一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管制造技术

本发明专利技术涉及太阳能电池片制造技术领域，且公开了一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管，包括炉管，所述炉管的内部设置有石英舟，所述石英舟上放置有硅片，所述石英舟位于炉管的中心，所述炉管的内腔固定套接有进气管和尾气排放管，所述尾气排放管位于进气管的侧面，所述进气管和尾气排放管的数量均为两个且相对于炉管的轴线对称分布。本发明专利技术通过利用内管中的螺旋片降低反应气体的流速，给反应气体足够的时间预热，缩减反应气体与炉管内腔的温度差，从而达到减少甚至消除反应气体由于受热膨胀导致的紊乱情况，保证扩散工艺的正常进行；另外通过螺旋片的阻挡作用，促进反应气体混合均匀，提高扩散工艺的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管
本专利技术涉及太阳能电池片制造
，具体为一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管。
技术介绍
扩散炉管是半导体器件及大规模集成电路制造过程中对硅片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种加工装置。现有的扩散炉管中，外界的扩散气体进入炉管后，由于受热膨胀，流速增加，炉管的进气口处会出现一段气流紊乱现象，紊乱的气体与硅片接触会影响炉管工艺腔室内的对硅片进行扩散的质量和效率；另外现有的扩散炉管内反应源气体在炉管内的扩散路径是从炉管的首端到尾端或者从尾端向首端，单向的流动轨迹使得位于流动轨迹后段的硅片所接触的气体中含有的氮气以及氧气均降低，使得位于流动轨迹后段的硅片相对于前段的硅片方阻高，降低了硅片方阻的均匀性。
技术实现思路
针对
技术介绍
中提出的现有扩散炉炉管在使用过程中存在的不足，本专利技术提供了一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管，具备方阻均匀性高的优点，解决了上述
技术介绍
中提出的反应气体受热膨胀紊乱的问题以及反应气体浓度不均匀导致的硅片方阻不均匀的问题。本专利技术提供如下技术方案：一种太阳能电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管，包括炉管(1)，所述炉管(1)的内部设置有石英舟(2)，所述石英舟(2)上放置有硅片(3)，其特征在于：所述石英舟(2)位于炉管(1)的中心，所述炉管(1)的内腔固定套接有进气管(4)和尾气排放管(5)，所述尾气排放管(5)位于进气管(4)的侧面，所述进气管(4)和尾气排放管(5)的数量均为两个且相对于炉管(1)的轴线对称分布。/n

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管，包括炉管(1)，所述炉管(1)的内部设置有石英舟(2)，所述石英舟(2)上放置有硅片(3)，其特征在于：所述石英舟(2)位于炉管(1)的中心，所述炉管(1)的内腔固定套接有进气管(4)和尾气排放管(5)，所述尾气排放管(5)位于进气管(4)的侧面，所述进气管(4)和尾气排放管(5)的数量均为两个且相对于炉管(1)的轴线对称分布。


2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管，其特征在于：所述进气管(4)的内部设有内管(6)，所述进气管(4)和内管(6)的一端均连接有位于炉管(1)首端的进气管道，所述内管(6)远离进气管道的一端开设有出口，所述内管(6)的出口处固定安装有压力阀(10)。


3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管，其特征在于：所述进气管(4)和内管(6)之间形成分气道(8)，所述进气管(4)的外壁上开设有位于分气道(8)处的进气孔(9)，所述进气孔(9)的数量至少有三个，所述进气孔(9)的内径从进气管(4)的进气管道一端向另一端依次递减。


4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管，其特征在于：所述内管(6)内设有预热段(601)和缓存段(...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙德相，
申请(专利权)人：孙德相，
类型：发明
国别省市：重庆;50