干涉仪连续变焦成像装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术是一种干涉仪连续变焦成像装置，包括参考平面及测试平面的二反射光互相干涉产生干涉图形；一准直装置将该干涉图形的平行光转换为收敛光，并经光学路径调整功能装置导引至一偏振分光棱镜组，进而引导至一连续变焦装置，其是用以调整该干涉条纹的收敛光的放大倍率并输出一物影像，再将该物影像成像于电荷耦合器件上。本实用新型专利技术是可改善干涉条纹品质，且无使用旋转扩散器，故具有减少组件、降低成本缩小体积的特性；另外，本实用新型专利技术亦利用连动装置连接连续变焦装置与衰减片，以达到自动调光与操作便利的特性。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种干涉仪连续变焦成像装置，特别是关于一种可广泛应用于干涉仪仪器装置、利用干涉原理所产生的相关量测仪器装置、相关干涉条纹成像装置以及一般成像装置等的连续变焦成像装置。干涉系统有许多种，但其原理都极为相似，以工业界普遍采用的斐佐式(Fizau)干涉仪为例。如附图说明图1所示，一个干涉仪可分为两大部份，一是投光系统，一是干涉条纹成像系统，如美国专利US4,201,473。投光系统是由一激光器10、空间滤波器(spatialfilter)12、分光棱镜(splitter)14、准直镜(collimator)16、参考平面(reference plane)18及测试平面(test plane)20所组成。而干涉条纹成像系统是测试平面20的反射光与参考平面18的反射光互相干涉产生干涉图形后经准直镜16至分光棱镜14垂直反射后，再由旋转扩散器(rotating diffuser)22、调焦镜片(zoomlens)24及衰减片(attenuator)26后，最后传送至TV摄影机28而读取到干涉条纹。因此，干涉条纹品质的优劣是取决于成像系统。传统干涉仪成像系统是把干涉条纹影像成像于旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干涉仪连续变焦成像装置，其特征在于包括： 二平面，其反射光互相干涉产生干涉图形； 一准直装置，将该干涉图形的平行光转换为收敛光； 一偏振分光棱镜组，包含一１／４波片，并将该干涉图形引导至成像信道上； 光学路径调整功能装置导引该平行光从该准直装置至该偏振分光棱镜组； 一连续变焦装置，用以调整该成像信道上的该干涉图形的放大倍率并输出一物影像；以及 一电荷耦合器件，用以将该物影像成像于其上并转换成电子讯号。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳盟，薛新国，曾新淼，郭世炫，刘信烓，简义本，钟锦铭，
申请(专利权)人：光群雷射科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]