液晶显示装置的TFT完成基板制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种液晶显示装置的ＴＦＴ完成基板，在静电保护回路中隔层线路的重叠连接处，两层金属层之间不设置绝缘层和半导体层，使该处两层金属层直接叠合电连接。这样结构和制造方法，使得在第二金属层成膜的时候，就会直接与第一层金属互连而共享同一电位，并且彼此之间互相分担积累的静电电荷，防止了在上下两层金属之间的放电现象。提前了有效静电防护形成的时间。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体元件，尤其涉及薄膜晶体管液晶显示装置的TFT基 板，该TFT基板上设置有多个液晶显示面板单元和面板外围区域，经切割后可以 形成多个独立的液晶显示器TFT基板。
技术介绍
液晶显示器(liquid crystal display, LCD)是目前最被广泛使用的一种平面显 示器，具有低功耗、外型薄、重量轻以及低驱动电压等特征。液晶显示器模块主 要由液晶显示面板和背光模块所构成。其中，液晶显示面板通常是由薄膜晶体管 阵列基板(TFT基板)、彩色滤光膜基板(CF基板)以及设置于两者之间的液晶 层所构成。而背光模块用以提供上述液晶显示面板所需的面光源，以使液晶显示 模块达到显示的效果。TFT基板可分为显示区域(display Area)和外围电路 (peripheral circuit area)，其中显示区域包含以阵列结构排列的多个子像素单元， 每个子像素单元包括一个或者多个薄膜晶体管以及与之连接的像素电极。此外， 在外围电路与显示区域内设置有多条扫描线与数据线，其中每一个像素单元的薄 膜晶体管由对应的扫描线与数据线所控制。液晶显示面板通常会因为外在因素，例如连续的制程操作以及搬运或者环境变 化等，而在面板内产生静电积累的现象。由于玻璃本身是绝缘物质，因此除非有 适当的放电通道，否则静电荷会一直停留在基板表。如此一来，当静电电荷积累 到一定数量以后，便可能因为静电放电，而导致TFT基板上的电路或者是薄膜晶 体管本身遭到破坏。如何以静电放电防护的措施解决基板带电的问题，是液晶面 板制程特别是大尺寸液晶面板制程当中非常重要的课题。如图1所示，是公知技术中关于制作阵列基板时静电防护措施之一种。如图 所示，是对阵列基板的薄膜晶体管像素进行电性检测的一种布线结构，同时也可 以起到预防静电的效果。具体方式为利用多条测试电路线(第一、第二数据短路 线l、 2，第一、第二栅极短路线3、 4)分别连接奇数条之栅极配线、偶数条之栅 极配线、奇数条之数据配线、偶数条之数据配线，并且由测试电路之输入端(array test pad)输入测试信号，再以非接触式的电光模块作为信号接收端，以判断薄膜 晶体管是否工作正常。这些测试用的电路线分别并联栅极配线和数据配线的奇数 条以及偶数条，在一定程度上可以分摊静电带来的影响，减少静电破坏的发生。静电防护方面，这样的电路面板切断之后就会被去除，因此这样的措施对阵列阶 段之后的制程缺少静电防护作用；即使在阵列阶段，这些测试线由于要与栅极线 和数据线跨接，需要做在不同的层别上，因此彼此之间的导通需要到最后打孔之 后的ITO金属成膜之后才能完成，也就是说，在最后一道制程ITO成膜之前，阵 列工艺制程对于静电破坏处于完全无防护状态。如图2所示，是公知技术中关于制作阵列基板时静电防护措施之另一种。如 图所示，在阵列基板的有效显示区域和周边电路之间放置内部抗静电环(inner short ring) 20或者外部抗静电环(out short ring)，通过两个反向的二极管结构把发生 在局部区域的静电疏导到整个面板回路当中去，以降低静电破坏发生的概率。但 是这种防护措施也有其缺陷，因为它是靠两个反向的晶体管来工作，因此其静电 防护必须在晶体管的整体结构完成之后才能生效，也就是说，与前一种制程技术 相似，在ITO金属成膜之前的整个阵列制程中，这种结构并不能防止静电破坏的 产生。如图3所示，是公知技术中关于制作阵列基板时静电防护措施之一种。如图 所示，把扫描线和数据线的末端制作成尖锐的形状，并于扫描线或者数据线的末 端相对处放置一梳齿型金属带5，梳形金属带5—般采取浮置方式，金属带5的梳 齿末端也制作成尖锐的形状，并于扫描线或者数据线的尖锐末端相对。末端制作 成尖锐形状的作用是可以将玻璃基板上存在的静电荷，通过尖端处易于放电的效 应，将静电电荷自玻璃基板上释放出来，从而达到静电放电防护的效果。其更进 一步的做法是在两尖端相对处放置一半导体衬底6以代替原来的绝缘膜，以此来 增大导通电流，改善放电效果。但是这样的防护方式也有其缺点，就是两个尖端 之间的距离不好控制，距离太远导致放电困难，失去防护效果，距离太近会发生 配线之间的短路，而造成面板的不良。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种新的显示装置的TFT完成基板， 利用静电保护走线与信号配线的直接叠合连接，有效增加液晶显示装置制造过程 中的静电保护。本技术为解决上述技术问题而采用的技术方案是 一种液晶显示装置的 TFT完成基板，包括一玻璃基板，设置有多个液晶显示面板单元和面板外围区域， 在液晶显示面板单元以及面板外围区域的第一、第二金属层内分别设置有信号配线和静电保护走线，在隔层的静电保护走线和延伸至面板外围区域信号配线 重叠处两者之间不设置绝缘层和半导体层，而直接叠合电连接。这样上述结构的TFT完成基板在制作过程中，只要在第二金属层沉积之后， 就可以形成静电保护回路，当面板内有静电产生时，即可通过这些静电保护用配 线上下导通，并发散到对应连线的整个面板回路中。所述的静电保护走线可以由设置于外围测试电路区的短路棒走线充任，所述 TFT完成基板设置有多个液晶显示面板单元和外围测试电路区，该外围测试电路 区内设置有分别与奇数条和偶数条之栅极配线隔层直接叠合电连接的第一、第二 栅极短路棒走线以及分别与奇数条和偶数条之数据配线隔层直接叠合电连接的第 一、第二数据短路棒走线。这种结构利用了 TFT基板的外围测试电路，使其同时 起到静电短路配线的作用，节省了静电保护的专用配线。所述TFT基板上的每个面板的短路棒走线连接到各自的阵列测试焊盘组，进 一步的其结构可以是每个面板的阵列测试焊盘组彼此独立；也可以是通过辅助用 保护配线把所有TFT基板上不同面板的阵列测试焊盘组的测试端子按顺序互相连 接。这样在静电产生瞬间，最大限度地把局部的静电电荷扩散到整块大玻璃基板 当中去；同时阵列测试可以都使用同一套探针，节省了工序和成本。作为另一种结构方式，所述的静电保护走线也可以是一网络状第一金属层走 线，其相互连接成网络状并与每一个面板的栅极配线相连接，并且与每一个面板 的数据配线隔层直接叠合电连接。这样的结构，同样在阵列制程第二层金属成膜的时候即通过该网络状金属层 走线把所有的上下层面板金属回路一起导通，把局部区域产生的静电电荷最大限 度地扩散到整块玻璃基板上下层的金属回路中，防止出现静电电荷积累而发生静 电破坏。进一步地，上述结构中可以在所述的栅极配线和数据配线的端子部分别设置 有静电保护环，这样在阵列制程完成、面板切割之后，依然可以使用面板内的静 电防护环来防护静电，达到了在所有制程工序中都防护静电的目的。总之，静电破坏现象多数是由于上下两层金属之间积累的静电电荷过多，击 穿上下金属之间的耦合电容而造成不同金属层之间的短路或者同一金属层之间的 开路。本技术TFT完成基板的制造过程中，在第二金属层成膜的时候，就会 直接与第一层金属互连而共享同一电位，并且彼此之间互相分担积累的静电电荷， 防止了在上下两层金属之间的放电现象。提前了有效静电防护形成的时间。附图说明为让本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，以下结合附图对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液晶显示装置的ＴＦＴ完成基板，包括：　一玻璃基板，设置有多个液晶显示面板单元和面板外围区域，　在液晶显示面板单元以及面板外围区域的第一、第二金属层内分别设置有信号配线和静电保护走线，在隔层的静电保护走线和延伸至面板外围区域信号配线重叠处两者之间不设置绝缘层和半导体层，而直接叠合电连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐华伟，
申请(专利权)人：上海广电光电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]