一种退火炉自动清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及退火炉技术领域，且公开了一种退火炉自动清洁装置，包括安装台、皮带传送机构、链条传动机构、拨杆、固定座、轴承座、转杆、固定辊、清理刷、拉杆、活动槽、限位滑槽、滑块、增阻圈和复位弹簧，所述安装台的正面底侧装设有皮带传送机构，所述安装台的正面装设有位于皮带传送机构上方的链条传动机构，所述安装台的上方装设有与链条传动机构相接触的拨杆，所述安装台的正面固定连接有位于皮带传送机构与链条传动机构之间的固定座，所述固定座的顶部固定连接有轴承座，所述轴承座的内部活动连接有转杆。该退火炉自动清洁装置，实现了方便拆装的目的，效率更高，避免维护工作耽误清洁工作。

【技术实现步骤摘要】
一种退火炉自动清洁装置
本技术涉及退火炉
，具体为一种退火炉自动清洁装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。现有的退火炉自动清洁装置方便了对退火炉进行自动化的清理作业，但是在实际的使用过程中现有的退火炉自动清洁装置不方便拆装，清理部件需要维护更换的时候，拆装较为困难，使得维护工作难以快速进行，效率被拉低，耽误清洁装置正常的清洁工作，故而提出一种退火炉自动清洁装置来解决上述所提出的问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种退火炉自动清洁装置，具备方便拆装的优点，解决了现有的退火炉自动清洁装置不方便拆装，清理部件需要维护更换的时候，拆装较为困难，使得维护工作难以快速进行，效率被拉低，耽误清洁装置正常的清洁工作的问题。(二)技术方案为实现上述方便拆装的目的，本技术提供如下技术方案：一种退火炉自动清洁装置，包括安装台、皮带传送机构、链条传动机构、拨杆、固定座、轴承座、转杆、固定辊、清理刷、拉杆、活动槽、限位滑槽、滑块、增阻圈和复位弹簧，所述安装台的正面底侧装设有皮带传送机构，所述安装台的正面装设有位于皮带传送机构上方的链条传动机构，所述安装台的上方装设有与链条传动机构相接触的拨杆，所述安装台的正面固定连接有位于皮带传送机构与链条传动机构之间的固定座，所述固定座的顶部固定连接有轴承座，所述轴承座的内部活动连接有转杆，所述转杆的外部套设有增阻圈，所述增阻圈的外部固定连接有固定辊，所述固定辊的外部固定连接有清理刷，所述转杆的外部固定连接有延伸至固定辊外部的拉杆，所述固定辊的内部开设有活动槽，所述固定辊的内部开设有与活动槽相连通的限位滑槽，所述转杆的外部固定连接有与限位滑槽相接触的滑块，所述转杆与活动槽的内壁之间固定连接有复位弹簧。优选的，所述固定辊的外表面镀有锌层，且锌层的厚度大于一毫米。优选的，所述活动槽和限位滑槽的内部均铺设有耐磨层，且耐磨层的厚度大于一毫米。优选的，所述转杆的长度大于十厘米，所述转杆的直径大于两厘米，所述复位弹簧静态长度大于转杆的长度。优选的，所述增阻圈为橡胶制成，所述增阻圈与固定辊之间为粘接式固定。优选的，所述滑块与转杆之间为一体化结构，所述拉杆与转杆之间为焊接式固定。(三)有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种退火炉自动清洁装置，具备以下有益效果：该退火炉自动清洁装置，需要维护更换的时候，通过拉动拉杆，使得转杆移动，且转杆外部的滑块顺着限位滑槽移动，其中复位弹簧被压缩，在转杆脱离轴承座之后，即可轻松将固定辊和清理刷取下，进行单独的维护和更换，实现了方便拆装的目的，效率更高，避免维护工作耽误清洁工作。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的局部结构剖视图。图中：1安装台、2皮带传送机构、3链条传动机构、4拨杆、5固定座、6轴承座、7转杆、8固定辊、9清理刷、10拉杆、11活动槽、12限位滑槽、13滑块、14增阻圈、15复位弹簧。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，一种退火炉自动清洁装置，包括安装台1、皮带传送机构2、链条传动机构3、拨杆4、固定座5、轴承座6、转杆7、固定辊8、清理刷9、拉杆10、活动槽11、限位滑槽12、滑块13、增阻圈14和复位弹簧15，安装台1的正面底侧装设有皮带传送机构2，安装台1的正面装设有位于皮带传送机构2上方的链条传动机构3，安装台1的上方装设有与链条传动机构3相接触的拨杆4，安装台1的正面固定连接有位于皮带传送机构2与链条传动机构3之间的固定座5，固定座5的顶部固定连接有轴承座6，轴承座6的内部活动连接有转杆7，转杆7的外部套设有增阻圈14，增阻圈14为橡胶制成，增阻圈14与固定辊8之间为粘接式固定，增阻圈14的外部固定连接有固定辊8，固定辊8的外表面镀有锌层，且锌层的厚度大于一毫米，固定辊8的外部固定连接有清理刷9，转杆7的外部固定连接有延伸至固定辊8外部的拉杆10，固定辊8的内部开设有活动槽11，固定辊8的内部开设有与活动槽11相连通的限位滑槽12，活动槽11和限位滑槽12的内部均铺设有耐磨层，且耐磨层的厚度大于一毫米，转杆7的外部固定连接有与限位滑槽12相接触的滑块13，滑块13与转杆7之间为一体化结构，拉杆10与转杆7之间为焊接式固定，转杆7与活动槽11的内壁之间固定连接有复位弹簧15，转杆7的长度大于十厘米，转杆7的直径大于两厘米，复位弹簧15静态长度大于转杆7的长度，需要维护更换的时候，通过拉动拉杆10，使得转杆7移动，且转杆7外部的滑块13顺着限位滑槽12移动，其中复位弹簧15被压缩，在转杆7脱离轴承座6之后，即可轻松将固定辊8和清理刷9取下，进行单独的维护和更换，实现了方便拆装的目的，效率更高，避免维护工作耽误清洁工作。综上所述，该退火炉自动清洁装置，需要维护更换的时候，通过拉动拉杆10，使得转杆7移动，且转杆7外部的滑块13顺着限位滑槽12移动，其中复位弹簧15被压缩，在转杆7脱离轴承座6之后，即可轻松将固定辊8和清理刷9取下，进行单独的维护和更换，实现了方便拆装的目的，效率更高，避免维护工作耽误清洁工作。需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种退火炉自动清洁装置，包括安装台(1)、皮带传送机构(2)、链条传动机构(3)、拨杆(4)、固定座(5)、轴承座(6)、转杆(7)、固定辊(8)、清理刷(9)、拉杆(10)、活动槽(11)、限位滑槽(12)、滑块(13)、增阻圈(14)和复位弹簧(15)，其特征在于：所述安装台(1)的正面底侧装设有皮带传送机构(2)，所述安装台(1)的正面装设有位于皮带传送机构(2)上方的链条传动机构(3)，所述安装台(1)的上方装设有与链条传动机构(3)相接触的拨杆(4)，所述安装台(1)的正面固定连接有位于皮带传送机构(2)与链条传动机构(3)之间的固定座(5)，所述固定座(5)的顶部固定连接有轴承座(6)，所述轴承座(6)的内部活动连接有转杆(7)，所述转杆(7)的外部套设有增阻圈(14)，所述增阻圈(14)的外部固定连接有固定辊(8)，所述固定辊(8)的外部固定连接有清理刷(9)，所述转杆(7)的外部固定连接有延伸至固定辊(8)外部的拉杆(10)，所述固定辊(8)的内部开设有活动槽(11)，所述固定辊(8)的内部开设有与活动槽(11)相连通的限位滑槽(12)，所述转杆(7)的外部固定连接有与限位滑槽(12)相接触的滑块(13)，所述转杆(7)与活动槽(11)的内壁之间固定连接有复位弹簧(15)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种退火炉自动清洁装置，包括安装台(1)、皮带传送机构(2)、链条传动机构(3)、拨杆(4)、固定座(5)、轴承座(6)、转杆(7)、固定辊(8)、清理刷(9)、拉杆(10)、活动槽(11)、限位滑槽(12)、滑块(13)、增阻圈(14)和复位弹簧(15)，其特征在于：所述安装台(1)的正面底侧装设有皮带传送机构(2)，所述安装台(1)的正面装设有位于皮带传送机构(2)上方的链条传动机构(3)，所述安装台(1)的上方装设有与链条传动机构(3)相接触的拨杆(4)，所述安装台(1)的正面固定连接有位于皮带传送机构(2)与链条传动机构(3)之间的固定座(5)，所述固定座(5)的顶部固定连接有轴承座(6)，所述轴承座(6)的内部活动连接有转杆(7)，所述转杆(7)的外部套设有增阻圈(14)，所述增阻圈(14)的外部固定连接有固定辊(8)，所述固定辊(8)的外部固定连接有清理刷(9)，所述转杆(7)的外部固定连接有延伸至固定辊(8)外部的拉杆(10)，所述固定辊(8)的内部开设有活动槽(11)，所述固定辊(8)的内部开设有与活动槽(11)相连通的限位滑槽(12)，所述转...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵建军，荆志忠，
申请(专利权)人：兆丰丹阳新型药用包材有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32