【技术实现步骤摘要】
一种晶硅电池激光Mark点图案
本技术涉及一种晶硅电池激光Mark点图案。
技术介绍
PERC+作为PERC电池的升级技术，主要通过PERC电池叠加其提效工艺，从而提高转换效率，LDSE叠加PERC提效明显，成本较低，且工艺调试简单。当前，LDSE工艺已经进入量产阶段，但在具体应用中，激光定位用Mark点的图案设计及激光参数设定，在一定程度上，会影响产品的质量。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：如何在保证Mark点区域具有较好的平整度条件下避免此处PN结短路。本技术所采用的技术方案是：一种晶硅电池激光Mark点图案，包括半径为0.3-0.5mm的环形激光刻蚀槽（2）和处于环形激光刻蚀槽（2）内部的平行直线激光刻蚀槽（1）。本激光Mark点为圆形，圆内由直线填充，不同直线之间无重叠。Mark点图案的平行直线激光刻蚀槽（1）间距为65-75μm。本技术的有益效果是：不仅易于后续丝印工序的精准定位，而且避免产生Mark区域漏电问题。本技术通过合理设计，一方面保证Mark点区域较好的平整度，从而提供较高的反射，另一方面维持较低的刻蚀深度，避免此处PN结短路造成的漏电。附图说明图1是本技术的示意图；其中，1、平行直线激光刻蚀槽，2、环形激光刻蚀槽。具体实施方式如图1所示，激光Mark点由环形激光刻蚀槽2和内部填充平行直线激光刻蚀槽1组成，其中环形激光刻蚀槽2的半径为0.3-0.5mm，平行直线激光刻蚀槽1的线间距为65...
【技术保护点】
1.一种晶硅电池激光Mark点图案，其特征在于：包括半径为0.3-0.5mm的环形激光刻蚀槽（2）和处于环形激光刻蚀槽（2）内部的平行直线激光刻蚀槽（1）。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶硅电池激光Mark点图案，其特征在于：包括半径为0.3-0.5mm的环形激光刻蚀槽（2）和处于环形激光刻蚀槽（2）内部的平行直线激光刻蚀槽（1）...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨飞飞，郭丽，张云鹏，杨旭彪，李雪方，吕爱武，杜泽霖，李陈阳，张波，赵科魏，鲁贵林，
申请(专利权)人：山西潞安太阳能科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山西;14
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