一种开孔装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种开孔装置，包括：套管；杆体，所述杆体的长度大于所述套管的长度，所述套管套设在所述杆体的一端，且所述杆体的一端的端部设有刀具，所述刀具可伸出所述套管，所述杆体的另一端设有手柄；至少三个支撑杆，每个所述支撑杆的第一端分别与所述套管的外侧壁相连；多个吸盘，每个所述支撑杆的第二端分别设置一个所述吸盘。在使用过程中，可以将吸盘吸附在台面或抛光垫上，通过支撑杆将套管支撑，使得刀具靠近抛光垫，让刀具对准抛光垫上待开孔的位置，通过手柄施加下压力使得刀具冲击抛光垫来进行开孔，通过该开孔装置进行开孔的开孔效率高，开孔效果好，偏差小，减少人力，简单方便。

【技术实现步骤摘要】
一种开孔装置
本技术涉及抛光垫领域，具体涉及一种开孔装置。
技术介绍
双面抛光工艺被广泛应用于半导体加工领域，抛光设备、抛光垫、抛光液是抛光加工的三要素，缺一不可。双面抛光设备在对硅片进行加工时，抛光液通过上盘面通孔流入作业区内。抛光垫属于抛光的消耗性辅料，它是贴在双面抛光设备上下盘面才能对硅片进行抛光，因此，贴在双面抛光设备上盘面的抛光垫需要根据双面抛设备结构进行开孔，贯通整个抛光液通道才能使用，并且抛光垫开孔大小需与上盘面孔大小一致。由于抛光垫的背面有一层非常光滑的塑料保护膜，现有的抛光垫开孔方式，不仅容易切坏抛光垫，而且位置稍有把握不准，就会出现多切的现象，导致切出的抛光垫孔大于上盘面孔，影响抛光垫的使用效果；如果出现少切，还需要补切。因此，现有的抛光垫开孔方式，耗时耗力，打孔效率低，打孔效果较差。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种开孔装置，用以解决抛光垫开孔时耗时耗力，开孔效率低，开孔效果差的问题。为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：根据本技术实施例的开孔装置，包括：套管；杆体，所述杆体的长度大于所述套管的长度，所述套管套设在所述杆体的一端，且所述杆体的一端的端部设有刀具，所述刀具可伸出所述套管，所述杆体的另一端设有手柄；至少三个支撑杆，每个所述支撑杆的第一端分别与所述套管的外侧壁相连；多个吸盘，每个所述支撑杆的第二端分别设置一个所述吸盘。其中，所述杆体的外侧壁设有沿所述杆体的长度方向延伸的导槽，所述套管的内侧壁上与所述导槽相应的位置设有导轨，所述导轨设置于所述导槽中且所述导轨沿所述导槽的长度方向可移动；或者所述杆体的外侧壁设有沿所述杆体的长度方向延伸的导轨，所述套管的内侧壁上与所述导轨相应的位置设有导槽，所述导轨设置于所述导槽中且所述导轨沿所述导槽的长度方向可移动。其中，所述支撑杆具有三个，三个所述支撑杆的第一端分别沿所述套管的周向均匀间隔开设置。其中，所述杆体的轴线与所述套管的轴线共线。其中，每个所述支撑杆的第一端分别与所述套管的外侧壁可枢转相连。其中，每个所述支撑杆的第一端分别与所述套管的顶端的外侧壁相连。其中，所述套管的内侧壁上设有限位块，所述杆体的一端的外侧壁上与所述限位块相应的位置设有挡块，所述杆体沿所述套管的长度方向移动时，所述挡块可止抵或远离所述限位块。其中，所述杆体上设有沿所述杆体的长度方向分布的刻度线。其中，所述套管或所述杆体上设有水平测量仪。本技术的上述技术方案的有益效果如下：根据本技术实施例的开孔装置，杆体的长度大于所述套管的长度，所述套管套设在所述杆体的一端，且所述杆体的一端的端部设有刀具，所述刀具可伸出所述套管，所述杆体的另一端设有手柄；至少三个支撑杆，每个所述支撑杆的第一端分别与所述套管的外侧壁相连；多个吸盘，每个所述支撑杆的第二端分别设置一个所述吸盘。在使用过程中，可以将吸盘吸附在台面或抛光垫上，通过支撑杆将套管支撑，使得刀具靠近抛光垫，让刀具对准抛光垫上待开孔的位置，通过手柄施加下压力使得刀具冲击抛光垫来进行开孔，通过该开孔装置进行开孔的开孔效率高，开孔效果好，开孔位置更加精准，减少人力，简单方便。附图说明图1为本技术实施例的开孔装置的一个结构示意图；图2为本技术实施例的开孔装置的另一个结构示意图；图3为本技术实施例的开孔装置的又一个结构示意图；图4为本技术实施例的开孔装置使用时的一个示意图；图5为本技术实施例的开孔装置的又一个结构示意图。附图标记套管10；限位块11；杆体20；刀具21；手柄22；挡块23；螺母24；支撑杆30；吸盘40。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。下面具体描述根据本技术实施例的开孔装置。如图1至图5所示，根据本技术实施例的开孔装置包括套管10、杆体20、至少三个支撑杆30和多个吸盘40，其中，杆体20的长度大于套管10的长度，套管10套设在杆体20的一端，且杆体20的一端的端部设有刀具21，刀具21可伸出套管10，杆体20的另一端设有手柄22，每个支撑杆30的第一端分别与套管10的外侧壁相连，每个支撑杆30的第二端分别设置一个吸盘40。也就是说，开孔装置主要有套管10、杆体20、至少三个支撑杆30和多个吸盘40构成，杆体20的长度大于套管10的长度，套管10套设在杆体20的一端，杆体20的一端在套管10中沿着套管10的长度方向可以移动，杆体20的一端的端部可以设有刀具21，刀具21的直径可以与开孔的直径相同，可以根据开孔的形状大小合理选择刀具21，刀具21可伸出套管10，可以从套管10的底端伸出，杆体20的另一端设有手柄22，可以通过手柄22对杆体20施加向下的压力。杆体20的另一端位于手柄22下方的位置可以设有外螺纹，通过外螺纹可以设有螺母24，螺母24的径向尺寸可以大于套管10的径向尺寸，螺母24可以沿着杆体20的长度方向移动，进而调节螺母24在杆体20上的位置，可以调节螺母24与手柄22之间的间距，通过螺母24可以限定杆体20向下移动时的距离，同时还可以避免操作时套管10碰撞操作人员的手。每个支撑杆30的第一端分别与套管10的外侧壁相连，每个支撑杆30的第二端分别设置一个吸盘40，吸盘40可以吸附在台面或抛光垫上，通过支撑杆30将套管10支撑起。在使用过程中，可以将吸盘40吸附在台面或抛光垫上，通过支撑杆30将套管10支撑，使得刀具21靠近抛光垫，让刀具21对准抛光垫上待开孔的位置，通过手柄22施加下压力使得刀具21冲击抛光垫来进行开孔，通过该开孔装置进行开孔的开孔效率高，开孔效果好，开孔位置更加精准，减少人力，简单方便。在本技术的一些实施例中，杆体20的外侧壁可以设有沿杆体20的长度方向延伸的导槽，套管10的内侧壁上与导槽相应的位置设有导轨，导轨设置于导槽中且导轨沿导槽的长度方向可移动；或者，杆体20的外侧壁设有沿杆体20的长度方向延伸的导轨，套管10的内侧壁上与导轨相应的位置设有导槽，导轨设置于导槽中且导轨沿导槽的长度方向可移动。通过导轨和导槽的配合，使得导轨能够沿导槽的长度方向移动，进而使得杆体20的一端在套管10中沿着套管10的长度方向稳定移动，以使刀具21对抛光垫进行冲击开孔，保证开孔位置的准确和开孔效果，减小开孔偏差。可选地，支撑杆30可以具有三个，三个支撑杆30的第一端可以分别沿套管10的周向均匀间隔开设置，便于对套管10稳定支撑。三个支撑杆30的高度可以相同，可以相互间隔120°排列。...

【技术保护点】
1.一种开孔装置，其特征在于，包括：/n套管；/n杆体，所述杆体的长度大于所述套管的长度，所述套管套设在所述杆体的一端，且所述杆体的一端的端部设有刀具，所述刀具可伸出所述套管，所述杆体的另一端设有手柄；/n至少三个支撑杆，每个所述支撑杆的第一端分别与所述套管的外侧壁相连；/n多个吸盘，每个所述支撑杆的第二端分别设置一个所述吸盘。/n

【技术特征摘要】
1.一种开孔装置，其特征在于，包括：
套管；
杆体，所述杆体的长度大于所述套管的长度，所述套管套设在所述杆体的一端，且所述杆体的一端的端部设有刀具，所述刀具可伸出所述套管，所述杆体的另一端设有手柄；
至少三个支撑杆，每个所述支撑杆的第一端分别与所述套管的外侧壁相连；
多个吸盘，每个所述支撑杆的第二端分别设置一个所述吸盘。


2.根据权利要求1所述的开孔装置，其特征在于，所述杆体的外侧壁设有沿所述杆体的长度方向延伸的导槽，所述套管的内侧壁上与所述导槽相应的位置设有导轨，所述导轨设置于所述导槽中且所述导轨沿所述导槽的长度方向可移动；或者
所述杆体的外侧壁设有沿所述杆体的长度方向延伸的导轨，所述套管的内侧壁上与所述导轨相应的位置设有导槽，所述导轨设置于所述导槽中且所述导轨沿所述导槽的长度方向可移动。


3.根据权利要求1所述的开孔装置，其特征在于，所述支撑杆具有三个，三个所述支...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺云鹏，赵晟佑，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61