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本实用新型公开了用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置,包括安装基座(1)、安装在所述安装基座(1)上用于放置旋转阴极磁棒(8)的支撑组件、安装在所述安装基座(1)上的Y向平移组件(3)、安装在所述Y向平移组件(3)上的Z向调节组件(4)、及安...该专利属于苏州胜利精密制造科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州胜利精密制造科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了用于镀膜旋转阴极磁棒的磁性检测装置,包括安装基座(1)、安装在所述安装基座(1)上用于放置旋转阴极磁棒(8)的支撑组件、安装在所述安装基座(1)上的Y向平移组件(3)、安装在所述Y向平移组件(3)上的Z向调节组件(4)、及安...