一种窄线宽激光器及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种窄线宽激光器，该激光器为脊波导结构，脊波导的两侧均设有光吸收层，光吸收层包括多个等间隔排布的光吸收条；利用光吸收层对特定波长的光的吸收作用，实现单模出射。本发明专利技术的激光器采用脊波导和在脊波导的两侧设置等间隔排布的光吸收条，利用光吸收材料本身对特定波长的光的吸收作用，通过调整光吸收层到有源层的距离实现最大的光吸收效率，对不是目标波长的波段进行吸收，使同相的光模式得到增益，使其他模式损耗增强，最终实现单模出射。

【技术实现步骤摘要】
一种窄线宽激光器及其制作方法
本专利技术属于光电子器件
，具体涉及一种窄线宽激光器及其制作方法。
技术介绍
窄线宽激光器具有抽运阈值低、转换效率高、散热效果好、调谐范围宽、耦合效率高、结构紧凑等特点，其凭借窄线宽、低噪声等优点广泛应用于光纤传感、光纤遥感高精度光谱及光纤通信领域，极大推动大量程传感、远距离测量激光雷达的发展。FP腔激光器(Fabry-PerotLaser)是当前最简单的激光器结构，它不需要多次外延，仅需一次刻蚀就可以完成。但是，典型的单段FP腔激光器所有满足相位关系的波长都会引起振荡并相互竞争，不存在任何选模机制，所以最终出射的是一系列间隔相等的波长。为了在FP腔激光器上得到高质量的单模输出，最常见的方法是利用腔外选模手段(如光栅)实现单模输出，但是这会增大激光器体积并且降低激光器的集成特性。另一个思路是在FP腔内引入特殊波导耦合结构，其中都柏林城市大学的一个研究组制作的SlottedFabry-PerotLaser，即SFP激光器，显示了不错的特性。但是这种结构仍存在两点问题，第一、如图1所示，在激光器腔内大部分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种窄线宽激光器，其特征在于，该激光器为脊波导结构，脊波导的两侧均设有光吸收层，光吸收层包括多个等间隔排布的光吸收条；该光吸收层吸收特定波长的光。/n

【技术特征摘要】
1.一种窄线宽激光器，其特征在于，该激光器为脊波导结构，脊波导的两侧均设有光吸收层，光吸收层包括多个等间隔排布的光吸收条；该光吸收层吸收特定波长的光。


2.根据权利要求1所述的窄线宽激光器，其特征在于，光吸收条的间隔周期d1为：



式中，n表示模式的数值，n为奇数，λ表示自由空间波长，neff，ave表示波导的平均有效折射率。


3.根据权利要求1所述的窄线宽激光器，其特征在于，光吸收层到有源层的距离使得光吸收层对特定波长的光的吸收效率最大。


4.根据权利要求1所述的窄线宽激光器，其特征在于，光吸收条是由具有光吸收作用的材料制成，材料具体为金、铂、铝、二氧化钛、二硫化钼或钙钛矿。


5.根据权利要求1所述的窄线宽激光器，其特征在于，该激光器从下到上依次包括n面电极层、衬底层、下包层、下光限制层、有源层、上光限制层、上包层和P面电极层。


6.一种窄线宽激光器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
制作出脊波...

【专利技术属性】
技术研发人员：鲜青云，王任凡，吕辉，姚育成，
申请(专利权)人：武汉敏芯半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42