有像差校正的1:1折反射式光学系统技术方案

本发明专利技术是一种有像差较正的１∶１折反射式光学系统，主要用于精细或超精细图形的照相复制。它包括球面反射镜，由两透镜组成的，弯月透镜组、平凸透镜，置于弯月透镜组两透镜之间的像差校正板，其校正板是空气隙或者是平行平板，在平凸透镜前有物像分离的三角棱镜组，三角棱镜组是由一块等边三角棱镜或是双三角棱镜组成。具有省料，视场利用率高等优点。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于具有或无折反射元件的反射面光学系统，主要用于精细或超精细图形的照相复制。中国科学院上海光学精密机械研究所专利技术人张雨东在专利技术专利“1∶1折反射式光学系统”(专利号89103586.9)中，设计了一种1∶1折反射式光学系统，如附图说明图1所示，包括棱镜3，8、透镜4，5、校正板6、球面反射镜7，该光学系统中除校正板6外，3个球面几乎同心，透镜5所用的材料高于透镜4所用材料的折射率。光学系统的球差和色差由校正板6校正，校正板6位于透镜5和反射镜7之间，系统的象散由透镜4，5和反射镜7校正。这种光学系统虽然具有一定的优点，它最大数值孔径可达0.45;视场直径是58mm;工作带宽约38nm;但用在短于365nm的波段时，目前弯月透镜5只能用熔石英制造，这种高精度的物镜对所用材料的均匀性要求极高，同时弯月透镜5又是大口径，大厚度的弯月形透镜，制造它所需的大孔径，大厚度，高均匀性的熔石英是很昂贵的。美国的赫希尔(R.S.Hershel)在“Opticsinthemodel900projectionstepper”(发表在SPIE，VOL.221，P339)使用的1∶1W本文档来自技高网...

【技术保护点】
本专利技术是一种有像差较正的１：１折反射式光学系统，主要用于精细或超精细图形的照相复制。它包括球面反射镜，由两透镜组成的，弯月透镜组、平凸透镜，置于弯月透镜组两透镜之间的像差校正板，其校正板是空气隙或者是平行平板，在平凸透镜前有物像分离的三角棱镜组，三角棱镜组是由一块等边三角棱镜或是双三角棱镜组成。具有省料，视场利用率高等优点。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王之江，张雨东，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]