相对于显微镜的照明光路调节灯的方法和相应的显微镜技术

本发明专利技术涉及一种在显微镜中自动调灯的方法，所述显微镜的照明光路中没有光束均化器，本发明专利技术还涉及为使用该方法而设置的显微镜。根据本发明专利技术，用检测器总体地测量显微镜物镜的光瞳平面后面或照明光路的光瞳平面后面的光照功率，并且相对于照明光路调节所述灯，使得由检测器检测的光照功率最大。在显微镜中，根据本发明专利技术所述方法，为了自动调灯，例如在更换灯之后自动调灯，而设置了用于调节灯的电机驱动器，所述驱动器由分析和控制计算机依次控制，直到用检测器测出最大光照功率为止。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在没有射线均化器的情况下相对于显微镜的照明光路调节灯的方法和实现这种方法的合适显微镜。
技术介绍
在显微镜照明系统中对灯的调节，无论是对显微镜进行初调还是在换灯后进行，通常根据传统的调节标准，要求保证物场的均匀照明。因此，第一个调节标准是光源亦即灯弧或灯变换器在物镜光瞳中要有清晰图象。该调节标准可借助于所谓的伯特兰透镜进行检验，所述透镜在显微镜的视场中构成物镜光瞳。可以不采用清晰图象的视觉控制，而是在伯特兰透镜的像平面内设置一个CCD摄像机，用摄像机的成象评价清晰图象。第二个标准是检验物场本身的照明是否均匀和是否要对灯光的最大均匀度进行重调。因此，灯光的调节目标总是要达到在物场中充分均匀的照明。由于其复杂性的限制，这种传统的调灯的方法无论在初装时还是在换灯后都是自动进行的，不需通过手动来保证物场的均匀照明。另一方面的经验表明，特别对于显微镜的常规用户，要求按照传统调节标准进行灯调节是一种过高要求。在微刻设备的照明装置中采用光束均化器，该均化器能保证对成象掩模的均匀照明。另外，通过使光源相对于照明光路的位置调节到光束均化器的最大光照功率，由此可最佳地利用从光源发出本文档来自技高网...

【技术保护点】
相对于显微镜的照明光路（１９，１１９）调节灯（５，１０５）的方法，所述显微镜的照明光路中没有光束均化器，其中用二极管（１６，１１６）测量显微镜物镜的光瞳平面（１８）后面或照明光路的光瞳平面（１１２）后面的总光照功率，并且相对于照明光路（１９，１１９）调节灯体（１０５，１１５），使得由检测器检测的光照功率最大。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：P奥特，
申请(专利权)人：卡尔蔡斯半导体制造技术股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]