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微流控阵列光开关芯片采用“上盖片＋绝缘层＋波导层＋底板”结构，其中，第一层为上盖片包括盖板（１０），在盖板上面留有通气孔（３）、注液孔（２）和电极孔（１４），底部还有用微流道工艺制作的凹槽（１５）；第二层为绝缘层（１１），在绝缘层（１１）上...
该专利属于南京邮电大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京邮电大学授权不得商用。

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