【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光微加工领域，特别涉及一种能够在工件表面加工出微凹腔和微凹槽的 激光表面微造型技术。
技术介绍
在摩擦副表面加工出适当的表面微观形貌，可以显著改善摩擦副的润滑性能，提高摩 擦副的使用寿命。为了达到这些要求，就必须保证形貌的表面加工质量；同时，为了能在 工业生产领域推广应用，还必须尽可能的提高加工效率、降低成本。激光表面微造型技术是一种易控制、高效率的现代化加工方法。但是现有技术用于工 业生产实际还不成熟，特别是对于金属材料的表面微造型，其加工质量更是难以控制。例 如①传统的C02激光器和YAG激光器，其输出波长处于红外波段，聚焦光斑较大，因此 加工尺寸也相应较大，而且其激光与材料之间的相互作用是热过程，会导致材料的碳化和 表面加工质量变差。②铜蒸发激光器能输出波长为蓝光511nra和黄光578nm，输出功率可 达几百瓦，光束质量好，可以聚焦成几至几十微米很小的光斑，用于对陶瓷、金刚石、硅、 高分子聚合物以及各种金属材料进行微细加工。但铜蒸发激光器外形尺寸庞大，价格昂贵， 可靠性差，维护保养工作量大，不适合用于大量的工业生产。O申请号为20031...
【技术保护点】
一种激光表面微造型装置，由激光器（２）、外光路部件、旋转和移动工件部件、控制激光器（２）和控制工件的旋转移动的控制部分组成，其特征在于：沿所述激光器（２）的光路方向依次内置了激光装置（２０）、两块可调方向全反镜（２１、２２）、全反镜（２３）、声光调Ｑ开关（２４）、光阑（２５）、光闸（２６）、激光发生器（２７）和输出镜（２８）；所述外光路部件通过导光管（５）连接激光器（２）且从上到下依次安装有ＣＣＤ摄像头（７）、反光镜（２９）和激光头（６），外光路部件一侧固定与伺服电机（８）连接的Ｚ向立式移动导轨（１０），伸缩架（１１）固定在导轨（１０）上；所述旋转和移动工件部件位于激光头（...
【技术特征摘要】
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