【技术实现步骤摘要】
一种LED生产用光刻装置
本技术涉及LED生产
,具体为一种LED生产用光刻装置。
技术介绍
光刻技术是指在光照作用下,借助光致抗蚀剂将掩膜版上的图形转移到基片上的技术,其主要过程为:首先紫外光通过掩膜版照射到附有一层光刻胶薄膜的基片表面,引起曝光区域的光刻胶发生化学反应;再通过显影技术溶解去除曝光区域或未曝光区域的光刻胶,使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上;最后利用刻蚀技术将图形转移到基片上。现有的一般LED生产用光刻装置结构较为单一且散热效果较差,装置在使用时产生的热量无法及时散出,容易加速对装置的损耗,不利于延长装置的使用寿命,并且不便于调节使用,不方便对装置的高度进行调节且不便于移动,降低了装置的灵活性,不便于使用者进行使用,需要对现有的装置进行改进。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种LED生产用光刻装置,具备散热效果较好等优点,解决了一般LED生产用光刻装置结构较为单一且散热效果较差的问题。(二)技术方案为实现上述该LED生产用光 ...
【技术保护点】
1.一种LED生产用光刻装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的底部活动连接有万向轮(2),所述底座(1)的顶部活动连接有气压缸(3),所述气压缸(3)的输出端活动连接有气压杆(4),所述气压杆(4)的一端固定连接有支撑座(5),所述支撑座(5)的一侧开设有凹槽(6),所述凹槽(6)的内壁开设有滑槽(7),所述滑槽(7)的内壁活动连接有滑块(8),所述滑块(8)的外壁固定连接有盒体(9),所述盒体(9)的内壁活动连接有电机(10),所述电机(10)的输出轴通过联轴器活动连接有风扇(11),所述支撑座(5)的顶部开设有卡槽(13);/n所述卡槽(13)的内壁活动连接 ...
【技术特征摘要】
1.一种LED生产用光刻装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的底部活动连接有万向轮(2),所述底座(1)的顶部活动连接有气压缸(3),所述气压缸(3)的输出端活动连接有气压杆(4),所述气压杆(4)的一端固定连接有支撑座(5),所述支撑座(5)的一侧开设有凹槽(6),所述凹槽(6)的内壁开设有滑槽(7),所述滑槽(7)的内壁活动连接有滑块(8),所述滑块(8)的外壁固定连接有盒体(9),所述盒体(9)的内壁活动连接有电机(10),所述电机(10)的输出轴通过联轴器活动连接有风扇(11),所述支撑座(5)的顶部开设有卡槽(13);
所述卡槽(13)的内壁活动连接有卡块(14),所述卡块(14)的外壁固定连接有盖体(15),所述支撑座(5)的顶部活动连接有光刻装置本体(16),所述盖体(15)的一侧开设有活动槽(17),所述活动槽(17)的内壁固定连接有固定块(18),所述固定块(18)的外壁活动连接有弹簧(19),所述弹簧(19)的一端活动连接有固定柱(20),所述固定柱(20)的一端固定连接有支撑环(21),所述支撑环(21)的内壁活动连接有支撑杆(22),所述支撑杆(22)的一端活动连接有活动块(23),所述支撑杆(22)的外壁活动连接有活动环(24),所述活动环(24)的外壁活动连接有防护帘(25),所述防护帘(25)的一侧活动连接有避光层(26),所述防护帘(25)的另一侧活动连接有固定珠(27)。
2.根据权利要求1所述的一种LED生产用光刻装置,其特征在于:所述支撑座(5)为凹形支撑座,且支撑...
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