一种新型硅片清洗篮制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型硅片清洗篮，包括两个U型板，两个U型板的一端侧壁上分别设有十一个定位孔，所述定位孔为螺丝通孔，二十二个螺丝通孔内均贯穿设有螺丝，每对螺丝通孔均配合螺丝套接有吊杆。本实用新型专利技术能对不同大小的硅片进行清洗，具有兼容性，解决了不同大小的硅片只能用不同清洗篮麻烦和浪费的问题。可以清洗适用不同大小和厚度的硅片，同时保持了硅片之间的间隙，避免了相邻两个硅片在清洗时容易粘连或刮碰造成损坏的情况发生，避免附着水份，造成烘干困难或残留水份，提高烘干效率，方便对硅片进行稳定放置，并且还具备耐化学腐蚀性、耐高温性、耐氧化性等性能，延长了清洗篮的使用寿命，还减轻了整体的重量，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种新型硅片清洗篮


[0001]本技术涉及硅片清洗
，尤其涉及一种新型硅片清洗篮。

技术介绍

[0002]半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷。
[0003]在硅晶体管和集成电路生产中，几乎每道工序都有硅片清洗的问题，硅片清洗的好坏对器件性能有严重的影响，处理不当，可能使全部硅片报废，目前，现有的硅片在清洗时，一般都是将其放置在清洗篮里，然后将清洗篮放置在清洗设备内，通过清洗设备对其进行清洗，但是，现有的清洗篮对硅片放置的位置是固定的，不方便根据不同大小的硅片调节放置位置，缩小了使用范围，同时现有的清洗篮加工复杂，不易烘干，降低了烘干的效率，并且现有的放置装置，容易在放置时将相邻两侧的两个硅片抵触住，容易刮碰，造成意外损伤，为此，我们提出了一种新型硅片清洗篮来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种新型硅片清洗篮。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种新型硅片清洗篮，包括两个U型板，两个U型板的一端侧壁上分别设有十一个定位孔，所述定位孔内的一端侧壁上设有螺纹通孔，二十二个螺纹通孔内均贯穿设有螺丝，其中十二个螺丝的一端均螺纹套接有吊杆，且位于两个U型板上相对一侧的两个吊杆之间共同套设有硅片隔离杆，且位于同一水平面的两个硅片隔离杆相互对应，所述硅片隔离杆的侧壁上等间距固定有数量很多的隔离齿，所述隔离齿一端的两侧均固定有凸块，另外十个螺丝分别设置在两个U型板上的下端侧壁，且两两相互对应，其中四个相互对应的螺丝之间分别螺纹套接有二根加强杆，所述隔离齿采用PVDF材质制成。
[0007]优选地，两个U型板均采用不锈钢材质制成。
[0008]优选地，所述隔离齿和凸块为一体成型，且隔离齿的长度为10-40毫米。
[0009]优选地，所述硅片隔离杆的两端均设有盲孔，其中四个吊杆的一端延伸至盲孔内。
[0010]优选地，所述隔离齿的数量为100-150个。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、通过螺丝、吊杆、硅片隔离杆和定位孔之间的配合，间距达到最合理的位置，实现了能放置不同大小硅片，使硅片在最理想的位置点隔开，清洗后不粘连；
[0013]2、通过隔离齿上设置凸块，使硅片清洗时只有点或线接触，极大减少硅片和隔离齿的接触面，减少清洗时的留存水分，烘干快速高效，方便对硅片进行稳定放置，提高了其稳定性同时能够方便对硅片进行放入和取出；
[0014]3、通过采用PVDF材质，达到了耐化学腐蚀性、耐高温性、耐氧化性、耐候性、耐射线辐射性能外，还具有压电性、介电性、热电性等目的，延长了隔离齿的使用寿命；
[0015]4、在上述PVDF材质中加入适量碳纤维或玻璃纤维，提高隔离齿的强度和韧性，减轻重量，并保证了隔离齿尺寸稳定性和耐用性；
[0016]综上所述，本技术能对不同大小的硅片进行清洗，具有兼容性，解决了不同大小的硅片只能用不同清洗篮的麻烦和浪费问题，可以清洗适用不同大小和厚度的硅片，同时保持了硅片之间的间隙，避免了相邻两个硅片在清洗时容易粘连或刮碰造成损坏的情况发生，避免附着水份，造成烘干困难或残留水份，提高烘干效率，方便对硅片进行稳定放置，并且还具备耐化学腐蚀性、耐高温性、耐氧化性等性能，延长了清洗篮的使用寿命，还减轻了整体的重量，实用性强。
附图说明
[0017]图1为本技术提出的一种新型硅片清洗篮的其中一种材质的安装状态图；
[0018]图2为本技术提出的一种新型硅片清洗篮的俯视图；
[0019]图3为本技术提出的一种新型硅片清洗篮的另外一种材质的安装状态图；
[0020]图4为本技术提出的一种新型硅片清洗篮的B处放大图；
[0021]图5为本技术提出的一种新型硅片清洗篮的A处放大图；
[0022]图6为本技术提出的一种新型硅片清洗篮U型板的侧视图；
[0023]图7为本技术提出的一种新型硅片清洗篮硅片隔离杆和隔离齿的结构示意图；
[0024]图8为本技术提出的一种新型硅片清洗篮硅片和清洗篮连接状态图；
[0025]图中：1 U型板、2隔离齿、3吊杆、4硅片隔离杆、5螺丝、6加强杆、7定位孔、8盲孔、9凸块。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0027]参照图1-8，一种新型硅片清洗篮，包括两个U型板1，两个U型板1均采用不锈钢材质或同为PVDF材质中的其中一种材质制成，不锈钢材质具有耐化学腐蚀和电化学腐蚀性能，在钢材里面是最好的，仅次于钛合金，同时还具有耐热、耐高温、还耐低温甚至于耐超低温等优点，当采用不锈钢材质时，将硅片隔离杆4和加强杆6通过螺丝5安装固定在U型板1上，当U型板1采用PVDF材质时，采用塑料焊接或胶粘等连接方式，以防使用过程中发生松动，同时还减轻了整体的重量，根据实际需要选择合适的材质。
[0028]在本技术中，两个U型板1的一端侧壁上分别设有十一个定位孔7，定位孔7内的一端侧壁上设有螺纹通孔，二十二个螺纹通孔内均贯穿设有螺丝5，其中十二个螺丝5的一端均螺纹套接有吊杆3，通过螺丝5方便对吊杆3进行安装固定，且位于两个U型板1上相对一侧的两个吊杆3之间共同套设有硅片隔离杆4，且位于同一水平面的两个硅片隔离杆4相互对应，硅片隔离杆4的两端均设有盲孔8，其中四个吊杆3的一端延伸至盲孔8内，通过将吊
杆3插进盲孔8内，方便对硅片隔离杆4进行安装固定。
[0029]在本技术中，硅片隔离杆4的一端侧壁上等间距固定有两个以上的隔离齿2，隔离齿2的形状为一个大头尖形形状，使隔离齿2与硅片只有点或线接触，避免附着水份，造成烘干困难或残留水份，隔离齿2的数量为100-150个，提高了承载量，能放置更多的硅片，隔离齿2一端的两侧均固定有凸块9，隔离齿2和凸块9为一体成型，且隔离齿2的长度为10-30毫米，使不同大小的硅片可以在同一种清洗篮中清洗，具有兼容性，将硅片放置在对应的同一侧的两个相邻的凸块9之间，在凸块9的作用下，提高了间距，避免刮碰，另外十个螺丝5分别设置在两个U型板1上的下端侧壁，且两两相互对应，其中四个相互对应的螺丝5之间分别螺纹套接有四根加强杆6，隔离齿2采用PVDF材质制成，PVDF材质具有良好的耐化学腐蚀性、耐高温性、耐氧化性、耐候性、耐射线辐射性能外，还具有压电性、介电性、热电性等特殊性能，通过螺丝5方便对加强杆6进行安装固定，同时还能将加强杆6进行拆卸。
[0030]在本技术中，在对硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型硅片清洗篮，包括两个U型板（1），其特征在于：两个U型板（1）的一端侧壁上分别设有十一个定位孔（7），所述定位孔（7）内的一端侧壁上设有螺纹通孔，二十二个螺纹通孔内均贯穿设有螺丝（5），其中十二个螺丝（5）的一端均螺纹套接有吊杆（3），且位于两个U型板（1）上相对一侧的两个吊杆（3）之间共同套设有硅片隔离杆（4），且位于同一水平面的两个硅片隔离杆（4）相互对应，所述硅片隔离杆（4）的一端侧壁上等间距固定有两个以上的隔离齿（2），所述隔离齿（2）一端的两侧均固定有凸块（9），另外十个螺丝（5）分别设置在两个U型板（1）上的下端侧壁，且两两相互对应，其中四个相互对应的螺丝（5）...

【专利技术属性】
技术研发人员：王国贵，
申请(专利权)人：天津奥利文科技有限公司，
类型：新型
国别省市：