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本实用新型公开了一种多通道光功率分配器，由ＬｉＮｂＯ↓［３］基板、菲涅耳微透镜Ａ和菲涅耳微透镜Ｂ组成，在ＬｉＮｂＯ↓［３］基板上采用微刻蚀掩模工艺刻画出沟槽和Ｌ形台，然后采用退火质子交换法或者钛扩散法处理将沟槽制作成波导槽；菲涅耳微透镜Ａ、...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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