Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，所属硅片干燥设备技术领域，包括硅片干燥组件，硅片干燥组件外侧设有空气烘干机，空气烘干机上端设有与硅片干燥组件上端相法兰式管路连通的抽气管，空气烘干机下端与硅片干燥组件侧端间设有进气管。硅片干燥组件包括硅片干燥箱体，硅片干燥箱体内设有硅片网格挂箱，硅片网格挂箱两侧下端均设有滚轮架，滚轮架内侧与硅片网格挂箱间均设有若干支撑滚轮，硅片网格挂箱与进气管间设有若干与进气管相连通的进气分管，硅片干燥箱体上端设有与抽气管相法兰式管路连通的出气管。具有结构简单、干燥效率高和运行稳定性好的特点。解决了硅片上水分残留的问题。提高产品品质，达到较好的清洁及干燥效果。好的清洁及干燥效果。好的清洁及干燥效果。

【技术实现步骤摘要】
Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备


[0001]本技术涉及硅片干燥设备
，具体涉及一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备。

技术介绍

[0002]在硅片的生产加工过程中，需要对硅片进行干燥，现有技术中的硅片干燥机大多使用热风干处理，由于硅片存在细小划痕、凹痕，会产生残留液体，及待干燥的硅片表面残留的液体水膜表面张力较大，上述现有技术中的硅片干燥机对硅片的干燥效率低。
[0003]现有技术中还有利用超声波信号除杂，但是超声波通常需要在液体环境中应用，在对硅片干燥时难以应用，因此需要一种高效的硅片干燥装置。由于硅片中残留液体膜的表面张力作用，干燥残留液体时，液体在干燥气体中的挥发程度较小，导致对硅片的干燥效率低。

技术实现思路

[0004]本技术主要解决现有技术中存在干燥效率低和运行稳定性差的不足，提供了一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其具有结构简单、干燥效率高和运行稳定性好的特点。解决了硅片上水分残留的问题。提高产品品质，达到较好的清洁及干燥效果。
[0005]本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
[0006]一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，包括硅片干燥组件，所述的硅片干燥组件外侧设有空气烘干机，所述的空气烘干机上端设有抽气管，所述的抽气管与硅片干燥组件上端相法兰式管路连通，所述的空气烘干机下端与硅片干燥组件侧端间设有进气管。所述的硅片干燥组件包括硅片干燥箱体，所述的硅片干燥箱体内设有硅片网格挂箱，所述的硅片网格挂箱与硅片干燥箱体相活动式抽拉，所述的硅片网格挂箱两侧下端均设有滚轮架，所述的滚轮架内侧与硅片网格挂箱间均设有若干支撑滚轮，所述的滚轮架上端与硅片网格挂箱间均设有若干导向限位拨杆，所述的导向限位拨杆与滚轮架相扭簧式限位嵌套，所述的硅片网格挂箱与进气管间设有若干与进气管相连通的进气分管，所述的进气分管与进气管间设有过渡支撑气管，所述的硅片干燥箱体上端设有出气管，所述的出气管与抽气管相法兰式管路连通。
[0007]作为优选，所述的硅片网格挂箱包括挂箱框架，所述的挂箱框架内设有若干呈等间距的隔板，两相邻的隔板间均设有网格挂袋，所述的网格挂袋与隔板相螺丝紧固且呈弧形结构。
[0008]作为优选，所述的挂箱框架一端设有拉把手。
[0009]作为优选，所述的进气分管上设有若干呈等间距分布的喷嘴。
[0010]作为优选，所述的出气管下端设有横截面呈三角形的吸气斗。
[0011]作为优选，所述的抽气管上设有风机，所述的风机与抽气管相法兰式螺栓连接。
[0012]作为优选，所述的硅片干燥组件端面设有仓门，所述的仓门与硅片干燥组件相合
页式连接。
[0013]作为优选，所述的硅片干燥组件下端设有集水箱，所述的集水箱与硅片干燥组件相连通式法兰连接固定。
[0014]作为优选，所述的空气烘干机侧边设有水汽外排机，所述的水汽外排机与空气烘干机相连通。
[0015]本技术能够达到如下效果：
[0016]本技术提供了一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，与现有技术相比较，具有结构简单、干燥效率高和运行稳定性好的特点。解决了硅片上水分残留的问题。提高产品品质，达到较好的清洁及干燥效果。
附图说明
[0017]图1是本技术的结构示意图。
[0018]图2是本技术中的干燥组件的结构剖视图。
[0019]图3是本技术中的硅片网格挂箱的结构示意图。
[0020]图中：硅片干燥组件1，仓门2，抽气管3，风机4，集水箱5，空气烘干机6，进气管7，水汽外排机8，硅片干燥箱体9，吸气斗10，出气管11，硅片网格挂箱12，喷嘴13，进气分管14，过渡支撑气管15，导向限位拨杆16，滚轮架17，支撑滚轮18，挂箱框架19，网格挂袋20，隔板21，拉把手22。
具体实施方式
[0021]下面通过实施例，并结合附图，对本技术的技术方案作进一步具体的说明。
[0022]实施例：如图1、图2和图3所示，一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，包括硅片干燥组件1，硅片干燥组件1端面设有与硅片干燥组件1相合页式连接的仓门2。硅片干燥组件1下端设有与硅片干燥组件1相连通式法兰连接固定的集水箱5。硅片干燥组件1外侧设有空气烘干机6，空气烘干机6侧边设有与空气烘干机6相连通的水汽外排机8。空气烘干机6上端设有与硅片干燥组件1上端相法兰式管路连通的抽气管3，抽气管3上设有与抽气管3相法兰式螺栓连接的风机4。空气烘干机6下端与硅片干燥组件1侧端间设有进气管7。
[0023]硅片干燥组件1包括硅片干燥箱体9，硅片干燥箱体9内设有与硅片干燥箱体9相活动式抽拉的硅片网格挂箱12，硅片网格挂箱12包括挂箱框架19，挂箱框架19一端设有拉把手22。挂箱框架19内设有11块呈等间距的隔板21，两相邻隔板21间均设有与隔板21相螺丝紧固且呈弧形结构的网格挂袋20。硅片网格挂箱12两侧下端均设有滚轮架17，滚轮架17内侧与硅片网格挂箱12间均设有6个支撑滚轮18，滚轮架17上端与硅片网格挂箱12间均设有6个与滚轮架17相扭簧式限位嵌套的导向限位拨杆16，硅片网格挂箱12与进气管7间设有12根与进气管7相连通的进气分管14，进气分管14上设有9个呈等间距分布的喷嘴13。进气分管14与进气管7间设有过渡支撑气管15，硅片干燥箱体9上端设有与抽气管3相法兰式管路连通的出气管11。出气管11下端设有横截面呈三角形的吸气斗10。
[0024]综上所述，该Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，具有结构简单、干燥效率高和运行稳定性好的特点。解决了硅片上水分残留的问题。提高产品品质，达到较好的清洁及干燥效果。
[0025]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范实施例的细节，而且在不背离技术的基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0026]总之，以上所述仅为本技术的具体实施例，但本技术的结构特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本技术的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本技术的专利范围之中。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：包括硅片干燥组件（1），所述的硅片干燥组件（1）外侧设有空气烘干机（6），所述的空气烘干机（6）上端设有抽气管（3），所述的抽气管（3）与硅片干燥组件（1）上端相法兰式管路连通，所述的空气烘干机（6）下端与硅片干燥组件（1）侧端间设有进气管（7）；所述的硅片干燥组件（1）包括硅片干燥箱体（9），所述的硅片干燥箱体（9）内设有硅片网格挂箱（12），所述的硅片网格挂箱（12）与硅片干燥箱体（9）相活动式抽拉，所述的硅片网格挂箱（12）两侧下端均设有滚轮架（17），所述的滚轮架（17）内侧与硅片网格挂箱（12）间均设有若干支撑滚轮（18），所述的滚轮架（17）上端与硅片网格挂箱（12）间均设有若干导向限位拨杆（16），所述的导向限位拨杆（16）与滚轮架（17）相扭簧式限位嵌套，所述的硅片网格挂箱（12）与进气管（7）间设有若干与进气管（7）相连通的进气分管（14），所述的进气分管（14）与进气管（7）间设有过渡支撑气管（15），所述的硅片干燥箱体（9）上端设有出气管（11），所述的出气管（11）与抽气管（3）相法兰式管路连通。2.根据权利要求1所述的Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，其特征在于：所述的硅片网格挂箱（12）包括挂箱框架（19），所述的挂箱框架（19）内设有若干呈等间距的隔板（21），两相邻...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉原一男，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：