一种电子商务控制芯片用晶圆涂膜检测设备制造技术

本发明专利技术涉及电子商务晶圆涂膜技术领域，且公开了一种电子商务控制芯片用晶圆涂膜检测设备，包括传送带，所述传送带的底部活动连接有弹性板，弹性板的一侧活动连接有支撑杆，弹性板的内部且位于传送带的底部活动连接有弧形罩，弧形罩的内部活动有扩展架，扩展架的表面活动连接有储气囊，扩展架的左右两端均活动连接有滚轮，传送带的底部且位于扩展架的表面固定连接有匀化层，气流槽的左右两侧均固定连接有储液管。从储气囊中的流出的气体部分从气流槽流出，另一部分会流向滑板的表面，故滑板会被吹动将储液管中的环氧树脂挤压从导向嘴喷出，由于滑板挤压环氧树脂的驱动力是晶圆的重量，故从而达到了涂膜的量与晶圆的重量相适配的效果。配的效果。配的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种电子商务控制芯片用晶圆涂膜检测设备


[0001]本专利技术涉及电子商务晶圆涂膜
，具体为一种电子商务控制芯片用晶圆涂膜检测设备。

技术介绍

[0002]电子商务是一种基于电子元器件运行的系统，而电子元器件中较为重要的部件便是晶圆，晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，而现有的晶圆需经过涂膜处理才能被安装至芯片上进行使用，故人们研发出晶圆涂膜设备。
[0003]了解了现有晶圆涂膜设备的涂膜工作后发现，其涂膜的量与晶圆的重量不能实现自适配的效果，故当晶圆的重量改变时，喷涂的环氧树脂的量需人工重新调试喷涂设备，费时费力，因此一种电子商务控制芯片用晶圆涂膜检测设备应运而生。

技术实现思路

[0004]为实现上述涂膜的量与晶圆的体积相适配、加速环氧树脂胶冷却的目的，本专利技术提供如下技术方案：一种电子商务控制芯片用晶圆涂膜检测设备，包括传送带，所述传送带的底部活动连接有弹性板，弹性板的一侧活动连接有支撑杆，弹性板的内部且位于传送带的底部活动连接有弧形罩，弧形罩的内部活动有扩展架，扩展架的表面活动连接有储气囊，扩展架的左右两端均活动连接有滚轮，传送带的底部且位于扩展架的表面固定连接有匀化层，匀化层的内部开设有气流槽，气流槽的左右两侧均固定连接有储液管，储液管的表面活动连接有滑板，匀化层的左右两侧均活动连接有调整架。
[0005]本专利技术的有益效果是：
[0006]1.通过将待涂膜的晶圆放置在传送带的表面，后启动驱动部件使传送带移动，传送带移动将晶圆带动至弹性板的表面，而当弹性板受到晶圆的压力时会产生向内凹陷的形变，弹性板向内凹陷会推动协助板，后协助板将力作用在推杆的表面，进而使推杆施加在弧形罩表面一定的力，弧形罩表面受压产生形变进而改变其内部的压力状态，即压力作用在扩展架的表面，扩展架形变而挤压储气囊，储气囊受压其内部的气体流出至匀化层的表面，且此时弧形罩中的气体也会流动至滑板的表面，从储气囊中的流出的气体部分从气流槽流出，另一部分会流向滑板的表面，故滑板会被吹动将储液管中的环氧树脂挤压从导向嘴喷出，由于滑板挤压环氧树脂的驱动力是晶圆的重量，故从而达到了涂膜的量与晶圆的重量相适配的效果。
[0007]2.通过当弹性板受到晶圆的压力时会产生向内凹陷的形变，弹性板向内凹陷会推动协助板，后协助板将力作用在推杆的表面，进而使推杆施加在弧形罩表面一定的力，后扩展架施加在储气囊表面一定的力，即储气囊中的流出的气体部分从气流槽流出，故从而达到了加速环氧树脂胶冷却的效果。
[0008]优选的，所述储液管的内部固定连接有导向嘴，导向嘴的表面为尖端设计。
[0009]优选的，所述扩展架的内部活动连接有复位弹簧，复位弹簧的弹力小于弧形罩的
弹力。
[0010]优选的，所述弹性板的内部且位于弧形罩的表面活动连接有推杆。
[0011]优选的，所述推杆的表面活动连接有协助板，协助板的内部活动连接有调向杆。
[0012]优选的，所述支撑杆的底部活动连接有压缩弹簧，压缩弹簧的弹力与弹性板的弹力相适配。
[0013]优选的，所述扩展架的长度小于弧形罩的长度，且弧形罩的弯曲角度是三十度。
[0014]优选的，所述调整架的作用是调整弧形罩的形变量，进而控制施加在储气囊表面的力。
[0015]优选的，所述扩展架的作用是均匀施加在储气囊上一定的力，进而便于控制从储气囊中流出的气体均匀的喷在滑板的表面，即控制环氧树脂的流出量均匀。
附图说明
[0016]图1为本专利技术弹性板结构主视剖视图；
[0017]图2为图1中A处局部放大图；
[0018]图3为本专利技术支撑杆结构示意图；
[0019]图4为本专利技术调整架结构示意图。
[0020]图中：1、传送带；2、弹性板；3、支撑杆；4、弧形罩；5、扩展架；6、储气囊；7、滚轮；8、匀化层；9、气流槽；10、储液管；11、滑板；12、调整架；13、导向嘴；14、复位弹簧；15、推杆；16、协助板；17、调向杆；18、压缩弹簧；
具体实施方式
[0021]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]请参阅图1-4，一种电子商务控制芯片用晶圆涂膜检测设备，包括传送带1，传送带1的底部活动连接有弹性板2，弹性板2的内部且位于弧形罩4的表面活动连接有推杆15；推杆15的表面活动连接有协助板16，协助板16的内部活动连接有调向杆17；通过当弹性板2受到晶圆的压力时会产生向内凹陷的形变，弹性板2向内凹陷会推动协助板16，后协助板16将力作用在推杆15的表面，进而使推杆15施加在弧形罩4表面一定的力，后扩展架5施加在储气囊6表面一定的力，即储气囊6中的流出的气体部分从气流槽9流出，故从而达到了加速环氧树脂胶冷却的效果。
[0023]弹性板2的一侧活动连接有支撑杆3，支撑杆3的底部活动连接有压缩弹簧18，压缩弹簧18的弹力与弹性板2的弹力相适配；弹性板2的内部且位于传送带1的底部活动连接有弧形罩4，弧形罩4的内部活动有扩展架5，扩展架5的长度小于弧形罩4的长度，且弧形罩4的弯曲角度是三十度时；扩展架5的内部活动连接有复位弹簧14，复位弹簧14的弹力小于弧形罩4的弹力；扩展架5的作用是均匀施加在储气囊6上一定的力，进而便于控制从储气囊6中流出的气体均匀的喷在滑板11的表面，即控制环氧树脂的流出量均匀；通过将待涂膜的晶圆放置在传送带1的表面，后启动驱动部件使传送带1移动，传送带1移动将晶圆带动至弹性
板2的表面，而当弹性板2受到晶圆的压力时会产生向内凹陷的形变，弹性板2向内凹陷会推动协助板16，后协助板16将力作用在推杆15的表面，进而使推杆15施加在弧形罩4表面一定的力，弧形罩4表面受压产生形变进而改变其内部的压力状态，即压力作用在扩展架5的表面，扩展架5形变而挤压储气囊6，储气囊6受压其内部的气体流出至匀化层8的表面，且此时弧形罩4中的气体会流动至滑板11的表面，而从储气囊6中的流出的气体部分从气流槽9流出，另一部分会流向滑板11的表面，故滑板11会被吹动将储液管10中的环氧树脂挤压从导向嘴13喷出，由于滑板11挤压环氧树脂的驱动力是晶圆的重量，故从而达到了涂膜的量与晶圆的重量相适配的效果。
[0024]扩展架5的表面活动连接有储气囊6，扩展架5的左右两端均活动连接有滚轮7，传送带1的底部且位于扩展架5的表面固定连接有匀化层8，匀化层8的内部开设有气流槽9，储液管10的内部固定连接有导向嘴13，导向嘴13的表面为尖端设计；气流槽9的左右两侧均固定连接有储液管10，储液管10的表面活动连接有滑板11，匀化层8的左右两侧均活动连接有调整架12；调整架12的作用是调整弧形罩4的形变量，进而控制施加在储气囊6表面的力。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子商务控制芯片用晶圆涂膜检测设备，包括传送带(1)，其特征在于：所述传送带(1)的底部活动连接有弹性板(2)，弹性板(2)的一侧活动连接有支撑杆(3)，弹性板(2)的内部且位于传送带(1)的底部活动连接有弧形罩(4)，弧形罩(4)的内部活动有扩展架(5)，扩展架(5)的表面活动连接有储气囊(6)，扩展架(5)的左右两端均活动连接有滚轮(7)，传送带(1)的底部且位于扩展架(5)的表面固定连接有匀化层(8)，匀化层(8)的内部开设有气流槽(9)，气流槽(9)的左右两侧均固定连接有储液管(10)，储液管(10)的表面活动连接有滑板(11)，匀化层(8)的左右两侧均活动连接有调整架(12)。2.根据权利要求1所述的一种电子商务控制芯片用晶圆涂膜检测设备，其特征在于：所述储液管(10)的内部固定连接有导向嘴(13)，导向嘴(13)的表面为尖端设计。3.根据权利要求1所述的一种电子商务...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘发，
申请(专利权)人：义乌春绘贸易有限责任公司，
类型：发明
国别省市：