一种电加热水洗式废气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种电加热水洗式废气处理装置，包括第一进气口、电加热装置、粉尘过滤装置、智能冷却水洗系统和出气口，所述第一进气口设置在电加热装置上，电加热装置设置在粉尘过滤装置上，粉尘过滤装置设置在智能冷却水洗系统的水箱上部，出气口设置在智能冷却水洗系统的上部；还包括设置在第一进气口上部三通上的燃烧腔结垢去除装置，燃烧腔结垢去除装置设置有不锈钢毛刷，能够抵达电加热装置燃烧腔体内并刷除燃烧腔体内壁上的粉尘。本发明专利技术能够自动定时清洗燃烧腔体内壁上粘附的硅烷粉尘；减少新鲜水的用水量，降低运行成本；采用4位浮子控制水箱内低水位、高水位、超高水位，提升设备使用时的安全性能；采用四级喷淋系统，提升废气处理效率。

【技术实现步骤摘要】
一种电加热水洗式废气处理装置
本专利技术属于半导体、太阳能、薄膜电池、TFT等
内的废气处理领域，具体涉及一种电加热水洗式废气处理装置。
技术介绍
工艺废气处理设备既属于环保行业，又属于半导体等新兴行业专用高端智能附属设备。在集成电路的生产制造过程中，其中的一些工艺流程模块(Module)如：化学气相沉淀(CVD)、刻蚀(Etch)、离子注入(Implant)和扩散(Diffusion),以及非晶硅薄膜太阳能、液晶TFT-LCD薄膜的PECVD工艺等都会用到大量的特殊气体。这些气体参与工艺反应之后，以废气的形式被排放，其种类可分为：有毒(Toxic)、酸性(Acid)、碱性(Alkali)、自燃(Self-ignitable)、易燃(Flammable)、腐蚀性(Caustic/Corrosive)以及全氟化合物(PFCs)与挥发性有机化合物(VOC)类气体等，这些原来作为工艺原料或者反应副产物的有毒有害气体，其中一些有腐蚀各类管线的危险，有的与其他危害物相遇或累积较高浓度时会有火灾爆炸的危险，还有造成作业人员中毒、破坏大气环境等危害，为避免这些危害的发生，这些气体都必须经过无害化处理，使之符合国家大气排放标准后，方可排入大气中。这些领域的生产制造工艺中会使用到多种特殊气体、这些气体往往有剧毒、易燃、易爆等特点。未反应完的特气集中通入排气管道，在管道的后端需接入工艺气体处理设备进行处理后低于国家排放标准才能进行排放。现有技术已经存在半导体废气的处理设备，例如CN204034529U，该现有技术主要用于防止排水时发生水锤效应而使排水管路损坏，能够处理半导体产品生产时产生的废气。但该现有技术还存在不少的缺点，例如：1、使用过程中新鲜水一直排入、废水一直排出，用水量大；2、刮刀分为内外刮刀，通过旋转方式刮除内壁结晶，刮刀容易卡住，不易维护；3、采用了双洗涤器，成本高，设备外形尺寸大；4、第二洗涤器通过导入外界空气混合而减低气体处理后的浓度，很难判断设备对有害气体的处理效率；5、结晶通过刮刀刮除后掉入水箱容易沉积结垢，无法有效排出；6、高温气体通过热裂解后进入第二洗涤器的过程中会导致水箱及流经的管路温度偏高；7、当高水位处液位计失灵或损坏时，液位不可控。基于此，特提出本专利技术。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的上述问题，本专利技术提供一种电加热水洗式废气处理装置，具体的技术方案如下：一种电加热水洗式废气处理装置，包括第一进气口、电加热装置、粉尘过滤装置、智能冷却水洗系统和出气口，所述第一进气口设置在电加热装置上，电加热装置设置在粉尘过滤装置上，粉尘过滤装置设置在智能冷却水洗系统的水箱上部，出气口设置在智能冷却水洗系统的上部；还包括设置在第一进气口上部三通上的燃烧腔结垢去除装置，所述燃烧腔结垢去除装置设置有不锈钢毛刷，能够抵达电加热装置燃烧腔体内并刷除燃烧腔体内壁上的粉尘。进一步地，所述燃烧腔结垢去除装置包括动力驱动组件、法兰和不锈钢毛刷，动力驱动组件与法兰固定连接，动力驱动组件的伸缩杆端头设置不锈钢毛刷，所述不锈钢毛刷能在伸缩杆的带动下接近或者远离所述法兰。可选地，所述动力驱动组件为气缸组件，包括长行程气缸主体、第一气管快换接头、第二气管快换接头和伸缩杆，第一气管快换接头和第二气管快换接头分别设置在长行程气缸主体的两端附近，用于驱动伸缩杆往复直线运动。进一步地，所述法兰为NW160标准安装法兰。进一步地，所述第一进气口为多功能进气口，包括CF法兰、新鲜水接口、NW法兰、进气口压力监测接口和进气管，所述CF法兰设置在进气管的中下部，所述NW法兰设置在进气管的顶端，所述新鲜水接口和进气口压力监测接口分开设置在两个法兰之间的进气管管壁上。进一步地，所述第一进气口与电加热装置通过法兰连接，所述进气管伸至电加热装置的燃烧腔体内，进气管外壁与燃烧腔体内壁间形成一环形空间，燃烧腔体内壁上设置有第二进气口，该第二进气口与所述环形空间相通。进一步地，所述电加热装置包括加热部分和保温部分，加热部分包括燃烧腔体和两个陶瓷加热器，两个陶瓷加热器都为半圆筒结构，两个陶瓷加热器合拢并包覆住燃烧腔体；保温部分包括铝罩、铝罩内表面安装的陶瓷纤维棉和耐高温硅胶片，所述铝罩包覆在两个陶瓷加热器外面，所述耐高温硅胶片包覆在铝罩外面。进一步地，两个陶瓷加热器与铝罩之间填充有陶瓷纤维棉。可选地，所述燃烧腔体的材料为镍基合金。进一步地，所述粉尘过滤装置包括涡流装置、粉尘托盘和过滤板，所述涡流装置设置在智能冷却水洗系统的水箱上，所述粉尘托盘通过挂钩悬挂在涡流装置下部；所述过滤板设置在水箱内部，将水箱内部分隔成两个区域。进一步地，所述智能冷却水洗系统包括水箱、多级喷淋系统、温度监测装置和水位控制装置，所述多级喷淋系统分别设置在粉尘过滤装置内、水箱内和出气口前，温度监测装置用于检测水箱内气体的温度，水位控制装置设置在水箱排气口附近，用于监控水箱内的水位。进一步地，所述多级喷淋系统包括第一级喷淋系统、第二级喷淋系统、第三级喷淋系统和第四级喷淋系统；所述第一级喷淋系统由涡流装置上的第一喷头构成，由外接的新鲜水提供系统供水；所述第二级喷淋系统包括水泵和第二喷头，由水泵从水箱里经过过滤后的循环水中取水提供给第二喷头，第二喷头设置在水箱的上部；所述第三级喷淋系统和第四级喷淋系统的喷头整合在水洗塔装置内，水洗塔装置设置有两层空间，下层空间容纳第三级喷淋系统的第三喷头，上层空间容纳第四级喷淋系统的第四喷头，两层空间内都填充有喷淋填充料；所述第三喷头接水泵提供的循环水，所述第四喷头由外接的新鲜水提供系统供水。进一步地，所述智能冷却水洗系统还包括水箱内搅拌系统，在水箱的底部设置通气管道，通气管道的管壁有通孔。进一步地，所述温度监测装置包括设置在水箱进气口附近的第一热电偶，以及设置在水箱出气口附近的第二热电偶，所述第一热电偶和第二热电偶都与PLC相连。进一步地，所述水位控制装置为四位浮子水位控制装置。进一步地，在所述出气口内设置有除雾器。进一步地，电加热水洗式废气处理装置还包括压力监控安全系统，其包括与PLC相连的自动泄压装置、自动报警装置和若干压力计，压力计包括监控第一进气口压力的第一压力计、监控水箱内压力的第二压力计、监控出气口压力的第三压力计，所述自动泄压装置为连接排放管道的旁路管道，该旁路管道中间设置有泄压气动阀，所述泄压气动阀由PLC控制。本专利技术相对于现有技术的有益效果：1、燃烧腔结垢去除装置采用不锈钢毛刷，能够上下自动定时清洗燃烧腔体内壁上粘附的硅烷粉尘，可以防止堵塞燃烧腔体内壁。2、新鲜水/循环水通过水位和时间控制，利用水泵提供动力，减少新鲜水的用水量，降低运行成本；3、采用4位浮子，控制水箱内低水位、高水位、超高水位，确保水箱内水位正常，提升设备使用时的安全性能。4、涡流装置形成的水墙及水幕将燃烧反应后的气体由800℃降低到40℃左右，防止高温对其他零件的不良影响。5、粉尘托本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电加热水洗式废气处理装置，包括第一进气口(100)、电加热装置(200)、粉尘过滤装置(300)、智能冷却水洗系统(400)和出气口(500)，所述第一进气口(100)设置在电加热装置(200)上，电加热装置(200)设置在粉尘过滤装置(300)上，粉尘过滤装置(300)设置在智能冷却水洗系统(400)的水箱(410)上部，出气口(500)设置在智能冷却水洗系统(400)的上部；其特征在于，还包括设置在第一进气口(100)上部三通(160)上的燃烧腔结垢去除装置(600)，所述燃烧腔结垢去除装置(600)设置有不锈钢毛刷(660)，能够抵达电加热装置(200)燃烧腔体(210)内并刷除燃烧腔体(210)内壁上的粉尘。/n

【技术特征摘要】
1.一种电加热水洗式废气处理装置，包括第一进气口(100)、电加热装置(200)、粉尘过滤装置(300)、智能冷却水洗系统(400)和出气口(500)，所述第一进气口(100)设置在电加热装置(200)上，电加热装置(200)设置在粉尘过滤装置(300)上，粉尘过滤装置(300)设置在智能冷却水洗系统(400)的水箱(410)上部，出气口(500)设置在智能冷却水洗系统(400)的上部；其特征在于，还包括设置在第一进气口(100)上部三通(160)上的燃烧腔结垢去除装置(600)，所述燃烧腔结垢去除装置(600)设置有不锈钢毛刷(660)，能够抵达电加热装置(200)燃烧腔体(210)内并刷除燃烧腔体(210)内壁上的粉尘。


2.如权利要求1所述的电加热水洗式废气处理装置，其特征在于，所述燃烧腔结垢去除装置(600)包括动力驱动组件、法兰(640)和不锈钢毛刷(660)，动力驱动组件与法兰(640)固定连接，动力驱动组件的伸缩杆(650)端头设置不锈钢毛刷(660)，所述不锈钢毛刷(660)能在伸缩杆(650)的带动下接近或者远离所述法兰(640)。


3.如权利要求2所述的电加热水洗式废气处理装置，其特征在于，所述动力驱动组件为气缸组件，包括长行程气缸主体(610)、第一气管快换接头(620)、第二气管快换接头(630)和伸缩杆(650)，第一气管快换接头(620)和第二气管快换接头(630)分别设置在长行程气缸主体(610)的两端附近，用于驱动伸缩杆(650)往复直线运动。


4.如权利要求2所述的电加热水洗式废气处理装置，其特征在于，所述法兰(640)为NW160标准安装法兰。


5.如权利要求1所述的电加热水洗式废气处理装置，其特征在于，所述第一进气口(100)为多功能进气口，包括CF法兰(110)、新鲜水接口(120)、NW法兰(130)、进气口压力监测接口(140)和进气管(150)，所述CF法兰(110)设置在进气管(150)的中下部，所述NW法兰(130)设置在进气管(150)的顶端，所述新鲜水接口(120)和进气口压力监测接口(140)分开设置在两个法兰之间的进气管(150)管壁上。


6.如权利要求5所述的电加热水洗式废气处理装置，其特征在于，所述第一进气口(100)与电加热装置(200)通过法兰连接，所述进气管(150)伸至电加热装置(200)的燃烧腔体(210)内，进气管(150)外壁与燃烧腔体(210)内壁间形成一环形空间(A)，燃烧腔体(210)内壁上设置有第二进气口(211)，该第二进气口(211)与所述环形空间(A)相通。


7.如权利要求1所述的电加热水洗式废气处理装置，其特征在于，所述电加热装置(200)包括加热部分和保温部分，加热部分包括燃烧腔体(210)和两个陶瓷加热器(220,230)，两个陶瓷加热器(220,230)都为半圆筒结构，两个陶瓷加热器(220,230)合拢并包覆住燃烧腔体(210)；保温部分包括铝罩(240,250)、铝罩内表面安装的陶瓷纤维棉和耐高温硅胶片(260,270)，所述铝罩(240,250)包覆在两个陶瓷加热器(220,230)外面，所述耐高温硅胶片(260,270)包覆在铝罩(240,250)外面。


8.如权利要求7所述的电加热水洗式废气处理装置，其特征在于，两个陶瓷加热器(220,230)与铝罩(240,250)之间填充有陶瓷纤维棉。


9.如权利要求7所述的电加热水洗式废气处理装置，其特征在于，所述燃烧...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭海蓉，胡建亮，唐雄，季永坚，周和武，钟建，黄高明，顾一峰，陈昕红，
申请(专利权)人：武汉更日敦科技有限公司，江西诺发科技有限公司，上海更日敦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42