一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备，晶圆对中机构包括一固定台、一旋转驱动机构、一锥齿轮组件、预设数量的滚珠丝杠组件和预设数量的移动夹持组件；预设数量的滚珠丝杠组件沿周向均匀安装在固定台上，滚珠丝杠组件沿水平方向设置，滚珠丝杠组件的直线运动端连接移动夹持组件，滚珠丝杠组件位于锥齿轮组件外围并且滚珠丝杠组件的转动端与锥齿轮组件固定连接，锥齿轮组件与位于其下方的旋转驱动机构固定连接。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备
本专利技术涉及晶圆减薄
，尤其涉及一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备。
技术介绍
目前半导体行业采用在半导体晶圆的表面上形成有IC(IntegratedCircuit，集成电路)或LSI(LargeScaleIntegration，大规模集成电路)等电子电路来制造半导体芯片。晶圆在被分割为半导体芯片之前，通过磨削形成有电子电路的器件面的相反侧的晶圆背面，从而将晶圆磨削至预定的厚度。晶圆对中控制是集成电路制造工艺中的重要环节之一。晶圆在各个工位流转的过程中，都需要对其位置做较高的要求。当晶圆位置和预设位置出现偏差后，会导致机械手取放片失败等故障的发生。在晶圆磨削过程中，晶圆需要从传输装置被转移到磨削工作台上，当晶圆中心和传输装置中心出现偏差后，晶圆转运机械手会将该偏差同样带到磨削工作台上；一般的，磨削工作台为陶瓷吸盘结构，吸盘吸附区域和晶圆直径相接近，一旦晶圆中心和磨削工作台中心出现偏差则会发生吸盘真空压力不足的情况，此时容易发生滑片等较为严重的事故。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备，旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。本专利技术实施例的第一方面提供了一种晶圆对中机构，包括一固定台、一旋转驱动机构、一锥齿轮组件、预设数量的滚珠丝杠组件和预设数量的移动夹持组件；预设数量的滚珠丝杠组件沿周向均匀安装在固定台上，滚珠丝杠组件沿水平方向设置，滚珠丝杠组件的直线运动端连接移动夹持组件，滚珠丝杠组件位于锥齿轮组件外围并且滚珠丝杠组件的转动端与锥齿轮组件固定连接，锥齿轮组件与位于其下方的旋转驱动机构固定连接；旋转驱动机构通过锥齿轮组件分别向每个滚珠丝杠组件传送转动力，滚珠丝杠组件将所述转动力转化为直线运动，预设数量的滚珠丝杠组件直线运动的延长线方向相交于同一点，以带动预设数量的移动夹持组件按照相互靠近的方向水平地同步移动从而将晶圆夹持固定于预设位置。在一个实施例中，所述锥齿轮组件包括主动锥齿轮以及在主动锥齿轮上方沿其周向均匀分布并与主动锥齿轮啮合的预设数量的从动锥齿轮；旋转驱动机构上端连接主动锥齿轮以使主动锥齿轮绕竖直方向旋转从而带动预设数量的从动锥齿轮绕水平方向旋转，从动锥齿轮连接沿水平方向设置的滚珠丝杠组件。在一个实施例中，所述滚珠丝杠组件包括螺杆、螺母、第一轴承和第二轴承；螺杆沿水平方向放置，螺杆的一端穿过第一轴承并伸入从动锥齿轮的中心孔内以与从动锥齿轮固定连接，所述螺杆的一端通过第一轴承安装在固定台上，螺杆的另一端穿过第二轴承并通过第二轴承安装在固定台上，螺杆的中部装有与其螺纹配合的螺母；预设数量的螺杆的长度方向延长线相交于同一点。在一个实施例中，所述固定台包括第一支撑板、位于第一支撑板下方的第二支撑板以及用于固定连接第一支撑板与第二支撑板的支架；第一支撑板上设有用于容纳锥齿轮组件的中央通孔以及围绕中央通孔设置的预设数量的条型槽，条型槽用于放置所述螺杆，所述第一支撑板的位于条型槽与中央通孔之间的部分设有用于使所述螺杆的一端穿过的第一通孔，第一轴承固定安装在第一通孔内，所述第一支撑板的位于其边缘与条型槽之间的部分设有用于使所述螺杆的另一端穿过的第二通孔，第二轴承固定安装在第二通孔内。在一个实施例中，所述移动夹持组件包括与螺杆平行设置的导轨以及与导轨滑动配合的滑块，滑块与滚珠丝杠组件的螺母固定连接以在滚珠丝杠组件的带动下沿导轨直线移动，滑块上设有用于夹持晶圆的挡块。在一个实施例中，所述滑块包括用于与螺母固定连接的支撑部、从支撑部向垂直于丝杠方向延伸的延伸部以及位于延伸部下方的用于与导轨卡合以在导轨上滑动的卡合部；所述支撑部上表面涂覆有疏水涂层以防止该表面聚集污染物；挡块包括从支撑部上表面向上延伸的第一挡板以及从第一挡板上端朝向夹紧晶圆的方向延伸的第二挡板，第一挡板、第二挡板和支撑部上表面之间形成卡槽用于固定晶圆。在一个实施例中，所述挡块的用于抵接晶圆的侧面设有压力传感器，用于检测夹持晶圆的夹紧力大小避免夹紧力过大造成晶圆破碎。在一个实施例中，所述固定台上还设有用于承托晶圆的平台，平台位于预设数量的移动夹持组件之间，所述平台上表面涂覆有疏水涂层以防止该表面聚集污染物。本专利技术实施例的第二方面提供了一种晶圆传输装置，包括如上所述的晶圆对中机构以及移动机构，所述晶圆对中机构用于调整晶圆位置，所述晶圆对中机构与移动机构连接以使移动机构带动晶圆对中机构移动。本专利技术实施例的第三方面提供了一种晶圆减薄设备，包括：前端模块，其位于晶圆减薄设备的前端，用于实现晶圆的进出；磨削模块，其位于晶圆减薄设备的末端，用于晶圆的磨削；抛光模块，其位于前端模块与磨削模块之间，用于晶圆的化学机械抛光；如上所述的晶圆传输装置，其平行于抛光模块并位于前端模块与磨削模块之间。本专利技术公开的晶圆对中机构，其通过旋转驱动机构驱动锥齿轮组件向滚珠丝杠组件传动，从而使滚珠丝杠组件带动移动夹持组件同步移动以夹持固定晶圆，实现晶圆的位置调整，使得待减薄晶圆与磨削工作台同心，提升晶圆吸附固定的可靠性，保证晶圆磨削的表面质量。所述晶圆对中机构应用于晶圆传输装置，有效保证晶圆在传输过程中的位置准确，进而保证由机械手周转传输的晶圆与磨削工作台的同心度，提升晶圆吸附的可靠性及晶圆磨削的表面质量。附图说明通过结合以下附图所作的详细描述，本专利技术的优点将变得更清楚和更容易理解，但这些附图只是示意性的，并不限制本专利技术的保护范围，其中：图1为本专利技术一实施例提供的晶圆对中机构的立体图；图2为本专利技术一实施例提供的晶圆对中机构的俯视图；图3为本专利技术一实施例提供的晶圆对中机构的剖视图；图4为本专利技术一实施例提供的晶圆减薄设备的立体图。具体实施方式下面结合具体实施例及其附图，对本专利技术所述技术方案进行详细说明。在此记载的实施例为本专利技术的特定的具体实施方式，用于说明本专利技术的构思；这些说明均是解释性和示例性的，不应理解为对本专利技术实施方式及本专利技术保护范围的限制。除在此记载的实施例外，本领域技术人员还能够基于本申请权利要求书及其说明书所公开的内容采用显而易见的其它技术方案，这些技术方案包括采用对在此记载的实施例的做出任何显而易见的替换和修改的技术方案。应当理解的是，除非特别予以说明，为了便于理解，以下对本专利技术具体实施方式的描述都是建立在相关设备、装置、部件等处于原始静止的未给与外界控制信号和驱动力的自然状态下描述的。此外，还需要说明的是，本申请中使用的例如前、后、上、下、左、右、顶、底、正、背、水平、垂直等表示方位的术语仅仅是为了便于说明，用以帮助对相对位置或方向的理解，并非旨在限制任何装置或结构的取向。为了说明本专利技术所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。如图1至图3所示，本专利技术实施例提供了一种晶圆对中机构100，其包括一固定台10、一旋转驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆对中机构，其特征在于，包括一固定台、一旋转驱动机构、一锥齿轮组件、预设数量的滚珠丝杠组件和预设数量的移动夹持组件；/n预设数量的滚珠丝杠组件沿周向均匀安装在固定台上，滚珠丝杠组件沿水平方向设置，滚珠丝杠组件的直线运动端连接移动夹持组件，滚珠丝杠组件位于锥齿轮组件外围并且滚珠丝杠组件的转动端与锥齿轮组件固定连接，锥齿轮组件与位于其下方的旋转驱动机构固定连接；/n旋转驱动机构通过锥齿轮组件分别向每个滚珠丝杠组件传送转动力，滚珠丝杠组件将所述转动力转化为直线运动，预设数量的滚珠丝杠组件直线运动的延长线方向相交于同一点，以带动预设数量的移动夹持组件按照相互靠近的方向水平地同步移动从而将晶圆夹持固定于预设位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆对中机构，其特征在于，包括一固定台、一旋转驱动机构、一锥齿轮组件、预设数量的滚珠丝杠组件和预设数量的移动夹持组件；
预设数量的滚珠丝杠组件沿周向均匀安装在固定台上，滚珠丝杠组件沿水平方向设置，滚珠丝杠组件的直线运动端连接移动夹持组件，滚珠丝杠组件位于锥齿轮组件外围并且滚珠丝杠组件的转动端与锥齿轮组件固定连接，锥齿轮组件与位于其下方的旋转驱动机构固定连接；
旋转驱动机构通过锥齿轮组件分别向每个滚珠丝杠组件传送转动力，滚珠丝杠组件将所述转动力转化为直线运动，预设数量的滚珠丝杠组件直线运动的延长线方向相交于同一点，以带动预设数量的移动夹持组件按照相互靠近的方向水平地同步移动从而将晶圆夹持固定于预设位置。


2.如权利要求1所述的晶圆对中机构，其特征在于，所述锥齿轮组件包括主动锥齿轮以及在主动锥齿轮上方沿其周向均匀分布并与主动锥齿轮啮合的预设数量的从动锥齿轮；
旋转驱动机构上端连接主动锥齿轮以使主动锥齿轮绕竖直方向旋转从而带动预设数量的从动锥齿轮绕水平方向旋转，从动锥齿轮连接沿水平方向设置的滚珠丝杠组件。


3.如权利要求2所述的晶圆对中机构，其特征在于，所述滚珠丝杠组件包括螺杆、螺母、第一轴承和第二轴承；
螺杆沿水平方向放置，螺杆的一端穿过第一轴承并伸入从动锥齿轮的中心孔内以与从动锥齿轮固定连接，所述螺杆的一端通过第一轴承安装在固定台上，螺杆的另一端穿过第二轴承并通过第二轴承安装在固定台上，螺杆的中部装有与其螺纹配合的螺母；预设数量的螺杆的长度方向延长线相交于同一点。


4.如权利要求3所述的晶圆对中机构，其特征在于，所述固定台包括第一支撑板、位于第一支撑板下方的第二支撑板以及用于固定连接第一支撑板与第二支撑板的支架；
第一支撑板上设有用于容纳锥齿轮组件的中央通孔以及围绕中央通孔设置的预设数量的条型槽，条型槽用于放置所述螺杆，所述第一支撑板的位于条型槽与中央通孔之间的部分设有用于使所述螺杆的一端穿过的第一通孔，第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘远航，马旭，王江涛，赵德文，
申请(专利权)人：华海清科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：天津;12