微流控阵列光开关芯片制造技术

微流控阵列光开关芯片采用“上盖片＋绝缘层＋波导层＋底板”结构，其中，第一层为上盖片包括盖板（１０），在盖板上面留有通气孔（３）、注液孔（２）和电极孔（１４），底部还有用微流道工艺制作的凹槽（１５）；第二层为绝缘层（１１），在绝缘层（１１）上镀有导电小膜块（５），导电膜块（５）通过电导线（４）与外部控制电压相连，盖板上第一小孔（１６）、第二小孔（１７）对应匹配通气孔（３）和注液孔（２）；第三层是光波导层（１２），在光波导层中设有微流道工艺制作的第一微流道（８）、第二微流道（９），中部设有储液小槽（６）及其穿过的细管（７）；第四层为底板（１３），在底板的ＰＤＭＳ上镀有一层导电膜（１８），本发明专利技术结构简单、容易制作、适于集成、易构成大型交换矩阵。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微流控阵列光丌关芯片结构，属于光互联网中光交叉连接、 光分插复用器件的

技术介绍
微流控光学是一项具有重要意义的新技术，它将现代微流控技术和微光电子 技术相结合，研制一类能够根据外界环境变化、具有结构重组和自适应调节能力 的光学集成器件和系统，将在传感、通信、等领域具有重要的应用前景。微流控阵列光丌关是一种二维集成器件，可实现光学元件的集成化，促进微 光器件、波导器件、光集成器件的发展，这种器件在光通信及其它许多领域中有 很广泛的应用，如利用微流控阵列光丌关制作的光互连器件光交叉连接、光分插复用器件等。目前已经头'用化的光开关，除了MEMS等少数类型的光开关以外， 现存光开关的交换容量总是有限，很难制成大阵列；而MEMS光开关本身在高端 口密度及抗机械摩擦、磨损或震动等方面也存在不足之处。所以研制微流控阵列 光开关具有重要的技术价值和应用前景。随着光通信技术的飞速发展,新的光网络核心器件技术对光开关也提出了更 高的要求。在光开关的技术指标上，要求光开关器件具有更高的工作速度、更低 的插入损耗和更长的工作寿命；在器件的体积上，由于全光网单元器件的增多，为使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微流控阵列光开关芯片，其特征在于该结构采用“上盖片＋绝缘层＋波导层＋底板”结构，其中，第一层为上盖片包括盖板（１０），在盖板（１０）上面留有通气孔（３）、注液孔（２）和电极孔（１４），底部还有用微流道工艺制作的凹槽（１５）；第二层为绝缘层（１１），在绝缘层（１１）上镀有导电膜块（５），导电膜块（５）通过电导线（４）与外部控制电压相连，盖板（１０）上第一小孔（１６）、第二小孔（１７）对应匹配通气孔（３）和注液孔（２）；第三层是光波导层（１２），其中设有微流道工艺制作的第一微流道（８）、第二微流道（９），中部设有储液小槽（６）及其穿过的细管（７）；第四层为底板（１３），在底板（１３）的ＰＤＭＳ...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宁，涂兴华，梁忠诚，李若梅，王雪，陈金秋，
申请(专利权)人：南京邮电大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]