基片寻边装置和光刻系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例公开了一基片寻边装置和光刻系统，该基片寻边装置基于NIKON I8光刻机进行改进，该基片寻边装置包括：载片台，用于承载基片；反射式传感器，固定于所述载片台的承载面侧；所述反射式传感器用于探测所述载片台上是否存在基片。本实用新型专利技术实施例提供的基片寻边装置，在NIKON I8光刻机的基础上，改对射式寻边为反射式寻边，以实现对透明衬底和非透明衬底的有效寻边。

【技术实现步骤摘要】
基片寻边装置和光刻系统
本技术实施例涉及生产制造和光刻设备
，尤其涉及一种基片寻边装置和光刻系统。
技术介绍
寻边装置是一种对基片的边缘轮廓进行定位的装置，以实现对边。目前，现有Nikon光刻机寻边方式是基于对射式传感器(或称光电开关)感应平边信号。其中，对射式传感器工作原理是：通过发射器发出的光线直接进入接收器，当被检测物体经过发射器和接收器之间阻断光线时，光电开关就产生开关信号。由此，对射式传感器适用于对遮光性较好的衬底片进行寻边，而透明片的光透过率较高，无法有效遮挡光线，导致探测失效。即：现有的寻边方式对透明片(或称透明衬底片、透明基片)来说，是无法识别信号的，从而导致无法实现透明衬底片的寻边。
技术实现思路
有鉴于此，本技术实施例提供一种基片寻边装置和光刻系统，以实现对透明衬底片的寻边。为了达到此目的，本技术实施例提供了以下技术方案：第一方面，本技术实施例提供了一种基片寻边装置，该基片寻边装置基于NIKONI8光刻机进行改进，该基片寻边装置包括：载片台，用于承载基片；r>反射式传感器，固本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基片寻边装置，其特征在于，基于NIKON I8光刻机进行改进，所述基片寻边装置包括：/n载片台，用于承载基片；/n反射式传感器，固定于所述载片台的承载面侧；所述反射式传感器用于探测所述载片台上是否存在基片。/n

【技术特征摘要】
1.一种基片寻边装置，其特征在于，基于NIKONI8光刻机进行改进，所述基片寻边装置包括：
载片台，用于承载基片；
反射式传感器，固定于所述载片台的承载面侧；所述反射式传感器用于探测所述载片台上是否存在基片。


2.根据权利要求1所述的基片寻边装置，其特征在于，还包括上板和对边传感器；
所述上板悬置于所述载片台的上方，所述对边传感器固定于所述上板朝向所述载片台的一侧；
所述对边传感器至少包括沿同一条直线排列的第一传感器、第二传感器和第三传感器；所述对边传感器用于确定所述基片的平边的位置。


3.根据权利要求2所述的基片寻边装置，其特征在于，所述反射式传感器和所述对边传感器均为光纤传感器。


4.根据权利要求3所述的基片寻边装置，其特征在于，还包括信号处理电路板，所述光纤传感器与所述信号处理电路板插接电连接。


5.根据权利要求4所述的基片寻边装置，其特征在于，还包括第一TL074芯片、第二TL074芯片、第三TL074芯片、第四TL074芯片、一HI509芯片以及第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻和第八电阻；信号处理电路板包括第一电源接口、第二电源接口、寻边信号接口、第一平边检查接口、第二平边检查接口以及第三平边检查接口；
所述第一电源接口电连接至所述第一TL074芯片的4脚，所述第二电源接口接地，以形成供电回路；
所述寻边信号接口电连接至所述第一TL074芯片的9脚，所述第一TL074芯片的8脚电连接至所述HI509芯片的12脚；
所述第一电阻的第一端、所述第三电阻的第一端均与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李华，汪光文，王晓军，王殿辉，
申请(专利权)人：上海探跃半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31