【技术实现步骤摘要】
一种水洗形式的金属材料剥离装置
[0001]本技术涉及金属材料剥离
,尤其涉及一种水洗形式的金属材料剥离装置。
技术介绍
[0002]金属剥离工艺是指基片经过涂覆光致抗蚀剂、曝光、显影后,以具有一定图形的光致抗蚀剂膜为掩模,带胶蒸发所需的金属,然后在去除光致抗蚀剂的同时,把胶膜上的金属一起剥离干净,在基片上只剩下原刻出图形的金属。
[0003]金属剥离工艺步骤大体如下:涂敷、曝光、显影、坚膜以得到需要的图形,接着在片子上做金属化,然后用有机溶剂(常用乙醇和丙酮)去除光致抗蚀剂。与此同时在抗蚀剂顶部的金属随抗蚀剂一起脱离,而同GaAs片子直接接触的金属被保留下来。在利用有机溶剂对基片上的金属进行剥离时,操作麻烦。
[0004]针对上述问题,设计一种水洗形式的金属材料剥离装置。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种水洗形式的金属材料剥离装置,以解决上述技术问题。
[0006]本技术为解决上述技术问题,采用以下技术方案来实现:
[0007]一种水洗形式的金属材料剥离装 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种水洗形式的金属材料剥离装置,包括工作台(1)和水枪(14),水枪(14)与外部输水管贯通连接,其特征在于:所述工作台(1)上连接有剥离槽(2),所述剥离槽(2)的内部设置有两个夹持板(3),两个所述夹持板(3)相互远离的一端均与花篮螺栓(4)上的一个丝杠连接,所述花篮螺栓(4)的上方设置有转动轴(5),转动轴(5)活动贯穿剥离槽(2)的侧壁并与剥离槽(2)的侧壁转动连接,所述转动轴(5)上开设的通孔中和所述花篮螺栓(4)的另一个丝杠上开设的通孔中活动插接有同一个限位螺杆(6),所述限位螺杆(6)上螺纹连接有螺帽(7),两个所述转动轴(5)位于剥离槽(2)外部的一端通过第一传动...
【专利技术属性】
技术研发人员:程劲松,
申请(专利权)人:合肥祺松智能科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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