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一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管制造技术
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文档序号:26886077
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本发明涉及太阳能电池片制造技术领域,且公开了一种太阳能电池片制造用扩散炉炉管,包括炉管,所述炉管的内部设置有石英舟,所述石英舟上放置有硅片,所述石英舟位于炉管的中心,所述炉管的内腔固定套接有进气管和尾气排放管,所述尾气排放管位于进气管的侧面...
该专利属于孙德相所有,仅供学习研究参考,未经过孙德相授权不得商用。
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