一种便于取液的光刻胶瓶制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于取液的光刻胶瓶，包括外瓶和设置于外瓶内部的内囊，所述外瓶内侧底端对称设置有若干组支撑部，所述支撑部包括弹簧和与弹簧连接的卡爪，所述内囊为圆锥体结构，所述卡爪卡设于内囊外围，所述外瓶上端设置有伸入内囊的吸管。本实用新型专利技术便于取液的光刻胶瓶将内囊设置为圆锥体结构，内囊底部通过支撑部支撑，通过吸管插入圆锥体底部，便于将内囊中的光刻胶全部析出，避免残留带来浪费，同时支撑部的设置提高了光刻胶瓶的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种便于取液的光刻胶瓶
本技术涉及半导体集成电路制造
，特别是涉及一种便于取液的光刻胶瓶。
技术介绍
在半导体集成电路制造领域，光刻处于硅片加工过程的中心，常被认为是IC制造中最关键的步骤，成本几乎占到整个硅片加工成本的三分之一。光刻技术需要用到光刻胶，光刻胶是一种有机化合物，它受紫外线曝光后，在显影溶液中的溶解度会发生变化，硅片制造中，光刻胶以液态涂在硅片表面，而后被干燥成胶膜。光刻胶一般被放在光刻胶容器中，光刻胶容器通常是一密闭的系统，它们是不透光的，并且直接固定在硅片轨道系统上，避免暴露在空气中。现有的光刻胶容器分为两类，一类是玻璃瓶，光刻胶直接装进玻璃瓶中，长软管插入瓶底，再通过高压气孔通入氮气，将光刻胶从长软管压出。此类光刻胶瓶在运输和使用过程中易碎，光刻胶流出后，特别是在工厂内会造成有毒物污染，并且报空更换后瓶底仍有20-40ml光刻胶无法使用，被浪费掉。第二类是NOWPAK瓶，包括瓶身和内胆，内胆是由平面的2层长方形口袋状PE膜加一个接口组成，装好光刻胶放入圆柱形的瓶身中，长硬管插入瓶底，再通过高压气孔通入氮气，将光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于取液的光刻胶瓶，其特征在于，包括外瓶(1)和设置于外瓶(1)内部的内囊(6)，所述外瓶(1)内侧底端对称设置有若干组支撑部(7)，所述支撑部(7)包括弹簧(8)和与弹簧(8)连接的卡爪(9)，所述内囊(6)为圆锥体结构，所述卡爪(9)卡设于内囊(6)外围，所述外瓶(1)上端设置有伸入内囊(6)的吸管(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种便于取液的光刻胶瓶，其特征在于，包括外瓶(1)和设置于外瓶(1)内部的内囊(6)，所述外瓶(1)内侧底端对称设置有若干组支撑部(7)，所述支撑部(7)包括弹簧(8)和与弹簧(8)连接的卡爪(9)，所述内囊(6)为圆锥体结构，所述卡爪(9)卡设于内囊(6)外围，所述外瓶(1)上端设置有伸入内囊(6)的吸管(10)。


2.如权利要求1所述的便于取液的光刻胶瓶，其特征在于，所述外瓶(1)上端还设置有伸入内囊(6)的进气口(11)。


3.如权利要求1所述的便于取液的光刻胶瓶，其特征在于，所述吸管(10)包括主导管装置(13)和护管装置(20)，所述主导管装置(13)自上至下一体设置有卡扣端(21)和导管端(23)，所述卡扣端(21)间隔设置有复数个第一凹槽(24)，所述导管端(23)的末端设置有倒锥形吸液口(25)，所述导管端(23)的上端设置有出液口(26)，所述护管装置(20)包括卡扣端护管(27)和导管端护管(28)，所述卡扣端护管(27)和导管端护管(28)螺纹连接，所述卡扣端护管(27)包括壳体(29)，位于壳体(29)一侧设置有容纳腔(30)，位于壳体(29)另一侧连接有中空的承载部(31)，所述容纳腔(30)套设于出液口(26)的外侧，所述承载部(31)与导管端护管(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿文练，
申请(专利权)人：儒芯微电子材料上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31