一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具，包括防护治具、预留槽和一号固定套，所述防护治具内部两端开设有预留槽，所述预留槽内部设置有小型弹簧且预留槽一端套设有推杆，所述防护治具顶部一端焊接有一号固定套，所述一号固定套顶部设置有一号提拉杆且一号提拉杆底部焊接有清杂锥，所述防护治具顶部另一端焊接有二号固定套。本实用新型专利技术对于被保护的不锈钢部件表面不会留下残胶，污垢等副产物，洗净喷砂遮蔽保护治具可以重复利用，可代替手工胶带遮蔽部件的非喷砂区域，具有使用方便，精度高，可重复使用及节省人力及物料成本的特点，适合被广泛推广和使用。广泛推广和使用。广泛推广和使用。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具


[0001]本技术涉及凹槽保护治具
，特别涉及一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具。

技术介绍

[0002]因Anode D304部件顶部凹槽部位狭窄且复杂，在常规胶带保护情况下，常发生漏砂导致光滑密封面被喷砂、手动保护胶带粘贴不住密封面等情况，凹槽距离较窄，手动胶带保护一方面不适合人员作业，无法有效的粘贴胶带，另一方面手动保护喷砂边缘不整齐，严重影响喷砂后的外观以及喷砂范围确定等问题，为此，我们提出一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的在于提供一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具，包括防护治具、预留槽和一号固定套，所述防护治具内部两端开设有预留槽，所述预留槽内部设置有小型弹簧且预留槽一端套设有推杆，所述防护治具顶部一端焊接有一号固定套，所述一号固定套顶部设置有一号提拉杆且一号提拉杆底部焊接有清杂锥，所述防护治具顶部另一端焊接有二号固定套，所述二号固定套顶部设置有二号提拉杆且二号提拉杆底部焊接有清杂勺。
[0006]进一步地，所述预留槽的数量为多个。
[0007]进一步地，所述一号固定套和二号固定套内侧顶部均开设有螺纹槽。
[0008]进一步地，所述一号提拉杆和二号提拉杆外侧底端均开设有与螺纹槽对应的螺纹齿。
[0009]进一步地，所述防护治具、一号提拉杆和二号提拉杆均为不锈钢材料制成。
[0010]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0011]1.通过设置一号提拉杆、二号提拉杆、清杂勺和清杂锥，一号提拉杆底端焊接有清杂锥，可以对部件凹槽内部杂质进行清刮，二号提拉杆底端焊接有清杂勺，可以对清杂锥清刮下的杂质进行清理，同时将一号提拉杆转动通过螺纹槽和螺纹齿拧入一号固定套内，将二号提拉杆转动通过对应的螺纹槽和螺纹齿拧入二号固定套内。可以在防护治具顶部两端形成拉杆，方便人员拿去、移动防护治具，防止保护和去保护动作中出现划伤问题。
[0012]2.通过设置防护治具、防护橡胶圈和推杆，人员通过一号提拉杆和二号提拉杆将防护治具放入部件凹槽时，预留槽内的小型弹簧推动推杆，使其一端伸出，推动防护橡胶圈，形变、膨胀后的防护橡胶圈完全密封作部件凹槽，有效对其进行保护。
附图说明
[0013]图1为本技术一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具的整体结构示意图。
[0014]图2为本技术一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具的防护治具内部结构示意图。
[0015]图3为本技术一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具的一号提拉杆结构示意图。
[0016]图4为本技术一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具的二号提拉杆结构示意图。
[0017]图中：1、防护治具；2、预留槽；3、一号固定套；4、一号提拉杆；5、二号固定套；6、二号提拉杆；7、防护橡胶圈；8、小型弹簧；9、推杆；10、清杂锥；11、清杂勺；12、螺纹槽；13、螺纹齿。
具体实施方式
[0018]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0019]如图1-4所示，一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具，包括防护治具1、预留槽2和一号固定套3，所述防护治具1内部两端开设有预留槽2，所述预留槽2内部设置有小型弹簧8且预留槽2一端套设有推杆9，所述防护治具1顶部一端焊接有一号固定套3，所述一号固定套3顶部设置有一号提拉杆4且一号提拉杆4底部焊接有清杂锥10，所述防护治具1顶部另一端焊接有二号固定套5，所述二号固定套5顶部设置有二号提拉杆6且二号提拉杆6底部焊接有清杂勺11。
[0020]其中，所述预留槽2的数量为多个。
[0021]本实施例中如图1所示，多个预留槽2内的小型弹簧8推动推杆9伸出，使防护橡胶圈7充分贴合、密封在部件凹槽内，丁基橡胶材料制成的防护橡胶圈7，具有较强的耐磨性、耐撕裂性和耐腐蚀能力，使防护橡胶圈7不易磨损。
[0022]其中，所述一号固定套3和二号固定套5内侧顶部均开设有螺纹槽12。
[0023]本实施例中如图3和4所示，方便一号提拉杆4和二号提拉杆6通过螺纹槽12固定在一号固定套3和二号固定套5上。
[0024]其中，所述一号提拉杆4和二号提拉杆6外侧底端均开设有与螺纹槽12对应的螺纹齿13。
[0025]本实施例中如图3和4所示，一号提拉杆4和二号提拉杆6转动，通过螺纹齿13和螺纹槽12拧入一号固定套3和二号固定套5内。
[0026]其中，所述防护治具1、一号提拉杆4和二号提拉杆6均为不锈钢材料制成。
[0027]本实施例中如图1所示，不锈钢材料制成的防护治具1、一号提拉杆4和二号提拉杆6，结实耐用，不易损坏，清理后可再次使用。
[0028]需要说明的是，本技术为一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具，工作时，一号提拉杆4底端焊接有清杂锥10，可以对部件凹槽内部杂质进行清刮，二号提拉杆6底端焊接有清杂勺11，可以对清杂锥10清刮下的杂质进行清理，同
时将一号提拉杆4转动通过螺纹槽12和螺纹齿13拧入一号固定套3内，将二号提拉杆6转动通过对应的螺纹槽12和螺纹齿13拧入二号固定套5内。可以在防护治具1顶部两端形成拉杆，方便人员拿去、移动防护治具1，防止保护和去保护动作中出现划伤问题，人员通过一号提拉杆4和二号提拉杆6将防护治具1放入部件凹槽时，预留槽2内的小型弹簧8推动推杆9，使其一端伸出，推动防护橡胶圈7，形变、膨胀后的防护橡胶圈7完全密封作部件凹槽，有效对其进行保护。
[0029]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保护治具，包括防护治具（1）、预留槽（2）和一号固定套（3），其特征在于：所述防护治具（1）内部两端开设有预留槽（2），所述预留槽（2）内部设置有小型弹簧（8）且预留槽（2）一端套设有推杆（9），所述防护治具（1）顶部一端焊接有一号固定套（3），所述一号固定套（3）顶部设置有一号提拉杆（4）且一号提拉杆（4）底部焊接有清杂锥（10），所述防护治具（1）顶部另一端焊接有二号固定套（5），所述二号固定套（5）顶部设置有二号提拉杆（6）且二号提拉杆（6）底部焊接有清杂勺（11）。2.根据权利要求1所述的一种半导体设备HotMo和ColdMo装置AnodeD304部件喷砂范围保...

【专利技术属性】
技术研发人员：后健华，张正伟，
申请(专利权)人：安徽富乐德科技发展股份有限公司，
类型：新型
国别省市：