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本实用新型实施例公开了一基片寻边装置和光刻系统，该基片寻边装置基于NIKON I8光刻机进行改进，该基片寻边装置包括：载片台，用于承载基片；反射式传感器，固定于所述载片台的承载面侧；所述反射式传感器用于探测所述载片台上是否存在基片。本实用新...
该专利属于上海探跃半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海探跃半导体设备有限公司授权不得商用。

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