平行平板分光的1:1折反射式光学系统技术方案

本发明专利技术是一种平行平板分光的１∶１折反射式光学系统，含有两大部分－照明部分和成像部分。成像部分含有两组结构完全相同的折射镜组，用以分光的厚度相同的两平行平板，两平行平板中间夹有半透半反射面和中心带有中心孔的主反射镜。照明部分含有均匀照明器、分前后两组聚光镜，中心遮栏的孔径光阑或视场光阑和掩模板。本发明专利技术主要用于精密图形照相复制，特别是用于投影光刻机上。具有数值孔径大、分辨率高、能够充分利用系统的视场的优点。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提供了一种平行平板分光的1∶1折反射式光学系统，主要用于精细图形的照相复制，特别是用于大规模集成电路芯片的投影式光刻机上。赫希尔(Ronald.S.Hershel)的美国专利4，391，494介绍了一种1×投影光学系统，如图1所示。该系统由反射镜1、厚透镜2、平凸透镜8、棱镜5和6、掩模板3和硅片4构成，其中掩模板3和硅片4对称位于光轴7的两侧;系统中所有球面几乎同心，整个光学系统为全对称结构，自动消除三级彗差、畸变和垂轴色差。从掩模板3发出的光线经棱镜5内反射时，入射角大于临界角的光线被全反射，入射角小于临界角的光线不能被全反射，只能部分反射，而且反射产生的位相差异为入射角的函数，透射出去的光形成杂光。严重的渐晕降低了该系统的视场利用率，限制了该系统的数值孔径。这种结构所获得的视场仅为该系统可用总视场的25%-35%，当系统的数值孔径较小时，渐晕小，视场利用率高，如图2A所示，视场的中间位置9没有被利用，仅用到了边缘部分10或11;当系统的数值孔径较大时，渐晕大，视场利用率低，如图2B所示，视场的中间位置12没有被利用，仅用到了边缘部分13或14。总之，这种光学系统本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平行平板分光的１∶１折反射式光学系统，含有两大部分－照明部分和成象部分，其特征在于成象部分含有两组结构完全相同的由弯月透镜（２６）和半球透镜（２７）构成的折射镜组（２０）和（２１），用以分光的两块厚度相等的平行平板（２２）和（２３），并两平行平板中间夹有半透半反射面（２４）和中心带有中心孔的主反射镜（２５）；照明部分是采用环形斜光束照明结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：鄢雨，邹海兴，王之江，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]