一种上下压放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种上下压放装置，包括交流伺服电机和压杆；所述交流伺服电机的转轴上设有旋转凸轮；所述压杆上端设有与旋转凸轮匹配的凸轮轴承随动器；所述旋转凸轮与凸轮轴承随动器匹配安装；所述压杆下方设有弹簧；所述压杆在交流伺服电机和弹簧的作用下做上下往复运动。本申请的上下压放装置通过在交流伺服电机底部设置旋转凸轮和与之匹配的凸轮轴承随动器，通过交流伺服电机不断的做顺时针和逆时针运动，驱动旋转凸轮。由于旋转凸轮上设有螺旋递增的斜面，使得压杆在旋转凸轮的作用力下向下运动，而在弹簧的作用下向上运动。而通过控制交流伺服电机的转动角度和使用不同的旋转凸轮调节压杆上下运动的距离，实现精确控制。

【技术实现步骤摘要】
一种上下压放装置
本技术涉及半导体加工设备领域，尤其是用于驱动半导体晶片取放吸嘴的上下压放装置。
技术介绍
在半导体加工领域需要使用到取放吸嘴，取放吸嘴在工作时需要不断的做上下往复运动。在现有的取放吸嘴上使用的上下压放装置采用压力传动和电力驱动两种方式，压力传动由于频率无法恒定被逐渐淘汰，而电力转动目前多采用全旋转周期模式，然而由于半导体加工的效率的不断提高，全旋转模式逐渐的更不上生产需求。因为其旋转一周所用时间太长。同时，现有技术的上下压放装置在安装体积上较大，不适合紧凑型机台。现有技术的上下压放装置缺少判定压杆是否完全复位的感应装置，因此经常出现取放吸嘴还没有完全提起就启动转台转动的情况，从而导致设备部件发生碰撞，导致生产事故的发生。本申请的上下压放装置在提高生产效率（通过减少旋转角度，提高效率）的同时，对结构合理性做了改进，使得整体结构更加紧凑，同时增设了复位感应，对取放吸嘴的每一个行程进行实时监控，防止生产事故的发生。
技术实现思路
本技术所要解决的问题是，针对上述现有技术中的缺点，提出改进方案或者替换方案，尤其是一种提高生产效率，减少整体结构体积，防止生产事故的发生的改进或者替换方案。为解决上述问题，本技术采用的方案如下：一种上下压放装置，其特征在于，包括交流伺服电机和压杆；所述交流伺服电机的转轴上设有旋转凸轮；所述压杆上端设有与旋转凸轮匹配的凸轮轴承随动器；所述旋转凸轮与凸轮轴承随动器匹配安装；所述压杆下方设有弹簧；所述压杆在交流伺服电机和弹簧的作用下做上下往复运动。<br>进一步，根据上述设计方案所述上下压放装置，其特征在于，所述交流伺服电机通过安装组件设置在主转塔上；所述安装组件包括直角连接件、L型安装板和T型连接件；所述L型安装板的上端与直角连接件连接，并通过直角连接件与主转塔连接；所述T型连接件与L型安装板下侧连接；所述交流伺服电机设置在L型安装板上；所述压杆通过直线轨道设置在T型安装板上；所述压杆能够沿直线轨道做上下往复运动。进一步，根据上述设计方案所述上下压放装置，其特征在于，所述旋转凸轮上设有螺旋递增的斜面。进一步，根据上述设计方案所述上下压放装置，其特征在于，所述直线轨道通过轨道安装板与T型连接件连接；所述直线轨道设置在轨道安装板上；所述压杆固定设置在直线轨道上，且压杆能够沿直线轨道做上下往复运动。进一步，根据上述设计方案所述上下压放装置，其特征在于，所述轨道安装板底部连接设有弹簧安装件；所述弹簧安装件与轨道安装板垂直设置；所述弹簧设置在弹簧安装件与压杆之间。进一步，根据上述设计方案所述上下压放装置，其特征在于，还包括计数感应器；所述计数感应器包括光电感应器和感应器信号；所述光电感应器设置在轨道安装板一侧；所述感应器信号设置在压杆上；当压杆向上运动时感应器信号进入光电感应器感应范围，当压杆向下运动时感应器信号脱离光电感应器的感应范围。进一步，根据上述设计方案所述上下压放装置，其特征在于，所述直线轨道包括直线滑轨和滑块；所述滑块设置在直线滑轨上；所述直线滑轨设置在轨道安装板上；所述压杆固定设置在滑块上。本技术的技术效果如下：一种上下压放装置，包括交流伺服电机和压杆；所述交流伺服电机的转轴上设有旋转凸轮；所述压杆上端设有与旋转凸轮匹配的凸轮轴承随动器；所述旋转凸轮与凸轮轴承随动器匹配安装；所述压杆下方设有弹簧；所述压杆在交流伺服电机和弹簧的作用下做上下往复运动。本申请的上下压放装置通过在交流伺服电机底部设置旋转凸轮和与之匹配的凸轮轴承随动器，通过交流伺服电机不断的做顺时针和逆时针运动，驱动旋转凸轮。由于旋转凸轮上设有螺旋递增的斜面，使得压杆在旋转凸轮的作用力下向下运动，而在弹簧的作用下向上运动。而通过控制交流伺服电机的转动角度和使用不同的旋转凸轮调节压杆上下运动的距离，实现精确控制。控制交流伺服电机的转动角度和转动频率，进而控制旋转凸轮的旋转角度和频率，旋转凸轮所旋转的角度大小不同，使得被其压制的压杆向下运动的距离也不同，旋转凸轮的表面为螺旋递增的斜面，通过设置斜面递增的大小，使得在交流伺服电机同一个旋转角度下，压杆下压的距离也不同。因此可以通过控制交流伺服电机旋转角度和旋转凸轮来实现压杆的下压距离，通过控制交流伺服电机往复旋转频率来控制压杆上下运动频率。对压杆安装位置增设直线轨道，减少压杆在上下运动过程中的阻力和磨损，从而提高工作效率。在本申请的上下压放装置上增设光电感应器和感应器信号，在压杆完全复位后（压杆向上完全弹起）转台在启动转动，从而保证设备工作时的安全性。本申请的上下压放装置在提高生产效率（通过减少旋转角度，提高效率）的同时，对结构合理性做了改进，使得整体结构更加紧凑，同时增设了复位感应，对取放吸嘴的每一个行程进行实时监控，防止生产事故的发生。附图说明图1为上下压放装置结构示意图。图2为上下压放装置分解结构示意图。图3为压杆结构示意图。图4为直线轨道结构示意图。图5为上下压放装置下压时结构示意图。图6为上下压放装置完全复位时结构示意图。其中，1为交流伺服电机、2为压杆、3为L型安装板、4为直角连接件、5为T型连接件、6为旋转凸轮、7为轨道安装板、8为弹簧安装件、9为光电感应器、10为感应器信号、11为弹簧、12为直线轨道、13为凸轮轴承随动器、14为直线滑轨、15为滑块。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步详细说明。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例：一种上下压放装置，包括交流伺服电机和压杆；所述交流伺服电机的转轴上设有旋转凸轮；所述压杆上端设有与旋转凸轮匹配的凸轮轴承随动器；所述旋转凸轮与凸轮轴承随动器匹配安装；所述压杆下方设有弹簧；所述压杆在交流伺服电机和弹簧的作用下做上下往复运动；所述交流伺服电机通过安装组件设置在主转塔上；所述安装组件包括直角连接件、L型安装板和T型连接件；所述L型安装板的上端与直角连接件连接，并通过直角连接件与主转塔连接；所述T型连接件与L型安装板下侧连接；所述交流伺服电机设置在L型安装板上；所述压杆通过直线轨道设置在T型本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种上下压放装置，其特征在于，包括交流伺服电机和压杆；所述交流伺服电机的转轴上设有旋转凸轮；所述压杆上端设有与旋转凸轮匹配的凸轮轴承随动器；所述旋转凸轮与凸轮轴承随动器匹配安装；所述压杆下方设有弹簧；所述压杆在交流伺服电机和弹簧的作用下做上下往复运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种上下压放装置，其特征在于，包括交流伺服电机和压杆；所述交流伺服电机的转轴上设有旋转凸轮；所述压杆上端设有与旋转凸轮匹配的凸轮轴承随动器；所述旋转凸轮与凸轮轴承随动器匹配安装；所述压杆下方设有弹簧；所述压杆在交流伺服电机和弹簧的作用下做上下往复运动。


2.根据权利要求1所述上下压放装置，其特征在于，所述交流伺服电机通过安装组件设置在主转塔上；所述安装组件包括直角连接件、L型安装板和T型连接件；所述L型安装板的上端与直角连接件连接，并通过直角连接件与主转塔连接；所述T型连接件与L型安装板下侧连接；所述交流伺服电机设置在L型安装板上；所述压杆通过直线轨道设置在T型安装板上；所述压杆能够沿直线轨道做上下往复运动。


3.根据权利要求1所述上下压放装置，其特征在于，所述旋转凸轮上设有螺旋递增的斜面。


4.根据权利要求2所述上下压放装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡庆鑫，丘劭晖，李奕年，
申请(专利权)人：江苏同臻智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32