热驱动微机械光纤开关及其制造方法技术

热驱动微机械光纤开关及其制造方法，是一种用于数字光纤通信网络中对光纤信号进行阻断和转换的装置，在固定光纤的硅板的表面上设有４条垂直的光纤。在槽中设有光纤，在固定光纤的硅板中央设有一凹坑，反射镜位于该凹坑中，其镜面两侧分别与４根光纤成４５度角，反射镜固定在悬臂梁的一端，悬臂梁的另一端连接在固定光纤的硅板上，压紧光纤的硅板为方框状压在固定光纤的硅板上，制造方法为：硅片背面进行深槽腐蚀；第二次进行硅片背面腐蚀使悬臂梁部分的硅膜减至２０～３０微米厚；生长绝缘膜及用于制造加热电阻的金属膜；刻蚀出电阻条形状；光刻形成带有微反射镜的悬臂梁结构及光纤定位槽图形；正面硅腐蚀形成光纤定位槽，微反射镜及悬臂梁结构部分。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是一种用于数字光纤通信网络中对光纤信号进行阻断和转换的装置，尤其是一种用热驱动的微机械开关装置及其制造方法。
技术介绍
实现下一代通信网核心的宽带综合数字通信网(B-ISDN)是人们关注的问题之一，且期望迎来光纤到户(FTTH)的时代。光开关器件是实现用户和交换机进行光纤任意交叉连接的关键部件，也是实现FTTH的关键装置之一。传统的机械光开关很笨重、昂贵和可靠性差，难以满足FTTH的要求。最近提出的电光和波导开关改进了主些缺点，但与机械开关相比，其插入损耗和串扰仍较大。近年来，微电子机械系统的发展为制造微机械光开关提供了可能。目前国际上对微机械光开关的研究比较多，所达到的水平也比较高。例如日本东京大学的研究人员采用电磁驱动微镜移动的方式，已经成功研制了高可靠的2×2微机械光纤开关，其插入损耗低于0.5dB，开关时间低于1ms。美国贝尔实验室的研究人员已经成功地用MEMS技术制造了用于光开关阵列的1296个微镜。但归纳起来，微机械光开关从结构上分主要有两种方式，一种是微镜转动或移动方式，另一种光纤移动方式。两种类型的光纤开关各有优缺点。前者由于不需要移动光纤，可以实现N×M本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热驱动微机械光纤开关，其特征在于该光纤开关由固定光纤的硅板（１）、压紧光纤的硅板（２）、微反射镜（３）、悬臂梁（４）、光纤（５）和加电阻（６）所组成，在固定光纤的硅板（１）的表面上设有４条相邻垂直的光纤槽（１１），在槽中设有光纤（５），在固定光纤的硅板（１）中央设有一凹坑（１２），反射镜（３）位于该凹坑（１２）中，其镜面两侧分别与４根光纤（５）成４５度角，反射镜（３）固定在悬臂梁（４）的一端，悬臂梁（４）的另一端连接在固定光纤的硅板（１）上，压紧光纤的硅板（２）为方框状压在固定光纤的硅板（１）上，使光纤（５）固定住，加热电阻（６）做在悬臂梁（４）表面。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：秦明，黄庆安，樊路加，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]