一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，包括连接角钢、置台和固定销，所述连接角钢顶部焊接有置台，所述置台顶部焊接有管体且管体内部套设有拉杆，所述置台内部通过轴承安装有制动齿轮，所述制动齿轮一端通过插销固定有连接柱，所述连接柱外侧套设有防护罩且连接柱一端焊接有固定销，所述固定销顶部两端开设预留槽，所述预留槽内部通过转轴连接有防滑块，所述固定销、连接柱和置台外表面均喷涂有防护层。本实用新型专利技术可以将待清洁的石墨棒固定住，进行喷砂处理，同时可以翻转，防护性能好，适合被广泛推广和使用。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具
本技术涉及洗净喷砂治具
，特别涉及一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具。
技术介绍
对柱形石墨部件进行洗净作业，需要对石墨部件表面进行深度清洗，去除附着的残膜及石墨碎片，常规清洗方法是经过物理及化学清洗后，冲洗，吹干。但因石墨棒较长，以上步骤均由人工手执石墨棒进行操作，特别是喷砂时手执石墨棒极易造成喷砂不均匀，局部喷砂过度，造成石墨棒损坏，为此，我们提出一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，包括连接角钢、置台和固定销，所述连接角钢顶部焊接有置台，所述置台顶部焊接有管体且管体内部套设有拉杆，所述置台内部通过轴承安装有制动齿轮，所述制动齿轮一端通过插销固定有连接柱，所述连接柱外侧套设有防护罩且连接柱一端焊接有固定销，所述固定销顶部两端开设预留槽，所述预留槽内部通过转轴连接有防滑块，所述固定销、连接柱和置台外表面均喷涂有防护层。进一步地，所述拉杆外侧套设有一号弹簧且拉杆底端通过螺纹槽连接有卡板，所述卡板和一号弹簧均位于管体内部。进一步地，所述防护罩和固定销均位于置台外侧，所述防护层为特氟龙材料制成。进一步地，所述连接柱外侧一套设有防护套且防护套位于置台一侧。进一步地，所述防滑块和预留槽之间通过安装槽安装有二号弹簧。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：1.通过设置置台、固定销和连接柱，人员使用螺栓将连接角钢固定于平台或结构架两端，将待清洗的石墨棒通过安装槽套在固定销外侧，即可对石墨棒进行喷砂、清洁处理，待石墨棒顶部喷砂完成后，人员拉动拉杆带动卡板上移，使卡板离开制动齿轮一侧，即可转动连接柱带动套在固定销外侧的石墨棒翻转，方便对石墨棒底部进行喷砂，松开拉杆后，一号弹簧推动拉杆底端的卡板插入制动齿轮内部，固定住转动后的制动齿轮和固定销，固定销两端的防滑块在二号弹簧推动下伸出，可以防止石墨棒从固定销上滑出。2.通过设置防护罩、防护套和防护层，防护套在连接柱和置台之间起到密封作用，防止喷砂时砂石进入置台内，影响制动齿轮的转动，防护罩套在防护罩外侧，可以对防护套进行保护，避免防护套被砂石的冲击出现破损，防护层为特氟龙材料制成，喷涂于置台、固定销和连接柱表面，具有耐腐蚀功能，可以防止置台、固定销和连接柱生锈、腐蚀。附图说明图1为本技术一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具的整体结构示意图。图2为本技术一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具的置台内部结构示意图。图3为本技术一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具的预留槽内部结构示意图。图4为本技术一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具的置台、固定销和连接柱外部材料剖面图。图中：1、连接角钢；2、置台；3、固定销；4、连接柱；5、防护罩；6、管体；7、拉杆；8、防滑块；9、制动齿轮；10、一号弹簧；11、卡板；12、防护套；13、二号弹簧；14、预留槽；15、防护层。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。如图1-4所示，一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，包括连接角钢1、置台2和固定销3，所述连接角钢1顶部焊接有置台2，所述置台2顶部焊接有管体6且管体6内部套设有拉杆7，所述置台2内部通过轴承安装有制动齿轮9，所述制动齿轮9一端通过插销固定有连接柱4，所述连接柱4外侧套设有防护罩5且连接柱4一端焊接有固定销3，所述固定销3顶部两端开设预留槽14，所述预留槽14内部通过转轴连接有防滑块8，所述固定销3、连接柱4和置台2外表面均喷涂有防护层15。其中，所述拉杆7外侧套设有一号弹簧10且拉杆7底端通过螺纹槽连接有卡板11，所述卡板11和一号弹簧10均位于管体6内部。本实施例中如图2所示，一号弹簧10推动拉杆7底端的卡板11插入制动齿轮9内部，固定住转动后的制动齿轮9。其中，所述防护罩5和固定销3均位于置台2外侧，所述防护层15为特氟龙材料制成。本实施例中如图1和4所示，防护罩5和固定销3均位于置台2外侧，方便石墨棒通过自身的安装槽安装在固定销3外侧，防护层15为特氟龙材料制成，喷涂于置台2、固定销3和连接柱4表面，具有耐腐蚀功能，可以防止置台2、固定销3和连接柱4生锈、腐蚀。其中，所述连接柱4外侧一套设有防护套12且防护套12位于置台2一侧。本实施例中如图2所示，防护套12在连接柱4和置台2之间起到密封作用，防止喷砂时砂石进入置台2内，影响制动齿轮9的转动。其中，所述防滑块8和预留槽14之间通过安装槽安装有二号弹簧13。本实施例中如图3所示，二号弹簧13可以推动防滑块8伸出，防止套在固定销3外侧的石墨棒滑出。需要说明的是，本技术为一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，工作时，人员使用螺栓将连接角钢1固定于平台或结构架两端，将待清洗的石墨棒通过安装槽套在固定销3外侧，即可对石墨棒进行喷砂、清洁处理，待石墨棒顶部喷砂完成后，人员拉动拉杆7带动卡板11上移，使卡板11离开制动齿轮9一侧，即可转动连接柱4带动套在固定销3外侧的石墨棒翻转，方便对石墨棒底部进行喷砂，松开拉杆7后，一号弹簧10推动拉杆7底端的卡板11插入制动齿轮9内部，固定住转动后的制动齿轮9和固定销3，固定销3两端的防滑块8在二号弹簧13推动下伸出，可以防止石墨棒从固定销3上滑出，，防护套12在连接柱4和置台2之间起到密封作用，防止喷砂时砂石进入置台2内，影响制动齿轮9的转动，防护罩5套在防护罩5外侧，可以对防护套12进行保护，避免防护套12被砂石的冲击出现破损，防护层15为特氟龙材料制成，喷涂于置台2、固定销3和连接柱4表面，具有耐腐蚀功能，可以防止置台2、固定销3和连接柱4生锈、腐蚀。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，包括连接角钢（1）、置台（2）和固定销（3），其特征在于：所述连接角钢（1）顶部焊接有置台（2），所述置台（2）顶部焊接有管体（6）且管体（6）内部套设有拉杆（7），所述置台（2）内部通过轴承安装有制动齿轮（9），所述制动齿轮（9）一端通过插销固定有连接柱（4），所述连接柱（4）外侧套设有防护罩（5）且连接柱（4）一端焊接有固定销（3），所述固定销（3）顶部两端开设预留槽（14），所述预留槽（14）内部通过转轴连接有防滑块（8），所述固定销（3）、连接柱（4）和置台（2）外表面均喷涂有防护层（15）。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体设备EPM装置部件洗净喷砂治具，包括连接角钢（1）、置台（2）和固定销（3），其特征在于：所述连接角钢（1）顶部焊接有置台（2），所述置台（2）顶部焊接有管体（6）且管体（6）内部套设有拉杆（7），所述置台（2）内部通过轴承安装有制动齿轮（9），所述制动齿轮（9）一端通过插销固定有连接柱（4），所述连接柱（4）外侧套设有防护罩（5）且连接柱（4）一端焊接有固定销（3），所述固定销（...

【专利技术属性】
技术研发人员：周伯成，张正伟，
申请(专利权)人：安徽富乐德科技发展股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34