光注入全内反射型1×N全光光开关列阵制造技术

一种光注入全内反射型１×Ｎ全光光开关列阵，由直通光波导和在其两侧交替设置非对称Ｙ分叉为输出端的偏转光波导构成的“麦穗”形光开关列阵，在直通光波导与每个偏转光波导的分叉处分别设置光注入区，在光注入某一光注入区时能使直通光波导内的传输光发生全反射，并射入到该处偏转光波导内，达到光开关功能。本全光光开关列阵发热极小，开关速度达到纳秒量级，输出光强度均匀，串音低，易扩展输出端，尺寸小易集成。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种开关列阵，特别是全内反射型1×N全光光开关列阵。全光光开关列阵是光纤通信网络不可少的关键器件，尤其是在宽带全光交换网络和未来的光子集成回路中。目前，常见的全内反射型1×N开关列阵基本单元是由直通光波导、偏转光波导和电流注入区构成，其结构为树形，这种开关列阵在注入区由于采用电流注入，发热较严重，其载流子寿命一般为微秒量级，使开关速度受限制；在各输出端由于需通过全反射次数不同，易造成各输出端的输出光强度不均匀，串音较大，器件长度也较长。如采用镜面反射和Bragg反射型全反射结构构成无阻塞光开关列阵时网络拓扑结构复杂，而且制作工艺较难。本专利技术的目的是提供一种发热小的输出光强度均匀的全内反射型1×N全光光开关列阵。本专利技术的目的是通过下述措施实现的它的基本单元是由直通光波导、偏转光波导和注入区构成，结构特征是在直通光波导两侧交替设置非对称Y分叉的偏转光波导，作为输出端构成形状像“麦穗”形的开关列阵；所述注入区为光注入区，在直通光波导与所有偏转光波导的分叉处分别设置光注入区，当光注入某一光注入区时能使直通光波导内的传输光发生全反射，并射入到该处的偏转光波导内，达到本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光注入全内反射型１×Ｎ全光光开关列阵，由直通光波导［２］、偏转光波导［１］和注入区［３］构成，其特征在于：在直通光波导［２］两侧交替设置非对称Ｙ分叉的作为输出端的偏转光波导［１］构成“麦穗”形开关列阵；所述注入区［３］为光注入区，分别设置在光注入某一光注入区时能使直通光波导［２］内的传输光发生全反射，并射入到该处偏转光波导［１］内的直通光波导［２］与偏转光波导［１］分叉处。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：江晓清，杨建义，王明华，
申请(专利权)人：浙江大学半导体光电子技术与系统研究所，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]