【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光开关列阵，特别是一种光波导集成光开关列阵。光开关列阵可以分为机械式光开关列阵和波导式光开关列阵。波导式光开关列阵根据其结构原理可分为干涉型和内全反射型两种。常见的波导式内全反射型光开关列阵是光遇到低折射率区即反射区产生全反射而发生偏转，实现从一个光波导向另一个光波导转移。目前，根据上述情况制成的光波导集成光开关列阵，是由2组相交的光波导及其交叉点处的可控反射区构成。这种光波导集成光开关列阵存在下述不足之处1．光开关单元分布不均匀，集中在晶片中央，其它大部分区域相对较空，不利于辅助结构的展开，不利于散热；2．2组光波导的交角较小，芯片成狭长状，制作不方便。本专利技术的目的是提供一种大交角的光开关单元分布均匀的集成光开关列阵。本专利技术的目的是通过下述措施实现的2组光波导间的交角为90±10度，每个光开关单元的输入光波导与输出光波导的夹角间都连接一段偏转光波导，在所述输入光波导与偏转光波导的相交处分别布置可控反射区，能使传输光射入上述偏转光波导内。所述2组光波导间的交角为90度。在每个输出光波导与偏转光波导的相交处分别布置可控反射区，能使反向...
【技术保护点】
一种光波导正交集成光开关阵列，包括２组相交的光波导［１、２］及其可控反射区［６］，其特征在于：所述２组光波导［１、２］间的交角为９０±１０度，每个光开关单元的输入光波导［５］与输出光波导［３］的夹角间都连接一段偏转光波导［４］，所述可控反射区［６］分别布置在能使传输光射入偏转光波导［４］的输入光波导［５］与偏转光波导［４］的相交处。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王明华，江晓清，尹锐，周强，李锡华，
申请(专利权)人：浙江大学半导体光电子技术与系统研究所，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]
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