亚波长金属光栅偏振器制造技术

亚波长金属光栅偏振器，属于光学偏振器件，具体涉及一种线栅偏振器，克服现有同类器件透过率和消光比不高的问题。本发明专利技术在基底上具有金属条纹光栅，金属条纹光栅表面具有保护层，基底与金属条纹光栅连接的界面具有多层介质膜层，基底另一界面具有多层介质减反膜层，多层介质膜层为减反膜层、增反膜层、带通滤光膜层中的一种。本发明专利技术在入射光和出射光两个界面增加了相应的光学薄膜，使透过率和偏振消光比得到较大提高，克服现有同类器件透过率和消光比不高的问题；能够单独作为光学起偏器或检偏器使用；也能够作为激光器输出耦合镜，激光器输出为线偏振光，并且波长能够调谐；可用于光学测量、光通信、激光等领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学偏振器件，具体涉及一种线栅偏振器，可用于光学 测量、光通信、激光等领域。
技术介绍
偏振器件一般可分为反射及折射偏振器、二向色性偏振器、双折射 晶体偏振器等传统器件和线栅偏振器。传统的偏振器件体积过大，不能利用MEMS工艺制作及集成，例如，使用双折射晶体偏振器件时光线必须斜 入射，因此要求光学系统结构是三维的，同时也提高了光学系统集成化的 难度。光栅的周期小于入射光的波长称为亚波长光栅，亚波长金属光栅偏 振器属线栅偏振器中的一种，器件体积小、结构紧凑、易于集成，且能利 用MEMS工艺制作，具有巨大的应用前景。1998年Ebbesen等人报道当一束光垂直通过有着周期性排列小孔 的金属膜时,在某些特定波长上有非常大的透过率增强，而根据经典的孔 径理论，一束波长为A的光通过直径为d (d〈乂)的小孔时，透过率应该 在(d/A)4左右，亦即对于波长为900nm左右的光通过直径为150nm小 孔的透过率应约为O. 001 ,但实验结果约为4%(远场探测值)；见Ebbesen T W, Lezec HJ ， Ghaeml H F , Thio T and Wolff P A本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种亚波长金属光栅偏振器，在基底上具有金属条纹光栅，金属条纹光栅表面具有保护层，其特征在于：　所述基底与金属条纹光栅连接的界面具有多层介质膜层，基底另一界面具有多层介质减反膜层，所述多层介质膜层为减反膜层、增反膜层、带通滤光膜层中的一 种。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓平，史铁林，刘世元，廖广兰，汤自荣，黄光，陈志凌，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：83[中国|武汉]