缩小存在于玻璃板内部的泡的直径的方法技术

本发明专利技术提供缩小存在于玻璃板内部的泡的直径的新方法。具体来说，所述缩小存在于玻璃板内部的泡的直径的方法的特征在于，从光源向前述存在于玻璃板内部的泡的周围照射光线，使前述泡的周围的玻璃的温度达到该玻璃的软化点以上，从而缩小前述泡的最大直径。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及縮小存在于玻璃板、特别是显示器用玻璃基板、尤其是平板显 示器用玻璃基板和作为光刻掩模使用的玻璃板的内部的泡的直径的方法。通过 本专利技术的方法，可以提高作为显示器用的玻璃基板使用的玻璃板的辨识性。此 外，通过本专利技术的方法，可以解决泡的存在引起的光刻掩模的缺陷。
技术介绍
现在，玻璃板被用作许多领域的开口部件，例如显示器用玻璃基板，特别是液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器、场致发射显示器等平板显示器 用玻璃基板，住宅、大厦等建筑物的窗玻璃或者汽车、火车、航空器、船舶等 运输工具的窗玻璃等。这样的玻璃板使用浮法、熔融法或下引法由熔融玻璃成 形。此外，通过对一次成形的玻璃板进行再拉伸加工而得到。存在于这些玻璃板内部的泡由于妨碍辨识性而造成问题。例如，显示器用 的玻璃基板使用厚3mm以下的薄板玻璃，如果薄板玻璃中存在一定尺寸以上的 泡，显示器的画面上产生白缺陷，妨碍显示器的辨识性。此外，作为光刻掩模 使用厚7mm以下的玻璃板，玻璃板中存在一定尺寸以上的泡的情况下，成为该 光刻掩模的缺陷。将原料批在熔融过程中玻璃化时，放出C02、 H20、 02、 S02等气体，所述气 体的一部分作为泡存在于熔融玻璃中。成形为玻璃板时，存在于熔融玻璃中的 泡被沿水平方向拉伸，形成椭圆形状。椭圆形状的泡与被拉伸前的球状泡相比， 泡的最大直径变大，因此特别是对玻璃板的辨识性产生不良影响。以往，为了降低存在于玻璃板内部的泡的量，实施熔解槽的结构和其内部 的搅拌机构的改良、抑制泡的产生和成长的组成的选择、或者抑制泡的产生和 成长的微量添加物的添加等方法。然而，通过这些方法，虽然可以使存在于玻 璃板内部的泡的量降低，但是难以使泡的量无限接近于O。此外，装置的改良 和玻璃组成改变方面实际上存在许多研究课题，这些相应地反映在玻璃板的制造成本上。此外，由于这些方法的实施，产生了玻璃制造受到妨碍等问题。专利文献l中揭示了光刻掩模用玻璃的缺陷修复方法，其特征在于，在除 去存在于光刻掩模用玻璃中的微量缺陷后，在曾经存在该缺陷的位置填充玻璃 小片和液状固化性树脂。然而，该方法由于在通过钻头等削去了微量缺陷的位 置填充玻璃小片和液状固化性树脂，因此操作麻烦。例如，为了填充通过钻头 削去了的位置，必须准备所需尺寸的玻璃小片。此外，填充玻璃小片和液状固 化性树脂后，为了实现所需的平坦度，需要光刻掩模表面的研磨操作。这些问 题在修复存在于玻璃薄板的厚度方向的中心附近的缺陷时特别显著。另外，难 以使填充了玻璃小片和液状固化性树脂的部分与其它部分的光学特性完全一 致，填充了玻璃小片和液状固化性树脂的部分可能会形成新的缺陷。专利文献l:日本专利特开平10-239828号公报 专利技术的揭示本专利技术是为了解决如上所述的课题而提出的，其目的在于提供縮小存在于 玻璃板、特别是显示器用玻璃基板、尤其是平板显示器用玻璃基板和作为光刻 掩模使用的玻璃板的内部的泡的直径的新方法。为了实现上述的目的，本专利技术提供的縮小存在于玻璃板内部的泡的直径的 方法的特征在于，从光源向前述存在于玻璃板内部的泡的周围照射光线，使前 述泡的周围的玻璃的温度达到该玻璃的软化点以上，从而縮小前述泡的最大直 径。理想的是，前述光线的照射后，前述存在于玻璃板内部的泡的最大直径在 400u m以下。更理想的是，前述光线的照射后，前述存在于玻璃板内部的泡的最大直径 在20y m以下。本专利技术的方法中，前述光线较好是激光光线。前述激光光线较好是波长为O. 1 11 ti m，前述玻璃板的表面的该光线的最 大直径为O. 02 5mm。前述激光光线较好是选自C02激光光线、YAG激光光线、半导体激光光线、 掺稀土元素光纤激光光线和YV04激光光线的至少1种。本专利技术的方法中，前述玻璃板的表面的前述光线的最大直径D不到4mm的情 况下，较好是以从前述泡和前述玻璃的交界面到前述光线的光轴的最短距离S满足0^S《2mm的条件照射前述光线。本专利技术的方法中，前述玻璃板的表面的前述光线的最大直径D在4mm以上的 情况下，较好是以从前述泡和前述玻璃的交界面到前述光线的光轴的最短距离 S满足0芸S^0.5D的条件照射前述光线。本专利技术的方法中，理想的是在前述光线的照射前，存在于前述玻璃板内部 的满足下述式(1)的泡的50%以上满足下述式(2)。山〉400um (1)d^2d2 (2)式中，山和d2分别表示将存在于玻璃板内部的泡投影于玻璃板表面的法线 方向而得的形状的长径和短径。本专利技术的方法中，理想的是在前述光线的照射后，存在于前述玻璃板内部 的满足下述式(3)的泡的5%以上满足下述式(4)。50p m^d,^400u ra (3)d,^1.5d2 (4)式中，d,和d2分别表示将存在于玻璃板内部的泡投影于玻璃板表面的法线 方向而得的形状的长径和短径。本专利技术的方法中，在将前述光线的照射前前述存在于玻璃板内部的泡的数 量设为艮，将所述泡中满足下述式(5)的泡的数量设为nb，将前述光线的照射后 前述存在于玻璃板内部的泡的数量设为N。将所述泡中满足下述式(5)的泡的数 量设为N。的情况下，它们较好是满足下述式(6)。山^1.5d2 (5)NB/NA<ND/NC (6)式中，山和d2分别表示将存在于玻璃板内部的泡投影于玻璃板表面的法线 方向而得的形状的长径和短径。此外，本专利技术的方法中，前述光线的照射后，也可以实质上使前述玻璃板 内部的泡消失。如果采用本专利技术，可以将存在于玻璃板、特别是显示器用玻璃基板、尤其 是平板显示器用玻璃基板和作为光刻掩模使用的玻璃板的内部的泡的直径縮 小至不妨碍该玻璃板的辨识性的程度。通过使用本专利技术的方法，可以获得白缺陷得到减少、辨识性良好的显示器 用玻璃基板。本专利技术的方法由于通过使泡周围的玻璃的温度局部地上升至软化点以上 来縮小泡的直径，因此不会有损于玻璃板自身的形状。因此，处理后的玻璃板 上产生新的缺陷的可能性被降低。此外，本专利技术的方法由于仅通过将来自于光源的光线局部地照射于泡周围 就可以縮小泡的直径，因此与以往的方法相比，可以较少的工时实现，而且操 作容易。此外，如果采用本专利技术，也可以实质上使存在于玻璃板内部的泡消失。 附图的简单说明图l为表示浮法玻璃的泡残留的部分的平面图。图2为实施例1中从玻璃板表面对照射C02激光光线前的泡进行摄影而得的 光学显微镜照片(倍数450倍)。图3为实施例1中从玻璃板表面对照射C(V激光光线后的泡进行摄影而得的 光学显微镜照片(倍数450倍)。图4为实施例2中从玻璃板表面对照射C02激光光线前的泡进行摄影而得的 光学显微镜照片(倍数450倍)。图5为实施例2中从玻璃板表面对照射C02激光光线后的泡进行摄影而得的 光学显微镜照片(倍数450倍)。图6为实施例3中从玻璃板表面对照射YV(V激光光线前的泡进行摄影而得的 光学显微镜照片(倍数500倍)。图7为实施例3中从玻璃板表面对照射YV04激光光线后的泡进行摄影而得的 光学显微镜照片(倍数500倍)。图8为实施例4中从玻璃板表面对照射C02激光光线前的泡进行摄影而得的 光学显微镜照片(倍数20倍)。图9为实施例4中从玻璃板表面对照射C02激光光线后的泡进行摄影而得的 光学显微镜照片(倍数20倍)。符号的说明l:本文档来自技高网...

【技术保护点】
缩小存在于玻璃板内部的泡的直径的方法，其特征在于，从光源向前述存在于玻璃板内部的泡的周围照射光线，使前述泡的周围的玻璃的温度达到该玻璃的软化点以上，从而缩小前述泡的最大直径。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：黒岩裕，伊藤節郎，伊賀元一，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]