【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及采用半导体装置、液晶显示板、有机EL(场致发光)显示板或场致发射显示板等薄型显示板的显示装置等在制造工序中涂布并干燥涂布液，在基板上形成所需的膜的工序中使用的液滴喷射涂布方法和采用该方法的显示装置的制造方法。
技术介绍
在采用半导体装置、液晶显示板、有机EL(场致发光)显示板或场致发射显示板等薄型显示板的显示装置等的制造时，通过将水溶液、包含无机或有机溶剂的涂布液的液滴从喷墨喷嘴喷射涂布到基板上后进行干燥，从而形成功能层等的膜。特别是在如显示装置的发光层和滤色器层等那样进行需要微细的图案的成膜时，这样的喷墨涂布方法十分适合。在采用这样的喷墨涂布方法，用于由弹着在基板上的各个涂布液形成溶质(固体成分)的膜的干燥工序中，以往将基板上的涂布液和上述基板一起在规定的一定温度下进行加热。但是，在采用这样的一定温度进行加热并干燥的以往的干燥工序中，难以控制在涂布液的内部产生的热对流，此外，由于涂布液从径向方向端部干燥，所以中央部随着溶液的变浓而容易隆起，有时这种隆起对固化物的膜厚分布的均匀性产生不良影响。而且，在涂布液中含有沸点不同的多种溶剂的涂布液的情况下，...
【技术保护点】
一种液滴喷射涂布方法，其特征在于，包括：涂布工序，将含有不同沸点的多种溶剂的涂布液的液滴喷射在被涂布材料的表面进行涂布；以及干燥工序，根据所述多种溶剂的各沸点温度边使加热温度依次上升边加热涂布于所述被涂布材料的表面上的涂布液而使其依次挥发。
【技术特征摘要】
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