一种泄压安全装置及干式废气处理设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种泄压安全装置，包括进气管路(10)、出气管路(20)、第一气动阀(30)、第二气动阀(40)和压力传感器(50)，第一气动阀(30)连接在进气管路(10)和出气管路(20)的上部，第二气动阀(40)连接在进气管路(10)和出气管路(20)的下部，压力传感器(50)设置在进气管路(10)上。本发明专利技术还提供了一种使用这种泄压安全装置的干式废气处理设备。本发明专利技术能够提升设备安全性，提升良品率，降低损耗。

【技术实现步骤摘要】
一种泄压安全装置及干式废气处理设备
本专利技术属于半导体、太阳能、薄膜电池、TFT等
内的废气处理领域，尤其涉及一种泄压安全装置及干式废气处理设备。
技术介绍
工艺废气处理设备即属于环保行业，又属于半导体等新兴行业专用高端智能附属设备。在集成电路的生产制造过程中，其中的一些工艺流程模块(Module)如：化学气相沉淀(CVD)、刻蚀(Etch)、离子注入(Implant)和扩散(Diffusion),以及非晶硅薄膜太阳能、液晶TFT-LCD薄膜的PECVD工艺等都会用到大量的特殊气体。这些气体参与工艺反应之后，以废气的形式被排放，其种类可分为：有毒(Toxic)、酸性(Acid)、碱性(Alkali)、自燃(Self-ignitable)、易燃(Flammable)、腐蚀性(Caustic/Corrosive)以及全氟化合物(PFCs)与挥发性有机化合物(VOC)类气体等。干式废气处理设备中目前市场上处理金属蚀刻和氢化物科技含量最高的是干式洗涤塔，主要用于分解半导体制造过程中产生的有毒气体(砷烷、磷烷、硒化氢、硫化氢等).干式废气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种泄压安全装置，其特征在于，包括进气管路(10)、出气管路(20)、第一气动阀(30)、第二气动阀(40)和压力传感器(50)，所述第一气动阀(30)连接在所述进气管路(10)和出气管路(20)的上部，所述第二气动阀(40)连接在所述进气管路(10)和出气管路(20)的下部，所述压力传感器(50)设置在所述进气管路(10)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种泄压安全装置，其特征在于，包括进气管路(10)、出气管路(20)、第一气动阀(30)、第二气动阀(40)和压力传感器(50)，所述第一气动阀(30)连接在所述进气管路(10)和出气管路(20)的上部，所述第二气动阀(40)连接在所述进气管路(10)和出气管路(20)的下部，所述压力传感器(50)设置在所述进气管路(10)上。


2.如权利要求1所述的泄压安全装置，其特征在于，所述进气管路(10)包括第一进气三通(11)、第一变径接头(12)和第二进气三通(13)，所述第一变径接头(12)的大径端连接所述第一进气三通(11)，所述第一变径接头(12)的小径端连接所述第二进气三通(13)。


3.如权利要求2所述的泄压安全装置，其特征在于，所述第一变径接头(12)的小径端通过一段弧形管与所述第二进气三通(13)相连。


4.如权利要求1所述的泄压安全装置，其特征在于，所述出气管路(20)包括第一出气三通(21)、第二变径接头(22)和第二出气三通(23)，所述第二变径接头(22)的大径端连接所述第一出气三...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭海蓉，胡建亮，唐雄，季永坚，周和武，钟建，黄高明，顾一峰，陈昕红，
申请(专利权)人：武汉更日敦科技有限公司，江西诺发科技有限公司，上海更日敦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42