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干涉仪连续变焦成像装置制造方法及图纸
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文档序号:2685809
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本实用新型是一种干涉仪连续变焦成像装置,包括参考平面及测试平面的二反射光互相干涉产生干涉图形;一准直装置将该干涉图形的平行光转换为收敛光,并经光学路径调整功能装置导引至一偏振分光棱镜组,进而引导至一连续变焦装置,其是用以调整该干涉条纹的收敛...
该专利属于光群雷射科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光群雷射科技股份有限公司授权不得商用。
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