一种薄膜晶体管质检设备制造技术

本发明专利技术公开了一种薄膜晶体管质检设备，其结构包括目镜、衔接盘、支撑座、操作台、物镜，目镜嵌固于支撑座的上端位置，衔接盘与支撑座活动卡合，操作台与支撑座相焊接，物镜安装于衔接盘的底部位置，通过操作台上的薄膜晶体管对管体产生反推力，能够使伸缩框沿着上接框向上收缩，从而使伸缩框能够将物镜直接压迫薄膜晶体管的力进行缓冲，并且通过物镜的继续下压，能够使外摆板沿着衔接环向外摆动，从而使外摆板能够在保护薄膜晶体管的同时将操作台上的薄膜晶体管撑平，通过外环的内壁对吸力盘产生的挤压，再通过重力球对吸力盘产生的压力，能够使吸力盘对外环的内侧产生吸附力，从而使外摆板的摆动复位速度大幅度减慢。摆板的摆动复位速度大幅度减慢。摆板的摆动复位速度大幅度减慢。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜晶体管质检设备


[0001]本专利技术涉及晶体管领域，具体的是一种薄膜晶体管质检设备。

技术介绍

[0002]薄膜晶体管显微质检台主要是用于对薄膜晶体管进行质量检测的设备，通过将薄膜晶体管放置在检测台上，从而能够通过显微镜对薄膜晶体管进行一系列的质检实验，且薄膜晶体管是在基板上沉积半导体主动层、介电层和金属电极层等不同的薄膜层，再配合沉积的电路则能够形成完整的薄膜晶体管，基于上述描述本专利技术人发现，现有的一种薄膜晶体管质检设备主要存在以下不足，例如：
[0003]由于薄膜晶体管的质地轻且薄，若放置在检测台上的薄膜晶体管在被质检时，显微镜物镜由于失误下调过度，则容易出现物镜压迫薄膜晶体管中部，使薄膜晶体管受压迫的位置周围出现上翘变形，导致内部电路受损的情况。

技术实现思路

[0004]针对上述问题，本专利技术提供一种薄膜晶体管质检设备。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术是通过如下的技术方案来实现：一种薄膜晶体管质检设备，其结构包括目镜、衔接盘、支撑座、操作台、物镜，所述目镜嵌固于支撑座的上端位置，所述衔接盘与支撑座活动卡合，所述操作台与支撑座相焊接，所述物镜安装于衔接盘的底部位置；所述物镜包括上凸镜、管体、下凸镜，所述上凸镜嵌固于管体的内壁上端位置，所述下凸镜安装于管体的内壁靠下方位置。
[0006]作为本专利技术的进一步优化，所述管体包括上接框、伸缩框、弹力片，所述伸缩框与上接框活动卡合，所述弹力片安装于伸缩框与上接框之间，所述伸缩框设有两个，且均匀的在上接框的下端呈对称分布。
[0007]作为本专利技术的进一步优化，所述伸缩框包括复位片、外摆板、衔接环、框架，所述复位片安装于外摆板与框架之间，所述外摆板通过衔接环与框架的底部铰链连接，所述外摆板的底部采用质地柔软的天然乳胶材质。
[0008]作为本专利技术的进一步优化，所述外摆板包括上置板、透气板、弹性架，所述透气板通过弹性架与上置板的底部活动卡合，所述透气板上设有内外通透的孔。
[0009]作为本专利技术的进一步优化，所述衔接环包括外环、限速机构、内固环，所述外环与内固环为一体化结构，所述限速机构与内固环的外表面铰链连接，所述限速机构设有六个，且均匀的在内固环的外表面呈圆形分布。
[0010]作为本专利技术的进一步优化，所述限速机构包括板块、回弹片、下伸板、接触板，所述回弹片安装于板块与接触板之间，所述下伸板的上端嵌固于板块的底部位置，且下伸板又与接触板间隙配合，所述下伸板设有四个，且均匀的在接触板上呈弧形分布。
[0011]作为本专利技术的进一步优化，所述下伸板包括上接框、弹力杆、吸力盘、重力球、拉扯条，所述弹力杆安装于上接框与吸力盘之间，所述吸力盘与上接框活动卡合，所述重力球嵌
固于拉扯条的底部位置，所述拉扯条与上接框的内壁上端相连接，通过物体对吸力盘产生的挤压，能够使吸力盘沿着上接框向上收缩。
[0012]本专利技术具有如下有益效果：
[0013]1、通过操作台上的薄膜晶体管对管体产生反推力，能够使伸缩框沿着上接框向上收缩，从而使伸缩框能够将物镜直接压迫薄膜晶体管的力进行缓冲，并且通过物镜的继续下压，能够使外摆板沿着衔接环向外摆动，从而使外摆板能够在保护薄膜晶体管的同时将操作台上的薄膜晶体管撑平，故而能够避免物镜过度下降将薄膜晶体管压至上翘变形，导致电路损坏的情况。
[0014]2、通过外环的内壁对吸力盘产生的挤压，再通过重力球对吸力盘产生的压力，能够使吸力盘对外环的内侧产生吸附力，从而使外摆板的摆动复位速度大幅度减慢，有效的避免了复位片推动外摆板快速向中部摆动时，会使外摆板快速摆动的气流将薄膜晶体管向上带起的情况。
附图说明
[0015]图1为本专利技术一种薄膜晶体管质检设备的结构示意图。
[0016]图2为本专利技术物镜侧视半剖面的结构示意图。
[0017]图3为本专利技术管体侧视剖面的结构示意图。
[0018]图4为本专利技术伸缩框侧视半剖面的结构示意图。
[0019]图5为本专利技术外摆板侧视半剖面的结构示意图。
[0020]图6为本专利技术衔接环侧视剖面的结构示意图。
[0021]图7为本专利技术限速机构侧视半剖面的结构示意图。
[0022]图8为本专利技术下伸板侧视半剖面的结构示意图。
[0023]图中：目镜-1、衔接盘-2、支撑座-3、操作台-4、物镜-5、上凸镜-51、管体-52、下凸镜-53、上接框-a1、伸缩框-a2、弹力片-a3、复位片-a21、外摆板-a22、衔接环-a23、框架-a24、上置板-b1、透气板-b2、弹性架-b3、外环-c1、限速机构-c2、内固环-c3、板块-c21、回弹片-c22、下伸板-c23、接触板-c24、上接框-d1、弹力杆-d2、吸力盘-d3、重力球-d4、拉扯条-d5。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]实施例1
[0026]如例图1-例图5所展示：
[0027]本专利技术提供一种薄膜晶体管质检设备，其结构包括目镜1、衔接盘2、支撑座3、操作台4、物镜5，所述目镜1嵌固于支撑座3的上端位置，所述衔接盘2与支撑座3活动卡合，所述操作台4与支撑座3相焊接，所述物镜5安装于衔接盘2的底部位置；所述物镜5包括上凸镜51、管体52、下凸镜53，所述上凸镜51嵌固于管体52的内壁上端位置，所述下凸镜53安装于
管体52的内壁靠下方位置。
[0028]其中，所述管体52包括上接框a1、伸缩框a2、弹力片a3，所述伸缩框a2与上接框a1活动卡合，所述弹力片a3安装于伸缩框a2与上接框a1之间，所述伸缩框a2设有两个，且均匀的在上接框a1的下端呈对称分布，通过薄膜晶体管对伸缩框a2产生的反推力，能够使伸缩框a2沿着弹力片a3向上滑动收缩。
[0029]其中，所述伸缩框a2包括复位片a21、外摆板a22、衔接环a23、框架a24，所述复位片a21安装于外摆板a22与框架a24之间，所述外摆板a22通过衔接环a23与框架a24的底部铰链连接，所述外摆板a22的底部采用质地柔软的天然乳胶材质，从而能够对薄膜晶体管起到保护作用。
[0030]其中，所述外摆板a22包括上置板b1、透气板b2、弹性架b3，所述透气板b2通过弹性架b3与上置板b1的底部活动卡合，所述透气板b2上设有内外通透的孔，能够使薄膜晶体管与透气板b2的接触面始终充满空气。
[0031]本实施例的详细使用方法与作用：
[0032]本专利技术中，当物镜5因操作失误下降过度，通过操作台4上的薄膜晶体管对管体52产生反推力，能够使伸缩框a2沿着上接框a1向上收缩，从而使伸缩框a2能够将物镜5直接压迫薄膜晶体管的力进行缓冲，并且通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜晶体管质检设备，其结构包括目镜(1)、衔接盘(2)、支撑座(3)、操作台(4)、物镜(5)，所述目镜(1)嵌固于支撑座(3)的上端位置，所述衔接盘(2)与支撑座(3)活动卡合，所述操作台(4)与支撑座(3)相焊接，其特征在于：所述物镜(5)安装于衔接盘(2)的底部位置；所述物镜(5)包括上凸镜(51)、管体(52)、下凸镜(53)，所述上凸镜(51)嵌固于管体(52)的内壁上端位置，所述下凸镜(53)安装于管体(52)的内壁靠下方位置。2.根据权利要求1所述的一种薄膜晶体管质检设备，其特征在于：所述管体(52)包括上接框(a1)、伸缩框(a2)、弹力片(a3)，所述伸缩框(a2)与上接框(a1)活动卡合，所述弹力片(a3)安装于伸缩框(a2)与上接框(a1)之间。3.根据权利要求2所述的一种薄膜晶体管质检设备，其特征在于：所述伸缩框(a2)包括复位片(a21)、外摆板(a22)、衔接环(a23)、框架(a24)，所述复位片(a21)安装于外摆板(a22)与框架(a24)之间，所述外摆板(a22)通过衔接环(a23)与框架(a24)的底部铰链连接。4.根据权利要求3所述的一种薄膜晶体管质检设备，其特征在于：所述外摆板(a22)包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪昕，
申请(专利权)人：汪昕，
类型：发明
国别省市：