用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置，包括安装基座(1)、安装在所述安装基座(1)上用于放置旋转阴极磁棒(8)的支撑组件、安装在所述安装基座(1)上的Y向平移组件(3)、安装在所述Y向平移组件(3)上的Z向调节组件(4)、及安装在所述Z向调节组件(4)上的X向调节组件(5)，所述X向调节组件(5)的下端设有夹持组件(6)以夹持磁性检测探头(7)。本实用新型专利技术提供的用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置，可提高检测精度，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置
本技术涉及磁控镀膜
，特别涉及一种用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置。
技术介绍
磁控镀膜的旋转阴极磁棒磁性均匀与否对于镀膜质量来说至关重要，先期磁棒的磁体组装、磁棒周期性的保养和监测、发生镀膜质量问题的原因排查，都会去检测磁棒的磁性，而目前检测方法是人工手持磁性检测探头距离磁棒一个定义的距离从磁棒一端缓慢移动至最另外一端去测量，位置误差较大，得出的数据不准确，不准确的数据常导致分析出问题的原因并非真实原因。所以就十分有必要设计出一种能够保证测量精度的机构来应对这个问题。
技术实现思路
本技术目的是提供一种用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置，解决人工手持探头检测导致检测数据不准确的问题。基于上述问题，本技术提供的技术方案是：用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置，包括安装基座、安装在所述安装基座上用于放置旋转阴极磁棒的支撑组件、安装在所述安装基座上的Y向平移组件、安装在所述Y向平移组件上的Z向调节组件、及安装在所述Z向调节组件上的X向调节组件，所述X向调节组件的下端设有夹持组件以夹持本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置，其特征在于：包括安装基座(1)、安装在所述安装基座(1)上用于放置旋转阴极磁棒(8)的支撑组件、安装在所述安装基座(1)上的Y向平移组件(3)、安装在所述Y向平移组件(3)上的Z向调节组件(4)、及安装在所述Z向调节组件(4)上的X向调节组件(5)，所述X向调节组件(5)的下端设有夹持组件(6)以夹持磁性检测探头(7)。/n

【技术特征摘要】
1.用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置，其特征在于：包括安装基座(1)、安装在所述安装基座(1)上用于放置旋转阴极磁棒(8)的支撑组件、安装在所述安装基座(1)上的Y向平移组件(3)、安装在所述Y向平移组件(3)上的Z向调节组件(4)、及安装在所述Z向调节组件(4)上的X向调节组件(5)，所述X向调节组件(5)的下端设有夹持组件(6)以夹持磁性检测探头(7)。


2.根据权利要求1所述的用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置，其特征在于：所述支撑组件包括沿所述安装基座(1)长度方向间隔布置的多个支撑座(2)，所述支撑座(2)上设有与所述旋转阴极磁棒(8)匹配的限位凹槽(2-1)。


3.根据权利要求1所述的用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置，其特征在于：所述Y向平移组件(3)包括固定在所述安装基座(1)底部并沿所述安装基座(1)长度方向布置的第一导轨(3-1)、与所述第一导轨(3-1)滑动配合的第一滑块(3-2)、与所述第一滑块(3-2)固定连接的第一支撑板(3-3)、及与所述第一支撑板(3-3)固定连接的第二支撑板(3-4)，所述第二支撑板(3-4)沿竖直方向布置，所述Z向调节组件(4)设置在所述第二支撑板(3-4)上。


4.根据权利要求3所述的用于镀膜旋转阴极磁棒...

【专利技术属性】
技术研发人员：丛峰，
申请(专利权)人：苏州胜利精密制造科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32