涂布喷嘴及涂布装置制造方法及图纸

提供一种涂布喷嘴及涂布装置，涂布喷嘴具备具有缝隙状的喷出口的喷嘴主体、缝隙部及流路。缝隙部设置于喷嘴主体内，延伸至喷出口。流路在喷嘴主体内与缝隙部的上游端的至少1个部位直接连结，向缝隙部供给涂布液。涂布装置具备上述涂布喷嘴，从该涂布喷嘴喷出涂布液而在涂布对象的表面形成涂布膜。涂布对象的表面形成涂布膜。涂布对象的表面形成涂布膜。

【技术实现步骤摘要】
涂布喷嘴及涂布装置


[0001]本专利技术涉及涂布喷嘴及具备该涂布喷嘴的涂布装置，尤其涉及具有缝隙状的喷出口的缝隙喷嘴及具备该缝隙喷嘴的涂布装置。

技术介绍

[0002]缝隙喷嘴一般具备具有缝隙状的喷出口的喷嘴主体、在该喷嘴主体内在横向(喷出口呈缝隙状延伸的方向)上扩展的歧管部、从该歧管部延伸至喷出口的缝隙部及用于向歧管部供给涂布液的流路，该流路与歧管部的中央附近的1个部位直接连结(例如，参照日本特开2016-182576号公报)。在这样的缝隙喷嘴中，需要以使涂布液从喷出口的喷出量在横向上均匀的方式，将流入到歧管部的中央附近的涂布液在歧管部内在横向上充分扩展，并且抑制涂布液的流动的不均，为此，需要增大歧管部的容积。
[0003]本申请的专利技术人通过解析而发现了：在利用上述缝隙喷嘴涂布了涂布液的情况下，在歧管部内的大范围内滞留有涂布液。另外，本申请的专利技术人也发现了：在歧管部内，越远离流路直接连结的部位，则涂布液的滞留越显著。
[0004]近年来，存在想要使用具备上述缝隙喷嘴的涂布装置来形成浆料(固体颗粒悬浊的液体)的薄膜这一期望。但是，本申请的专利技术人认为，在使用了浆料作为涂布液的情况下，在歧管内的大范围内浆料滞留，以此为原因，在滞留的浆料中固体颗粒凝聚，该固体颗粒的凝聚物可能会直接喷出。这样的凝聚物会对涂布膜的平滑性、特性造成不良影响。需要说明的是，在使用了溶液(溶质溶解于溶剂的液体)作为涂布液的情况下，即使在歧管内滞留了溶液，也不会产生凝聚物，因此，歧管内的滞留不会成为问题。
[0005]于是，本专利技术的目的在于，提供即使在使用了浆料作为涂布液的情况下也不容易产生凝聚物的涂布喷嘴及具备该涂布喷嘴的涂布装置。

技术实现思路

[0006]本专利技术的涂布喷嘴具备具有缝隙状的喷出口的喷嘴主体、缝隙部及流路。缝隙部设置于喷嘴主体内，延伸至喷出口。流路在喷嘴主体内与缝隙部的上游端的至少1个部位直接连结，向缝隙部供给涂布液。
[0007]根据上述涂布喷嘴，通过涂布液从流路向间隙宽度窄的缝隙部直接流入，该涂布液不滞留而在缝隙部内一边横着扩展一边向下游侧流动。因此，在缝隙部内的横向上的全部部位处，涂布液容易在纵向上流动。
[0008]本专利技术的涂布装置具备上述涂布喷嘴，从该涂布喷嘴喷出涂布液而在涂布对象的表面形成涂布膜。
附图说明
[0009]图1是例示了涂布装置的概念图。
[0010]图2是涂布喷嘴的分解立体图。
[0011]图3是将涂布喷嘴的第一主体结构部从内表面侧观察而示出的平面图。
[0012]图4是示出了第一变形例的涂布喷嘴的一例的概念图。
[0013]图5是示出了第一变形例的涂布喷嘴的另一例的概念图。
[0014]图6是示出了第一变形例的涂布喷嘴的又一例的概念图。
[0015]图7是示出了第二变形例的涂布喷嘴的概念图。
[0016]图8是示出了第三变形例的涂布喷嘴的概念图。
[0017]图9是示出了第四变形例的涂布喷嘴的概念图。
具体实施方式
[0018][1]涂布装置的结构
[0019]图1是例示了涂布装置的概念图。如图1所示，涂布装置具备卡盘部1、涂布液供给部2及控制部3。
[0020]<卡盘部1>
[0021]卡盘部1包括载台11和载台驱动部12。
[0022]载台11以将载置面11a朝向上方的状态设置，通过吸引载置于载置面11a的规定位置的涂布对象T(形成涂布膜的对象)而将该涂布对象T以不从规定位置偏移的方式固定。需要说明的是，载台11不限于利用吸引力来将涂布对象T固定于规定位置，能够变更为利用静电力固定的载台等能够将涂布对象T固定于规定位置的各种各样的载台。
[0023]载台驱动部12是能够实现规定方向D1上的载台11的移动的机构，按照来自控制部3的指令来控制载台11的动作(移动方向、移动速度等)。
[0024]<涂布液供给部2>
[0025]涂布液供给部2包括涂布喷嘴K、喷嘴驱动部21及送液泵22。
[0026]涂布喷嘴K是具有缝隙状的喷出口50a的缝隙喷嘴，以将喷出口50a朝向载台11的载置面11a的状态设置。另外，涂布喷嘴K以使喷出口50a呈缝隙状延伸的方向(在图1中是与纸面垂直的方向。以下，称作“横向D2”)与载台11的载置面11a平行且与规定方向D1(载台11的移动方向)垂直的方式配置。需要说明的是，关于涂布喷嘴K的详情，将在后文叙述。
[0027]喷嘴驱动部21是能够实现涂布喷嘴K的高度方向的移动的机构，按照来自控制部3的指令来调整涂布喷嘴K相对于涂布对象T的高度位置。
[0028]送液泵22将涂布液向涂布喷嘴K输送。具体而言，送液泵22按照来自控制部3的指令来调整涂布液向涂布喷嘴K的供给量，从而调整涂布液从涂布喷嘴K的喷出量。
[0029]<控制部3>
[0030]控制部3由CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)、微型计算机等处理装置构成，控制涂布装置所具备的各种各样的动作部(包括卡盘部1、涂布液供给部2)。
[0031][2]涂布喷嘴的结构
[0032]涂布喷嘴K具备喷嘴主体50、缝隙部51、流路52及歧管部53(参照图1)。
[0033]图2是涂布喷嘴K的分解立体图。如图2所示，喷嘴主体50由第一主体结构部501、第二主体结构部502及夹设于它们之间的隔片部503构成。
[0034]第一主体结构部501及第二主体结构部502分别具有互相对向的平面501a及平面502a。另外，隔片部503是具有规定的厚度的平板，通过夹设于平面501a与502a之间而以自
身的厚度使平面501a与502a互相分离。由此，在喷嘴主体50内在平面501a与502a之间设置间隙，该间隙成为喷出口50a和延伸至该喷出口50a的缝隙部51。另外，喷出口50a及缝隙部51的间隙宽度W(未图示)由隔片部503(平板)的厚度规定。
[0035]具体而言，在隔片部503的成为喷出口50a及缝隙部51的部位设置有与它们的形状对应的切口503c。并且，隔片部503以使自身的两面分别紧贴于平面501a及502a的状态由第一主体结构部501和第二主体结构部502夹住。需要说明的是，在图2中，在第一主体结构部501的平面501a利用单点划线示出了成为缝隙部51的区域。另外，图3是将第一主体结构部501从内表面(平面501a)侧观察而示出的平面图。在图3中，成为缝隙部51的区域也由单点划线示出。
[0036]如图2及图3所示，在喷嘴主体50设置有接受涂布液的供给的供给口50b和将涂布液从该供给口50b引导至缝隙部51的流路52。并且，流路52在喷嘴主体50内分支成多个，分支后的流路52的顶端部52c分别与缝隙部51的上游端51a的多个部位直接连结(参照图3)。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种涂布喷嘴，具备：喷嘴主体，具有缝隙状的喷出口；缝隙部，设置于所述喷嘴主体内，延伸至所述喷出口；及流路，在所述喷嘴主体内与所述缝隙部的上游端的至少1个部位直接连结，向所述缝隙部供给涂布液。2.根据权利要求1所述的涂布喷嘴，所述流路与所述缝隙部的所述上游端的多个部位直接连结。3.根据权利要求2所述的涂布喷嘴，所述流路在所述喷嘴主体内分支成多个，分支后的流路分别与所述缝隙部的所述多个部位直接连结。4.根据权利要求3所述的涂布喷嘴，所述分支后的各流路的截面积比分支前的流路的截面积小。5.根据权利要求2～4中任一项所述的涂布喷嘴，所述流路以使向所述缝隙部的直接连结部位在所述喷出口呈缝隙状延伸的横向上局部变密的方式配置。6.根据权利要求2～4中任一项所述的涂布喷嘴，所述缝隙部构成为关于所述流路的直...

【专利技术属性】
技术研发人员：五十川良则，山本真理，加藤敦隆，高桥雅也，
申请(专利权)人：地方独立行政法人大阪产业技术研究所，
类型：发明
国别省市：