一种物理吸附仪PFC电压力控制系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种物理吸附仪PFC电压力控制系统，包括箱体，所述箱体内靠近底部位置设置有托盘，所述托盘的顶部设置有杜瓦瓶，所述箱体的顶部设置有注入口，所述注入口的底部设置有与杜瓦瓶相连通的连通管，所述箱体的内壁顶部分别设置有与杜瓦瓶相连接的液位仪与歧管，所述歧管上设置有压力传感器，所述箱体的内壁一侧固定连接有固定座。本实用新型专利技术中，通过压力传感器感应歧管中的气压，并将结果反馈给控制器，通过控制器控制可控比例阀门配合气源与真空泵，即可进行抽气与投气的动态控制工作，能够有效提升结构的工作效率，同时通过设置的滑动箱门结构不仅能够稳定的连接而且可以快速打开，方便进行检修工作。方便进行检修工作。方便进行检修工作。

【技术实现步骤摘要】
一种物理吸附仪PFC电压力控制系统


[0001]本技术涉及物理吸附仪
，尤其涉及一种物理吸附仪PFC电压力控制系统。

技术介绍

[0002]对于物理吸附仪，在工作过程中需要控制投气和抽气两个过程，为了能够限制投气和抽气的速度，该类仪器都配置了可以限制气路通径的“气阻”。而这两个过程的控制要求又存在差异，气阻不能动态的改变工作气路的工作状态、兼顾两个过程的应用效果，致使工作性能下降的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种物理吸附仪PFC电压力控制系统。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种物理吸附仪PFC电压力控制系统，包括箱体，所述箱体内靠近底部位置设置有托盘，所述托盘的顶部设置有杜瓦瓶，所述箱体的顶部设置有注入口，所述注入口的底部设置有与杜瓦瓶相连通的连通管，所述箱体的内壁顶部分别设置有与杜瓦瓶相连接的液位仪与歧管，所述歧管上设置有压力传感器，所述箱体的内壁一侧固定连接有固定座，所述固定座的外表面一侧设置有可控比例阀门，所述可控比例阀门的一侧设置有与杜瓦瓶相连通的连接管，且可控比例阀门上分别连接设置有第一支管与第二支管，且第一支管与第二支管上分别对应设置有第一阀门与第二阀门，所述箱体的外表面一侧设置有箱门，且箱体内一侧位置开设有两个内槽，两个所述内槽内均设置有移动板，且两个内槽的内壁与两个移动板的外表面一侧之间均连接设置有弹簧，两个所述移动板的外表面一侧均固定连接有限位块，所述箱门的外表面一侧设置有控制器。
>[0005]作为上述技术方案的进一步描述：
[0006]所述注入口上连接设置有封盖，所述封盖的底部设置有与注入口相螺纹连接的螺纹头。
[0007]作为上述技术方案的进一步描述：
[0008]所述可控比例阀门的外表面两侧均固定连接有连接件，两个所述连接件上均设置有紧固螺栓，所述可控比例阀门通过两个紧固螺栓与固定座相固定连接。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述：
[0010]所述箱体的一侧设置有气源，所述第一支管远离可控比例阀门的一端与气源相连通，所述箱体的外表面一侧固定连接有保护架，所述保护架内设置有真空泵，所述第二支管远离可控比例阀门的一端与真空泵相连通。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述：
[0012]所述箱体的外表面一侧靠近顶部与底部位置均开设有滑槽，两个所述滑槽内均设
置有外表面与箱门外表面一侧相固定连接的滑块。
[0013]作为上述技术方案的进一步描述：
[0014]所述箱门的外表面一侧设置有与两个限位块相嵌套配合的限位槽。
[0015]本技术具有如下有益效果：
[0016]该物理吸附仪PFC电压力控制系统，通过整体的箱体结构能够实现稳定的物理吸附作用，通过歧管上的压力传感器，能够方便探测歧管中的气压，方便配合控制器控制可控比例阀门结构以及气源与真空泵结构进行投气与抽气工作，实现动态控制，解决气阻对气路通径固定限制的弊端，同时通过箱门结构的设置可以方便快捷打开与稳定固定连接，方便对内部结构进行检修工作，使用时，通过压力传感器感知歧管内的压力系数，并将结构反馈给控制器，打开第一阀门与第二阀门，通过控制器控制可控比例阀门配合气源则可以进行投气工作，控制可控比例阀门配合真空泵则可以进行抽气工作，能够实现动态控制，避免气阻影响结构的使用效率，整个结构连接稳定，使用便捷，通过控制结构能够有效对投气与抽气进行动态配合，稳定提升工作效率(控制器的型号可以为STM32，压力传感器的型号可以为MPM280)。
附图说明
[0017]图1为本技术提出的一种物理吸附仪PFC电压力控制系统的正视图；
[0018]图2为本技术提出的一种物理吸附仪PFC电压力控制系统的侧视图；
[0019]图3为本技术提出的一种物理吸附仪PFC电压力控制系统的俯视图；
[0020]图4为本技术提出的一种物理吸附仪PFC电压力控制系统的结构示意图。
[0021]图例说明：
[0022]1、箱体；2、托盘；3、杜瓦瓶；4、注入口；5、连通管；6、封盖；7、螺纹头；8、液位仪；9、歧管；10、压力传感器；11、固定座；12、可控比例阀门；13、连接管；14、连接件；15、紧固螺栓；16、第一支管；17、气源；18、第一阀门；19、第二支管；20、保护架；21、真空泵；22、第二阀门；23、箱门；24、滑槽；25、滑块；26、内槽；27、移动板；28、弹簧；29、限位块；30、限位槽；31、控制器。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通
过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0025]参照图1-4，本技术提供的一种实施例：一种物理吸附仪PFC电压力控制系统，包括箱体1，箱体1内靠近底部位置设置有托盘2，托盘2的顶部设置有杜瓦瓶3，箱体1的顶部设置有注入口4，注入口4的底部设置有与杜瓦瓶3相连通的连通管5，箱体1的内壁顶部分别设置有与杜瓦瓶3相连接的液位仪8与歧管9，歧管9上设置有压力传感器10，箱体1的内壁一侧固定连接有固定座11，固定座11的外表面一侧设置有可控比例阀门12，可控比例阀门12的一侧设置有与杜瓦瓶3相连通的连接管13，且可控比例阀门12上分别连接设置有第一支管16与第二支管19，且第一支管16与第二支管19上分别对应设置有第一阀门18与第二阀门22，箱体1的外表面一侧设置有箱门23，且箱体1内一侧位置开设有两个内槽26，两个内槽26内均设置有移动板27，且两个内槽26的内壁与两个移动板27的外表面一侧之间均连接设置有弹簧28，两个移动板27的外表面一侧均固定连接有限位块29，箱门23的外表面一侧设置有控制器31。
[0026]注入口4上连接设置有封盖6，封盖6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物理吸附仪PFC电压力控制系统，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内靠近底部位置设置有托盘(2)，所述托盘(2)的顶部设置有杜瓦瓶(3)，所述箱体(1)的顶部设置有注入口(4)，所述注入口(4)的底部设置有与杜瓦瓶(3)相连通的连通管(5)，所述箱体(1)的内壁顶部分别设置有与杜瓦瓶(3)相连接的液位仪(8)与歧管(9)，所述歧管(9)上设置有压力传感器(10)，所述箱体(1)的内壁一侧固定连接有固定座(11)，所述固定座(11)的外表面一侧设置有可控比例阀门(12)，所述可控比例阀门(12)的一侧设置有与杜瓦瓶(3)相连通的连接管(13)，且可控比例阀门(12)上分别连接设置有第一支管(16)与第二支管(19)，且第一支管(16)与第二支管(19)上分别对应设置有第一阀门(18)与第二阀门(22)，所述箱体(1)的外表面一侧设置有箱门(23)，且箱体(1)内一侧位置开设有两个内槽(26)，两个所述内槽(26)内均设置有移动板(27)，且两个内槽(26)的内壁与两个移动板(27)的外表面一侧之间均连接设置有弹簧(28)，两个所述移动板(27)的外表面一侧均固定连接有限位块(29)，所述箱门(23)的外表面一侧设置有控制器(31)。2.根据权利要求1所述的一种物理吸附仪PFC电压力控制系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁辉，
申请(专利权)人：北京彼奥德电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：