【技术实现步骤摘要】
一种旋转式桶底喷流搅拌器
本技术涉及搅拌器
,尤其涉及一种旋转式桶底喷流搅拌器。
技术介绍
微电子行业带微米及奈米级的颗粒(abrasives)的化学品(研磨液,喷砂液,切割液,抛光液等等)-以上简称研磨液(Slurry),为免研磨液中颗粒的固体重力沉淀及范德瓦力(VanDerWalForce)的聚集形成牢固不可分的巨型颗粒,此类巨型颗粒为原始设计颗粒径数倍到数百倍的尺寸,此巨型颗粒一旦供应到使用端,轻则造成研磨不稳定性的主要来源之一,即研磨率(removalrate)及不平均度(non-uniformity)的漂动。重则造成研磨/抛光(lapping,polishing)的刮痕,缺失,及破坏电路中细微的薄膜层,使得良率下降。传统的机械搅拌器,问题是使用大型各类形式的搅拌液,及高转速的配合,在桶槽内还是会有局部的地区,尤其在桶底部分会有沉积的可能性,这种机械型搅拌器除了高能耗,且无法长期运行不维修及不损耗,金属搅拌液会有金属离子的析出,是金属离子污染的源头。即使是覆盖一层特氟龙的材质,也会与研磨液内部的颗粒长期 ...
【技术保护点】
1.一种旋转式桶底喷流搅拌器,其特征在于:包括圆柱形桶体(1),所述桶体(1)的上端螺纹连接有法兰盘(2),桶体(1)的下端呈倒锥形漏斗状,并且所述桶体(1)的下端在水平方向上设有回流接头(3),与所述回流接头(3)一体在竖直方向上设有流体出口(4),与所述流体出口(4)一体成型有连接本体(5),所述连接本体(5)为上下贯通的内空结构,连接本体(5)在水平方向开设有连接回流接头的通道,所述连接本体内在与所述回流接头(3)通道相邻的竖直方向开设有第二螺纹连接孔(42),所述第二螺纹连接孔(42)螺纹连接有转接头(6),所述转接头(6)的上端与所述桶体(1)的底端固定连接,所述 ...
【技术特征摘要】
1.一种旋转式桶底喷流搅拌器,其特征在于:包括圆柱形桶体(1),所述桶体(1)的上端螺纹连接有法兰盘(2),桶体(1)的下端呈倒锥形漏斗状,并且所述桶体(1)的下端在水平方向上设有回流接头(3),与所述回流接头(3)一体在竖直方向上设有流体出口(4),与所述流体出口(4)一体成型有连接本体(5),所述连接本体(5)为上下贯通的内空结构,连接本体(5)在水平方向开设有连接回流接头的通道,所述连接本体内在与所述回流接头(3)通道相邻的竖直方向开设有第二螺纹连接孔(42),所述第二螺纹连接孔(42)螺纹连接有转接头(6),所述转接头(6)的上端与所述桶体(1)的底端固定连接,所述转接头(6)为内空结构,所述转接头(6)的下端设有第二螺纹连接柱(63),所述第二螺纹连接柱(63)的上方一体成型有抵接环,所述抵接环与所述转接头(6)的外壁形成环形凹槽(64),所述环形凹槽(64)与所述转接头(6)的侧壁贯通开设有若干回流通孔(61),所述转接头(6)的上端套设有旋转搅拌头(7),所述旋转搅拌头(7)凸出在所述桶体(1)内,所述旋转搅拌头(7)的上端卡设有流体入口接头(8)。
2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑圣弘,王其任,施文俊,
申请(专利权)人:深圳融科科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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