多通道光功率分配器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多通道光功率分配器，由ＬｉＮｂＯ↓［３］基板、菲涅耳微透镜Ａ和菲涅耳微透镜Ｂ组成，在ＬｉＮｂＯ↓［３］基板上采用微刻蚀掩模工艺刻画出沟槽和Ｌ形台，然后采用退火质子交换法或者钛扩散法处理将沟槽制作成波导槽；菲涅耳微透镜Ａ、菲涅耳微透镜Ｂ通过键合方式固定在Ｌ形台上；在ＬｉＮｂＯ↓［３］基板上的波导槽的交汇点构成了三个Ｙ分支耦合器，即Ｙ分支耦合器Ａ、Ｙ分支耦合器Ｂ和Ｙ分支耦合器Ｃ；菲涅耳微透镜Ａ的镜面与多通道光功率分配器的Ｙ分支耦合器Ｂ的Ｂ输出端相连；菲涅耳微透镜Ｂ的镜面与多通道光功率分配器的Ｙ分支耦合器Ｃ的Ｂ输出端相连。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种多通道光功率分配器，是一种建立在光学SAGNAC效应基础上的一种光通道，利用微机电技术和集成光学技术进行加工而成的。
技术介绍
传统的对光进行分配的分束器如耦合器、环形器都不具有起偏功能，并且器件的连接采用单模光纤连接，对输入端的光源处理不能保持偏振模式；而一般分束器只能实现分光——耦合的功能，其功能单一不能满足光信号采集模块对光的要求。倘若光路系统中有与偏振有关的器件如调制器，必须在调制器等一些与偏振有关的器件前加入一个偏振器，从而使光路系统插入损耗增加，对于光信号采集模块对采集的光信号稳定性有着非常大的影响。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种多通道光功率分配器，该多通道光功率分配器为了减小尺寸和重量，对敏感光路进行了结构优化设计，在较小的空间实现了输入光的分光——耦合——分光，并且未使用动态器件的相互连接，有效地使光路得到了延长。本技术是一种多通道光功率分配器，由LiNbO3基板、菲涅耳微透镜A和菲涅耳微透镜B组成，在LiNbO3基板上采用微刻蚀掩膜工艺刻画出沟槽和L形台，然后采用退火质子交换法或者钛扩散法处理将沟槽制作成波导槽；菲涅耳微透镜A、菲涅耳微透镜B通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多通道光功率分配器，其特征在于：由ＬｉＮｂＯ↓［３］基板（１）、菲涅耳微透镜Ａ（７）和菲涅耳微透镜Ｂ（６）组成，在ＬｉＮｂＯ↓［３］基板（１）上采用微刻蚀掩膜工艺刻画出沟槽和Ｌ形台（５），然后采用退火质子交换法或者钛扩散法处理将沟槽制作成波导槽（８）；菲涅耳微透镜Ａ（７）、菲涅耳微透镜Ｂ（６）通过键合方式固定在Ｌ形台（５）上，且菲涅耳微透镜Ａ（７）和菲涅耳微透镜Ｂ（６）保持平行；在ＬｉＮｂＯ↓［３］基板（１）上的波导槽（８）的交汇点构成了三个Ｙ分支耦合器，即Ｙ分支 耦合器Ａ（２）、Ｙ分支耦合器Ｂ（３）和Ｙ分支耦合器Ｃ（４）；其中，在Ｙ分支耦合器Ａ（２）的Ｂ输出端上设有电极Ａ（...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：冯丽爽，张春熹，刘惠兰，杨德伟，林恒，马迎建，许光磊，贺斌，刘恒，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]