面上并在那里形成涂层或者说覆膜，可能的反应副产物以气体形态出现并且必须从气体混合物中被除去以保证层膜性能，这通过排气管路来实现，经过涂层的切削刀具、工模具的使用寿命会大大提高，经过涂层的零部件更加耐腐蚀和耐磨损。
[0003]现有的技术，一般通过与气体管路中的气体浮子流量计的流量计比较，大致得出质量流量计的流量是否准确，与通过涂层设备涂出来的产品质量是否合格来反推气体质量流量计流量是否准确，但是这些技术中也是存在缺陷的，气体浮子流量计的精度本身就不高，通过与气体浮子流量计的对比，无法准确判断气体质量流量计的流量是否准确，过涂层设备涂出来的产品质量是否合格来反推气体质量流量计流量是否准确的方式，有巨大滞后性，通常产品涂层结束后，直到获得产品的检测报告往往需要几天到一周不等的时间，在等待产品检测报告的期间，CVD涂层设备依然在继续进行生产，如果在检测过程中发现产品质量有问题，时间已经过去几天到一周了，那么在等待检测结果期间生产的刀片也是疑似有质量问题的，这造成了极大的浪费，因此，此方法属于亡羊补牢，并不是未雨绸缪的方式，无法适应现代生产的需要。

技术实现思路

[0004]技术方案
[0005]为实现上述可以判断气体质量流量计准确度，以及减少生产浪费和产品的故障率目的，本技术提供如下技术方案：一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，包括第一气体支路与第二气体支路，所述第一气体支路的内部包含有第一气体浮子流量计、第一气体质量流量计与第一气动波纹阀，所述第二气体支路的内部包含有第二气体浮子流量计、第二气体质量流量计与第二气动波纹阀，所述第一气动波纹阀的底部固定连接有气体汇流排，所述气体汇流排的右侧端固定安装有汇流排出口气动波纹阀，所述汇流排出口气动波纹阀的右侧端固定安装有手阀，所述手阀的右侧端固定安装有测试罐，所述测试罐的右侧端固定安装有测试罐出口气动波纹阀，所述测试罐出口气动波纹阀的右侧端固定安装有液环真空泵。
[0006]优选的，所述第二气动波纹阀的底部固定连接有气体汇流排。
[0007]优选的，所述测试罐的顶部分别固定连接有压力变送器与热电偶。
[0008]优选的，所述液环真空泵的一侧固定安装有碱液管，所述液环真空泵的另一端固
定安装有排空管。
[0009]有益效果
[0010]与现有技术相比，本技术提供了一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，具备以下有益效果：
[0011]该用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，可以不用依靠与气体浮子流量计的对比，来判断气体质量流量计准确度，还可以在CVD设备未生产的任何时间，对所有的气体质量流量计主动进行流量校准，可主动排查是否有质量流量计的流量有偏差，方便及时，减少生产浪费和产品的故障率。
附图说明
[0012]图1为本技术结构示意图。
[0013]图中：1-第一气体支路、2-第二气体支路、3-第一气体浮子流量计、4-第一气体质量流量计、5-第一气动波纹阀、6-第二气体浮子流量计、7-第二气体质量流量计、8-第二气动波纹阀、9-气体汇流排、10-汇流排出口气动波纹阀、11-手阀、12-测试罐、13-压力变送器、14-热电偶、15-测试罐出口气动波纹阀、16-液环真空泵、17-碱液管、18-排空管。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]请参阅图1，一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，包括第一气体支路1与第二气体支路2，气体支路可以为多个支路，可以用于依次测量若干种气体，第一气体支路1的内部包含有第一气体浮子流量计3、第一气体质量流量计4与第一气动波纹阀5，第二气体支路2的内部包含有第二气体浮子流量计6、第二气体质量流量计7与第二气动波纹阀8，第一气动波纹阀5的底部固定连接有气体汇流排9，气体汇流排9的右侧端固定安装有汇流排出口气动波纹阀10，汇流排出口气动波纹阀10的右侧端固定安装有手阀11，手阀11的右侧端固定安装有测试罐12，测试罐12的容积可以更大，也可以更小，测试罐12的右侧端固定安装有测试罐出口气动波纹阀15，测试罐出口气动波纹阀15的右侧端固定安装有液环真空泵16，第一气动波纹阀5、第二气动波纹阀8、汇流排出口气动波纹阀10与测试罐出口气动波纹阀15，阀门均可以为其他种类的阀门。
[0016]其中，优选的，第二气动波纹阀8的底部固定连接有气体汇流排9。
[0017]其中，优选的，测试罐12的顶部分别固定连接有压力变送器13与热电偶14。
[0018]其中，优选的，液环真空泵16的一侧固定安装有碱液管17，液环真空泵16的另一端固定安装有排空管18。
[0019]本技术的使用流程：气体经过第一气体支路1或第二气体支路2，进入本系统，先经过第一气体浮子流量计3，第一气体质量流量计4，再通过第一气动波纹阀5，进入气体汇流排9内，再由汇流排出口气动波纹阀10以及手阀11，进入测试罐12内，保持一段时间后，再由测试罐出口气动波纹阀15进入液环真空泵16被抽走。
[0020]本技术的工作原理：首先利用液环真空泵16将测试罐12内抽成真空，再由第一气体支路1，在规定时间内，以固定的流速通入第一气体至测试罐12内，根据理想气体状态方程PV＝nRT，P为测试罐12内的压强，V为测试罐12及管路体积，n分子数，R理想气体常数＝8.31，T为测试罐12的开尔文温度，因测试罐12本身带有测量测试罐12内压力的压力变送器13，因而P为已知量，测试罐12和管路的体积也在制作罐体和管路之前确定好的，因而V也是已知量，因测试罐12本身带有测量测试罐12内温度的测温热电偶14，因而T也为已知量，R理想气体常数＝8.31，最终根据公式可得出分子数n，由于特定温度和标准大气压下，1升气体的体积内分子数是固定的，便可由分子数反推得出本次规定时间内总共通入测试罐12和管路内的气体总体积，再确定气体总体积后，便可根据气体总体积和总的通入气体的时间，推断出本次实际的气体流速，将推断出的实际气体流速和设定的气体流速进行对比，便可判断本气体的质量流量计的实际流速是否设定流速大致吻合，从而达到对本气体质量流量计的校准目的，在第一气体质量流量计4校对完毕本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于CVD涂层设备的气体质量流量计校准系统，包括第一气体支路(1)与第二气体支路(2)，其特征在于：所述第一气体支路(1)的内部包含有第一气体浮子流量计(3)、第一气体质量流量计(4)与第一气动波纹阀(5)，所述第二气体支路(2)的内部包含有第二气体浮子流量计(6)、第二气体质量流量计(7)与第二气动波纹阀(8)，所述第一气动波纹阀(5)的底部固定连接有气体汇流排(9)，所述气体汇流排(9)的右侧端固定安装有汇流排出口气动波纹阀(10)，所述汇流排出口气动波纹阀(10)的右侧端固定安装有手阀(11)，所述手阀(11)的右侧端固定安装有测试罐(12)，所述测试罐(12)的右侧端固定安装有测试...

【专利技术属性】
技术研发人员：王彤，
申请(专利权)人：常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：