【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光光束波面整形
，特别涉及一种用于实现激光束在远场衍射光斑主斑压縮的超分辨光子筛(superresolutionPhoton sieve(SPS))。
技术介绍
随着光存储和三维成像技术的发展，提高传统的球面透镜成像的 分辨率、实现所谓的超分辨一直是人们所关心的问题，因此，通过各 种途径对于激光衍射斑主斑进行压縮，并且抑制旁斑的能量是实用的 课题。在光束整形、微电子无掩模刻蚀、强激光能量集中和其它需要 能量聚焦到中心光斑的各种仪器中均需要极小的主斑宽度和极高的主 斑能量。位相调制技术是通过改变衍射光线传播截面的位相分布从而实现 预期衍射光强分布的技术。用于进行位相调制的方法有多种，有固定 位相分布的位相板，也有用光电晶体制成的可由电压控制位相分布的 调制片。因为衍射位相板光能的利用效率最高，所以最常用。-所谓光子筛，、是一种新型聚焦成像衍射光学器件，利用它可以对X 光聚焦和成像，这是一般棱镜和玻璃材料的成像光学器件无法实现的。 光子筛与传统的光学元件Fresnel波带片相比，具有高分辨率和抑制二 级衍射主极大等优点，能提高成像的对比度。而且...
【技术保护点】
一种超分辨光子筛，其特征在于，该超分辨光子筛是在普通的光子筛片上集成刻蚀等孔径的超分辨位相片，从而形成由普通光子筛和等孔径超分辨位相片合成的有多个同心环带的位相衍射单元的位相板。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：贾佳，谢长青，刘明，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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